换热装置及薄膜产品生产装置的制作方法

文档序号:19883571发布日期:2020-02-11 09:09阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种换热装置,其特征在于,所述换热装置包括:壳体(10)、加热部(20)、冷却部(30)和搁架组件(40),所述壳体(10)内具有腔体,所述加热部(20)和所述冷却部(30)分别设置在所述腔体内;

所述搁架组件(40)包括部分设置在所述腔体内的输送架(41),所述腔体内的所述输送架(41)具有第一存放位置(411)和第二存放位置(412),所述第一存放位置(411)和所述第二存放位置(412)之间还设置了隔离结构(50),所述隔离结构(50)将所述腔体内的第一存放位置(411)和加热部(20)与第二存放位置(412)和冷却部(30)隔开。

2.根据权利要求1所述的换热装置,其特征在于,所述输送架(41)包括驱动机构(42),所述驱动机构(42)用于驱动所述第一存放位置(411)、所述第二存放位置(412)和所述隔离结构(50)在所述加热部(20)和所述冷却部(30)之间移动。

3.根据权利要求2所述的换热装置,其特征在于,所述输送架(41)为u形支架,所述u形支架包括开口端和闭合端,所述u形支架的闭合端设置在所述腔体外并与所述驱动机构(42)连接,所述u形支架的开口端设置在所述腔体内,所述第一存放位置(411)、所述第二存放位置(412)和所述隔离结构(50)设置在所述u形支架的开口端。

4.根据权利要求3所述的换热装置,其特征在于,所述壳体(10)包括通孔,所述输送架(41)通过所述通孔穿设在所述壳体(10)上,所述输送架(41)的开口端穿过所述通孔位于所述壳体(10)内。

5.根据权利要求4所述的换热装置,其特征在于,所述换热装置还包括波纹管(60),所述波纹管(60)套设在所述输送架(41)上,且所述波纹管(60)的一端与所述输送架(41)密封连接,所述波纹管(60)的另一端与所述通孔密封连接。

6.根据权利要求1所述的换热装置,其特征在于,所述输送架(41)具有沿竖直方向顺次设置的第一隔架和第二隔架,所述第一隔架包括两个间隔设置的第一放置板,两个所述第一放置板处于同一水平面上,两个所述第一放置板配合形成所述第一存放位置(411),所述第二隔架包括两个间隔设置的第二放置板,两个所述第二放置板处于同一水平面上,两个所述第二放置板配合形成所述第二存放位置(412),所述隔离结构(50)位于所述第一隔架和所述第二隔架之间。

7.根据权利要求6所述的换热装置,其特征在于,所述隔离结构(50)包括第三隔架(413)和隔板,所述第三隔架(413)包括两个间隔设置的第三放置板,两个所述第三放置板处于同一水平面上,所述隔板设置在两个所述第三放置板上。

8.根据权利要求7所述的换热装置,其特征在于,所述隔板的两侧对应搭接在两个所述第三放置板上。

9.一种薄膜产品生产装置,其特征在于,包括:

加载模块(100),用于将衬底加载至载具;

换热装置,包括用于对加载完衬底的载具进行预加热,所述换热装置为权利要求1至8中任一项所述的换热装置;

工艺加工模块(200),所述工艺加工模块(200)用于对载具及设置在载具上的衬底进行镀膜工艺,所述换热装置设置在所述加载模块(100)和所述工艺加工模块(200)之间;

所述换热装置,还包括用于对完成镀膜工艺的载具和设置在载具上的薄膜产品进行冷却,所述薄膜产品包括衬底和生长在衬底上的薄膜。

10.根据权利要求9所述的薄膜产品生产装置,其特征在于,所述薄膜产品生产装置还包括:

传送组件,所述传送组件设置在所述加载模块(100)和所述工艺加工模块(200)之间,所述传送组件用于传送工件,所述传送组件与所述换热装置的搁架组件对应设置,以使所述传送组件将工件从所述换热装置传入或传出。

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