一种制造超导电缆导体薄膜的方法与流程

文档序号:20163997发布日期:2020-03-24 21:18阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种制造超导电缆导体薄膜的方法,其特征在于:利用脉冲激光沉积分子束外延薄膜制备系统生产基片薄膜,具体如下:将铁基超导圆柱靶材固定在激光轰击靶座上装入沉积室,将laalo3单晶基片放入浓度为50%的盐酸中浸洗30s,取出后用脱脂棉擦拭干净,然后放入无离子水中清洗,取出用脱脂棉擦拭干净,浸入丙酮液体中浸泡5min,取出再用脱脂棉擦拭干净,再放入无水乙醇中浸泡5min,取出自然晾干,再放入无离子水中进行超声波清洗,清洗好后将基片取出用脱脂棉擦拭干净;将清洗好的基片安装在位于沉积室内的旋转基片加热底座上,调节靶基距离40~45mm,激光束和靶面入射角为45度,通过涡轮分子泵,将沉积室抽成真空度为10-5~10-6pa的真空环境,打开基片加热器,设定550℃,待基片温度升至550±5℃时,打开轰击靶座转动电机,使靶座以转速25转/min转动,再打开沉积室外面的准分子激光器,设定波长248纳米,单脉冲能量320mj,开机进行预热30min,然后打开激光束对铁基超导圆柱靶材进行轰击烧蚀,形成羽峰并在基片上沉积生长薄膜,持续时间50min;时间到达后,关闭准分子激光器和轰击靶座转动电机,向沉积室按1:1的比例通入氧气和氩气,气压为30pa,将基片加热器升温至800℃后再进行退火处理,保温40min,然后关闭退火电源,待自然冷却后取出薄膜基片即可。

2.根据权利要求1所述的一种制造超导电缆导体薄膜的方法,其特征在于:所述的单晶基片在无离子水中超声波清洗的条件为20~30khz、水温40~60℃、时间30min。

3.根据权利要求1所述的一种制造超导电缆导体薄膜的方法,其特征在于:所述的涡轮分子泵的极限压力为10pa,工作压力范围为1~10pa,由转速为60000转/分的中频电动机驱动。

4.根据权利要求1所述的一种制造超导电缆导体薄膜的方法,其特征在于:所述的激光轰击靶座采用圆形不锈钢板。

5.根据权利要求1所述的一种制造超导电缆导体薄膜的方法,其特征在于:所述的旋转基片加热底座为带加热管的不锈钢方形件,最高加热温度为1000℃。

6.根据权利要求1所述的一种制造超导电缆导体薄膜的方法,其特征在于:在所述的沉积室上设有激光轰击窗,激光轰击窗是带有密封的透明玻璃的窗口。

7.根据权利要求1所述的一种制造超导电缆导体薄膜的方法,其特征在于:所述的准分子激光器是波长为248纳米、单脉冲能量为400mj、脉冲宽度为25纳米的工业准分子激光器。

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