一种研磨机和被研磨工件剥离方法与流程

本发明涉及工件机械加工领域，特别涉及一种研磨机和被研磨工件剥离方法。

背景技术：

在工件机械加工领域，研磨机的应用十分广泛，尤其是汽车零部件、高精度轴承、刃具量具、制冷压缩机零部件、电子元器件等工件加工领域。研磨机在应用时，需要将被研磨工件放置在载盘中，在研磨完成之后将载盘中的被研磨工件取出。被研磨工件形状各种各样，而有些被研磨工件表面积较大，在研磨过程中自身与上磨盘的接触面积很大，同时由于研磨时需要在研磨机中添加研磨液，所以在研磨程序结束之后，提起研磨机的上磨盘后被研磨工件容易粘贴在研磨机的上磨盘上。参照图1所示，被研磨工件6安放在下磨盘1和上磨盘3之间，通过下盘电机2驱动下磨盘1和上盘电机4驱动上磨盘3进行研磨，在装载被研磨工件6时，首先在下磨盘1安放载盘5，图中安放了四个载盘5，然后在载盘孔51中安放被研磨工件6，在实际操作过程中，根据被研磨工件6不同，对载盘5开设不同形状的载盘孔51，当加工完成后提起上磨盘3时，部分被研磨工件6会被粘贴在上磨盘3上。现有操作中，往往需要人为将手伸入研磨机上下磨盘之间，将粘贴在上磨盘的被研磨工件取下，这样操作既不安全又费时费力。

技术实现要素：

鉴于上述问题，提出了本发明以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种研磨机和被研磨工件剥离方法。

第一方面，本发明实施例提供一种研磨机，可以包括：下磨盘1、驱动所述下磨盘1的下盘电机2、位于所述下磨盘1上方的上磨盘3和驱动所述上磨盘3的上盘电机4，以及连接在所述上磨盘3上的上盘提升机构7，用于提升所述上磨盘3，以使得粘贴在所述上磨盘3上的被研磨工件6远离所述上磨盘3的底部与所述下磨盘1之间产生预设的间距；

其中，所述预设的间距小于位于所述下磨盘1上的装载所述被研磨工件6的载盘5的高度。

可选的，所述上盘提升机构7可以包括：至少一个第一气缸组件71，所述第一气缸组件71的输出端与所述上磨盘3的上部连接。

可选的，所述第一气缸组件71可以包括：第一气缸支架、设置上所述第一气缸支架上的第一气缸；其中，所述第一气缸的输出端与所述研磨机上盘的上端连接。

可选的，所述上盘提升机构7可以包括：设置在所述上盘电机4上的第二气缸组件72、上盘驱动轴73和至少一个第三气缸组件74；其中，

所述第二气缸组件72的输出端通过上盘驱动轴73与所述上磨盘3的顶部连接，以使得所述第二气缸组件72驱动所述上盘驱动轴73上升从而带动所述上磨盘3上升；所述上盘电机4的输出端嵌套在所述上盘驱动轴73的外部，该上盘电机4的输出端的键与所述上盘驱动轴73的第一键槽731通过螺栓连接；

所述第三气缸组件74位于所述第二气缸组件72的回程范围内，该第三气缸组件74的输出端伸出时与所述上磨盘3的顶部抵接，以使得所述上磨盘3在垂直方向上固定在指定位置。

可选的，所述第二气缸组件72可以包括：第二气缸支架721、第二气缸连接部722和第二气缸723；其中，

所述第二气缸支架721可拆卸地连接在所述上盘电机4的上端；所述第二气缸723可拆卸地连接在所述第二气缸支架721的上端；

所述第二气缸连接部722嵌入到所述第二气缸支架721的中空部位，所述第二气缸连接部722的底部与所述上盘驱动轴73的顶端可拆卸地连接；所述第二气缸连接部722的顶部与所述第二气缸723的输出端连接。

可选的，所述第二气缸连接部722可以包括：第二气缸连接杆7221、第二气缸轴承顶盖7222、第二气缸轴承底座7223和两个推力球轴承7224；其中，

所述第二气缸连接杆7221的顶端与所述第二气缸723的输出端可拆卸地连接；

所述第二气缸连接杆7221上设置有连接杆凸台7221a，所述推力球轴承7224分布在所述连接杆凸台7221a两侧，且嵌套在所述第二气缸连接杆7221上；

所述第二气缸轴承顶盖7222和所述第二气缸轴承底座7223嵌套在所述第二气缸连接杆7221和所述推力球轴承7224的外部，所述第二气缸轴承顶盖7222和所述第二气缸轴承底座7223可拆卸地连接；

所述第二气缸轴承底座7223的底部与所述上盘驱动轴73的顶部可拆卸地连接。

可选的，所述第二气缸组件72还可以包括：第二气缸法兰724，所述第二气缸法兰724可拆卸地连接在所述第二气缸支架721上端，所述第二气缸723可拆卸地连接在所述第二气缸法兰724上。

可选的，所述第三气缸组件74可以包括：第三气缸支架741和可拆卸地连接在所述第三气缸支架741上的第三气缸742；

所述第三气缸支架741水平方向的横板上设置有贯穿孔7411；所述第三气缸742的输出端贯穿所述贯穿孔7411，该第三气缸741的输出端伸出时与所述上磨盘3的顶端抵接。

可选的，所述第三气缸组件74还可以包括：气缸压块742，该气缸压块742位于所述贯穿孔7411下端，与所述第三气缸742的输出端连接，所述第三气缸742的输出端伸出时所述气缸压块742与所述上磨盘3的顶端抵接。

可选的，所述第三气缸支架741竖直方向的竖板上设置有长孔7412；

所述第三气缸组件74还可以包括：至少一个涨紧块744；该涨紧块744水平方向的横板设置有螺栓孔，螺栓贯穿所述螺栓孔抵接在所述第三气缸支架741的下端。

可选的，该研磨机还可以包括上盘组件8，该上盘组件8可以包括：上盘托板81、位于所述上盘托板81下部的上盘固定座82和连接在所述上盘固定座82下部的上盘法兰83；其中，所述上盘托盘81嵌套在所述上盘驱动轴73外表面；所述上盘固定座82可拆卸地连接在所述上盘驱动轴73下部的第二键槽732上；所述上磨盘3可拆卸地连接在所述上盘法兰83的下部。

可选的，所述上盘固定座82可以包括：连接在所述上盘驱动轴73的底端的球体821、球体上托架822、球体下托架823、球阀底座824以及球阀盖体825；其中，

所述球体821中间设置有球体凸台8211，所述球体上托架822位于所述球体凸台8211的上端，嵌套在所述球体821的外表面；所述球体下托架823位于所述球体凸台8211的下端，嵌套在所述球体821的外表面；

所述球阀底座824嵌套在所述球体821和所述球体下托架823的外部，所述球阀盖体825嵌套在所述球体上托架822的外部；所述球阀底座824与所述球阀盖体825通过螺栓连接。

可选的，所述上盘组件8还可以包括：上盘导水槽84，该上盘导水槽84可拆卸地连接在所述上盘法兰83的上端。

可选的，该研磨机还可以包括：悬臂组件9，该悬臂组件9可以包括：悬臂91和嵌入在所述悬臂91一端的圆柱筒911内部的上盘连接部92；其中，所述上盘电机4通过所述上盘电机法兰41连接在所述悬臂91的圆柱筒911的上部；所述上盘驱动轴73贯穿所述上盘连接部92；所述上盘托板81可拆卸地连接在所述上盘连接部92的下端。

可选的，所述上盘连接部92可以包括：嵌套在所述上盘驱动轴73的外部的轴承部921、嵌套在所述轴承部921的外部的轴套922；其中，

所述轴套922嵌入到所述悬臂91水平方向的圆柱筒911的内部；所述轴套922通过底部凸台9221上的螺栓孔与所述悬臂91螺栓连接；

所述轴承部921可以包括：至少一对嵌套在所述上盘驱动轴73的外部的角接触球轴承9211、嵌套在所述上盘驱动轴73的外部的轴承套筒9212、嵌套在所述角接触轴承9211和所述轴承套筒9212外侧的轴承衬套9213、连接在所述轴承衬套9213下端的轴承挡圈9214；其中，所述至少一对角接触轴承9211位于所述轴承套筒9212的上端和下端；所述轴承挡圈9214位于所述轴承衬套9213下端的角接触轴承9211的下端；

所述上盘托板81可拆卸地连接在所述轴承挡圈9214的底部。

可选的，该研磨机还可以包括：尺寸控制器组件b；所述尺寸控制器组件b可以包括：嵌入到所述上盘驱动轴73内部的尺寸控制器线管b1、连接在所述尺寸控制器线管b1的下端的尺寸控制器引杆b2、连接在所述尺寸控制器引杆b2下端的尺寸控制器轴承座b3、以及连接在所述尺寸控制器轴承座b3下端的探针b4；其中，所述尺寸控制器轴承座b3位于所述上盘驱动轴73的下端。

第二方面，本发明实施例提供一种被研磨工件剥离方法，可以包括：

提升上磨盘，使得粘贴在所述上磨盘上的所述被研磨工件远离所述上磨盘的底部与下磨盘之间产生预设的间距；

控制所述上磨盘与位于所述下磨盘上的装载所述被研磨工件的载盘相对运动，以剥离粘贴在所述上磨盘上的被研磨工件；

其中，所述预设的间距小于所述载盘的高度。

本发明实施例提供的上述技术方案的有益效果至少包括：

本发明实施例提供的研磨机，包括下磨盘、驱动下磨盘的下盘电机、位于下磨盘上方的上磨盘、驱动上磨盘的上盘电机以及连接在上磨盘上的上盘提升机构，该上盘提升机构用于提升上磨盘，以使得粘贴在上磨盘上的被研磨工件远离上磨盘的底部与下磨盘之间产生预设的间距；其中，预设的间距小于下磨盘上的装载被研磨工件的载盘的高度。在剥离粘贴在上磨盘的被研磨工件时，控制上磨盘和载盘相对运动，即可以剥离粘贴在上磨盘的被研磨工件。不仅仅提高了工作效率，避免了人为操作时意外的发生，又省时省力。

本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1为现有技术中被研磨工件粘贴在上磨盘的结构示意图；

图2为本发明实施例中提供的第一种实施方式的结构示意图；

图3为本发明实施例中提供的第二种实施方式的结构图；

图4a为图3的主视图；

图4b为图4a在a-a方向的剖面图；

图5a为图3的右视图；

图5b为图5a在b-b方向的剖面图；

图6为本发明实施例中提供的上盘驱动轴的结构图；

图7a为本发明实施例中提供的第二气缸连接部的结构图；

图7b为图7a在d-d方向的剖面图；

图7c为图7a的爆炸图；

图8为本发明实施例中提供的第三气缸支架的结构图；

图9a为本发明实施例中提供的上盘固定座的结构图；

图9b为图9a在a-a方向的剖面图；

图9c为图9a的爆炸图；

图10为本发明实施例中提供的尺寸控制器组件的结构示意图；

图11为本发明实施例提供的剥离方法的流程图；

其中，1为下磨盘；2为下盘电机；3为上磨盘；4为上盘电机；5为载盘；6为被研磨工件；7为上盘提升机构；8为上盘组件；9为悬臂组件；a为研磨机机架；b为尺寸控制器组件；

41为上盘电机法兰；51为载盘孔；71为第一气缸组件；72为第二气缸组件；73为上盘驱动轴；74为第三气缸组件；81为上盘托盘、82为上盘固定座；83为上盘法兰；84为上盘导水槽；91为悬臂；92为上盘连接部；b1为尺寸控制器线管；b2为尺寸控制器引杆；b3为尺寸控制器轴承座；b4为探针；

721为第二气缸支架；722为第二气缸连接部；723为第二气缸；724为第二气缸法兰；731为第一键槽；732为第二键槽；741为第三气缸支架；742为第三气缸；743为气缸压块；744为涨紧块；821为球体；822为球体上托架；823为球体下托架；824为球阀底座；825为球阀盖体；911为圆柱筒；921为轴承部；922为轴套；

7221为第二气缸连接杆；7222为第二气缸轴承顶盖；7223为第二气缸轴承底座；7224为推力球轴承；7225为集线器；7411为贯穿孔；7412为长孔；8211为球体凸台；9211为角接触球轴承；9212为轴承套筒；9213为轴承衬套；9214为轴承挡圈；9221为底部凸台；7221a为连接杆凸台。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是可拆卸地连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例一

本发明实施例提供了一种研磨机，参照图2所示，该研磨机可以包括下磨盘1、驱动下磨盘1的下盘电机2、位于下磨盘1上方的上磨盘3和驱动上磨盘的上盘电机4，其中，上述下磨盘和上磨盘在对被研磨工件加工时，上磨盘需要旋转到与下磨盘垂直方向重合的位置，然后上下磨盘闭合，被研磨工件在其中间进行研磨。上述研磨机还可以包括：连接在上述上磨盘3上的上盘提升机构7，该上盘提升机构7用于提升上磨盘3，以使得粘贴在上磨盘3上的被研磨工件远离上磨盘3的底部与下磨盘1之间产生预设的间距；

其中，预设的间距小于下磨盘上的装载被研磨工件的载盘的高度。

本发明实施例通过上盘提升机构提升上磨盘，以使得粘贴在上磨盘上的被研磨工件远离上磨盘的底部与下磨盘之间产生预设的间距；其中，预设的间距小于下磨盘上的装载被研磨工件的载盘的高度。在剥离粘贴在上磨盘的被研磨工件时，控制上磨盘和载盘相对运动，即可以剥离粘贴在上磨盘的被研磨工件。不仅仅提高了工作效率，避免了人为操作时意外的发生，又省时省力。

本发明实施例中，上述上盘提升机构可以包括多种结构的提升机构，只要能够将上磨盘提升预设的间距，能够满足预设的间距小于位于下磨盘上的装载被研磨工件的载盘的高度即可以完成上述剥离操作，本发明实施例对上述提升机构不作具体限定。

本发明实施例中提供了两种不用方式的上盘提升机构，第一种方式的上盘提升机构是通过气缸直接提升上磨盘预设的间距，通过调节气缸的行程来实现提升上磨盘不同的预设的间距；第二种方式的上盘提升机构是通过不同施力方向的气缸间接提升上磨盘预设的间距，通过主气缸和辅助气缸配合使用来提升上磨盘，具体的，主气缸的行程是固定的，在气缸回程时提升上磨盘，而辅助气缸设置在主气缸回程范围内，且辅助气缸的输出端在伸出时与上磨盘抵接，通过调节辅助气缸的位置来实现提升上磨盘不同的预设的间距。

本发明实施例提供的上述上盘电机和下盘电机为蜗轮蜗杆电机，例如可以是s系列斜齿轮-蜗轮蜗杆减速机，该系列减速机的特点是：斜齿轮与蜗轮组合，垂直输出，结构紧凑，速比大等。安装型式可以是底座式、法兰式、小法兰式和扭力臂式安装；输出方式空心轴输出。

实施方式1

参照图2所示，上述上盘提升机构7可以包括：至少一个第一气缸组件71；该第一气缸组件71的输出端与上磨盘3的上部连接。该第一气缸组件的输出端在回程时，带动上磨盘向上移动预设的间距。

本发明实施例中，上述研磨机的下磨盘、下盘电机、上磨盘和上盘电机安装在研磨机机架上，下盘电机安装在研磨机机架内部，通过下盘法兰与下磨盘连接，上盘电机通过固定支架固定在研磨机机架上，上磨盘通过上盘法兰与上盘电机连接。本发明实施例中上述固定支架可以是现有技术中已有的研磨机上盘支架，也可以本发明实施例中下文提及的可以旋转的悬臂，本发明实施例对此不作具体限定。

在一个具体的实施例中，上述第一气缸组件可以包括：第一气缸支架、设置上第一气缸支架上的第一气缸；其中，上述第一气缸的输出端与上述研磨机上盘的上端连接。上述第一气缸支架可拆卸地连接在上述固定支架上或者固定在悬臂上，本发明实施例对第一气缸支架的具体位置不作限定，只要能够完成提升预设的间距即可。本发明实施例中调节第一气缸回程的方式可以通过限位块卡接在第一气缸的输出端，即来回终止位置加缓冲器挡住输出端来控制行程。

实施方式2

参照图3～图5b所示，上述上盘提升机构7可以包括：设置在上述上盘电机4上的第二气缸组件72、上盘驱动轴73和至少一个第三气缸组件74；其中，

上述第二气缸组件72的输出端通过上盘驱动轴73与上述上磨盘3的顶部连接，以使得上述第二气缸组件72驱动上述上盘驱动轴73上升从而带动上述上磨盘3上升；上述上盘电机4的输出端嵌套在上述上盘驱动轴73的外部，该上盘电机4的输出端的键与上述上盘驱动轴73的第一键槽通过螺栓连接。

上述第三气缸组件74位于上述第二气缸组件72的回程范围内，该第三气缸组件74的输出端伸出时与上述上磨盘3的顶部抵接，以使得上述上磨盘在垂直方向上固定在指定位置。

本发明实施例中，上述上磨盘3、上盘电机4和上盘提升机构7安装在悬臂91上，该悬臂安装上磨盘的一端设置有圆柱筒911，上磨盘3位于圆柱筒911的下端，上盘电机4可拆卸地连接在圆柱筒911的上端，可以通过电机法兰41连接。

参照图4b、5b和图6所示，上述上盘驱动轴73顶端与第二气缸组件72的连接部722的底端通过螺栓连接；盘驱动轴73底端与上盘组件8连接，上上磨盘3安装在上盘组件8的下端。上述上盘电机4的输出端上的键与上述上盘驱动轴73的第一键槽731通过螺栓连接。该上盘驱动轴既可以在第二气缸组件72的作用下升降从而带动上盘组件和上磨盘升降，也可以在上盘电机4的驱动下带动上磨盘3旋转。

在一个可选的实施例中，参照图3～图5b所示，上述第二气缸组件72可以包括：第二气缸支架721、第二气缸连接部722和第二气缸723；其中，上述第二气缸支架721可拆卸地连接在上述上盘电机4的上端；上述第二气缸723可拆卸地连接在上述第二气缸支架721的上端；上述第二气缸连接部722嵌入到上述第二气缸支架721的中空部位，上述第二气缸连接部722的底部与上述上盘驱动轴73的顶端可拆卸地连接；上述第二气缸连接部722的顶部与上述第二气缸723的输出端连接。

在本发明实施例中上述第二气缸支架为内空结构，外侧设置有多个缺口，设置的缺口可以方便控制线路安装。

具体的，参照图7a、图7b和图7c所示，上述第二气缸连接部722可以包括：第二气缸连接杆7221、第二气缸轴承顶盖7222、第二气缸轴承底座7223和两个推力球轴承7224；其中，上述第二气缸连接杆7221的顶端与上述第二气缸723的输出端可拆卸地连接，本发明实施例中通过螺栓连接。

上述第二气缸连接杆7221上设置有连接杆凸台7221a，上述推力球轴承7224分布在上述连接杆凸台7221a两侧，且嵌套在上述第二气缸连接杆7221上；上述连接杆凸台7221a成环状设置在上述第二气缸连接杆7221上。

上述第二气缸轴承顶盖7222和上述第二气缸轴承底座7223嵌套在上述第二气缸连接杆7221和上述推力球轴承7224的外部，上述第二气缸轴承顶盖7222和上述第二气缸轴承底座7223可拆卸地连接；本发明实施例中可以通过螺栓与预留的螺栓孔连接。上述第二气缸轴承底座7223的底部与上述上盘驱动轴73的顶部可拆卸地连接。

上述第二气缸连接杆7221还可以连接集线器7225，本发明实施例中为t字形集线器，方便在研磨机中布设探针组件的线路。

本发明实施例提供的上述第二气缸连接部，首先能够将第二气缸与上盘驱动轴连接，使得第二气缸能够驱动上盘驱动轴升降进而带动上磨盘升降；其次，第二气缸轴承顶盖和第二气缸轴承底座可以在第二气缸连接杆的水平方向进行旋转，在上盘电机驱动上盘驱动轴旋转进而带动上磨盘旋转时，可以有效地避免第二气缸旋转。

在一个可选的实施例中，参照图3～图5b所示，上述第二气缸组件72还可以包括：第二气缸法兰724，上述第二气缸法兰724可拆卸地连接在上述第二气缸支架721上端，上述第二气缸723可拆卸地连接在上述第二气缸法兰724上。上述第二气缸法兰可以有效地将第二气缸支架和第二气缸连接起来，方便安装与拆卸，同时第二气缸法兰能够承受较大的压力，能够避免第二气缸支架边缘受力不均匀而被破坏。

在一个可选的实施例中，参照图3～图5a所示，上述第三气缸组件74可以包括：第三气缸支架741和可拆卸地连接在上述第三气缸支架741上的第三气缸742。本发明实施例提供的上述第三气缸可以采用现有技术中已有的气缸，本发明实施例对此气缸型号不作具体限定。

参照图8所示，上述第三气缸支架741水平方向的横板上设置有贯穿孔7411；上述第三气缸的输出端贯穿上述贯穿孔，该第三气缸的输出端伸出时与上述上磨盘的顶端抵接。

在一个可选的实施例中，参照图3、图4a、图4b和图5a所示，上述第三气缸组件74还可以包括：气缸压块743，该气缸压块743位于上述贯穿孔7411下端，与上述第三气缸742的输出端连接，上述第三气缸的输出端伸出时上述气缸压块743与上述上磨盘3的顶端抵接。该气缸压块与上磨盘的接触面大，防止上磨盘(本发明实施例中为上盘组件中的上盘托盘)被挤压变形，起到良好的传导和保护作用。

在一个可选的实施例中，参照图8所示，上述第三气缸支架741竖直方向的竖板上设置有长孔7412。

参照图3～图5a所示，上述第三气缸组件74还可以包括：至少一个涨紧块744；该涨紧块水平方向的横板设置有螺栓孔，螺栓贯穿上述螺栓孔抵接在上述第三气缸支架的下端。

本发明实施例中提供的上述第三气缸支架竖直方向的竖板上的长孔与涨紧块配合使用，可以有效地调节第三气缸的高度，从而可以使得粘贴在上磨盘上的被研磨工件远离上磨盘的底部与下磨盘之间产生预设的间距，以剥离粘贴在所述上磨盘上的被研磨工件。本发明实施例中在悬臂上安装两个第三气缸组件，其输出端伸出时共同作用于上磨盘(本发明实施例作用于连接上磨盘的上盘组件)上。

在一个可选的实施例中，参照图3～图5b所示，该研磨机还可以包括：上盘组件8，该上盘组件8包括：上盘托板81、位于上述上盘托板下部的上盘固定座82和连接在上述上盘固定座82下部的上盘法兰83；其中，上述上盘托盘81嵌套在上述上盘驱动轴73外表面；上述上盘固定座82可拆卸地连接在上述上盘驱动轴82下部的第二键槽上；上述上磨盘3可拆卸地连接在上述上盘法兰83的下部。

本发明实施例中提供上述上盘组件主要是起到固定安装上磨盘的作用，因为上磨盘是经常使用，容易磨损，受材质和结构的影响不能直接与驱动电机连接，因此本发明实施例使用上盘组件将上盘驱动轴与上磨盘连接起来。具体的，参照图6所示，上盘组件的上盘固定座可拆卸地连接在上述上盘驱动轴下部的第二键槽732上。

更为具体的，参照图9a、9b和9c所示，上述上盘固定座82可以包括：连接在上述上盘驱动轴73的底端的球体821、球体上托架822、球体下托架823、球阀底座824以及球阀盖体825；其中，上述球体821中间设置有球体凸台8211，上述球体上托架822位于上述球体凸台8211的上端，嵌套在上述球体821的外表面；上述球体下托架823位于上述球体凸台8211的下端，嵌套在上述球体821的外表面；上述球阀底座824嵌套在上述球体821和上述球体下托架823的外部，上述球阀盖体825嵌套在上述球体上托架822的外部；上述球阀底座824与上述球阀盖体825通过螺栓连接。本发明实施例中，上盘固定座可以稳固地连接上盘法兰，同时通过上盘驱动轴带动上盘固定座升降和旋转，进而带有上磨盘升降和旋转。

在一个可选的实施例中，参照图3所示，上述上盘组件8还包括：上盘导水槽84，该上盘导水槽84可拆卸地连接在上述上盘法兰83的上端。本发明实施例中，上盘法兰上部设置有凹槽，可以安装上盘导水槽，方便在研磨过程中添加研磨液或者水等。

在一个具体的实施例中，参照图3～图5b所示，该研磨机还可以包括：悬臂组件9，该悬臂组件9可以包括：悬臂91和嵌入在上述悬臂91一端的圆柱筒911内部的上盘连接部92；其中，上述上盘电机4通过上述上盘电机法兰41可拆卸地连接在上述悬臂91的圆柱筒911的上部；上述上盘驱动轴73贯穿上述上盘连接部92，且上盘连接部卡接在上盘驱动轴凸起的部位，可以实现上盘驱动轴带动上盘连接部升降并且上盘驱动轴可以在上盘连接部中旋转；上述上盘托板81可拆卸地连接在上述上盘连接部92的下端。

更为具体的，参照图4b所示，上述上盘连接部92可以包括：嵌套在上述上盘驱动轴73的外部的轴承部921、嵌套在上述轴承部921的外部的轴套922；其中，上述轴套922嵌入到研磨机的上述悬臂91水平方向的圆柱筒911的内部；上述轴套922通过底部凸台9221上的螺栓孔与上述悬臂91底端螺栓连接。上述轴承部921可以包括：至少一对嵌套在上述上盘驱动轴73的外部的角接触球轴承9211、嵌套在上述上盘驱动轴73的外部的轴承套筒9212、嵌套在上述角接触轴承9211和上述轴承套筒9212外侧的轴承衬套9213、连接在上述轴承衬套9212下端的轴承挡圈9214；其中，上述至少一对角接触轴承9211位于上述轴承套筒9212的上端和下端，本发明实施例中提供了两对上述角接触轴承9211；上述轴承挡圈9214位于上述轴承衬套9213下端的角接触轴承9211的下端，用于嵌套最下端的角接触轴承；上述上盘托板81可拆卸地连接在上述轴承挡圈9214的底部。

本发明实施例提供的上述轴承衬套9213上设置有滑槽，当上述上盘驱动轴上下移动时，可在嵌套在外部的轴套922上滑动，并且在上盘电机的驱动下带动上盘驱动轴旋转，上盘驱动轴可在上述轴承部内部独立旋转而不影响上述上盘连接部。

在一个可选的实施例中，参照图5b和图10所示，该研磨机还可以包括：尺寸控制器组件b；该尺寸控制器组件b嵌入到上盘驱动轴73中，其线路部分通过集线器布设。上述尺寸控制器组件b可以包括：嵌入到上述上盘驱动轴73内部的尺寸控制器线管b1、连接在上述尺寸控制器线管b1的下端的尺寸控制器引杆b2、连接在上述尺寸控制器引杆下端的尺寸控制器轴承座b3、以及连接在上述尺寸控制器轴承座b3下端的探针b4；其中，上述尺寸控制器轴承座位于上述上盘驱动轴73的下端。

本发明实施例提供的尺寸控制器组件可以与下磨盘上的基准块配合使用，当上磨盘与下磨盘完全贴合时，探针与基准块接触，使得探针完成零点矫正。在研磨加工过程中，使用上述尺寸控制器组件来控制加工的厚度，能够实现精确加工。

实施例二

本发明实施例提供了一种被研磨工件剥离的方法，参照图11所示，可以包括以下步骤：

步骤s1、提升上磨盘，使得粘贴在所述上磨盘上的所述被研磨工件远离所述上磨盘的底部与下磨盘之间产生预设的间距。

因为装载所述被研磨工件的载盘上设置有用于装载被研磨工件的载盘孔，只要被研磨工件竖直方向最下端不脱离上述载盘孔，就可以通过载盘将粘贴在上磨盘上的被研磨工件剥离。

步骤s2、控制所述上磨盘与位于所述下磨盘上的装载所述被研磨工件的载盘相对运动，以剥离粘贴在所述上磨盘上的被研磨工件。其中，所述预设的间距小于所述载盘的高度。

其中，上述相对运动是指上磨盘相对于载盘旋转，可以是单独控制上磨盘旋转或者单独控制载盘旋转，进而可以剥离粘贴在上磨盘上的被研磨工件；也可以共同控制上磨盘和载盘旋转，当在同方向旋转时，只要旋转速度不一致就可以将粘贴在上磨盘的被研磨工件剥离，本发明实施例中对上述具体如何操作不作具体限定。

本发明实施例中，上述剥离方法可以有效地剥离粘贴在上磨盘上的被研磨工件，不仅仅提高了工作效率，避免了人为操作时意外的发生，又省时省力。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求来限制。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。