一种冷却装置的制作方法

本实用新型属于机械技术领域，特别是指一种冷却装置。

背景技术：

针对pvd设备，腔体均为真空高温腔室，机台内需要冷却结构，保证设备在使用改成达到冷却效果，并保证绝缘冷却，不能再腔室内产生导通现象。客户端马达带着阴极驱动带着旋转靶材，靶材在腔体内旋转，冷却结构在靶材内，并连接在上部及底部驱动，整体做循环系统，达到冷却效果。保证靶材的使用寿命及周期，保证产品质量。为此，我们提出一种冷却装置。

技术实现要素：

为解决以上现有技术的不足，本实用新型提出了一种冷却装置。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种冷却装置，包括连接座、机架和外壳体，所述连接座内腔插接安装有密封塞，所述连接座上端固定安装有传动机构，所述连接座下端固定安装有传动机构，所述机架上端通过第一密封轴承活动安装有外壳体，所述机架上端内侧开有第二冷却腔体，所述机架上端内侧固定安装有传动筒，所述传动筒内端壁上端固定安装有圆板，所述圆板上端固定安装有轴承，所述轴承上端固定安装有靶材本体，所述靶材本体与传动筒的夹层内固定安装有密封套，所述密封套内端固定安装有第二密封轴承，所述靶材本体外端壁上侧固定安装有第三密封轴承，所述外壳体的外侧壁固定安装有进液孔，所述外壳体内侧开有第一冷却腔体。

优选的，所述传动机构上端通过传动轴固定连接于圆板的下端面。

优选的，所述第二密封轴承内端与靶材本体我侧壁相连接。

优选的，所述第三密封轴承外端固定连接于外壳体内端壁。

优选的，所述传动机构通过转轴固定连接于传动筒。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该冷却装置，通过设有连接座、传动机构、机架、密封塞、外壳体、第一密封轴承、靶材本体、第一冷却腔体和进液孔结构，使得靶材在腔体内旋转，冷却结构在靶材内，并连接在上部及底部驱动，整体做循环系统，达到冷却效果，保证靶材的使用寿命及周期，保证产品质量；通过设有第一密封轴承、传动筒、圆板、轴承、密封套和第二密封轴承结构，可以提高旋转机构之间的密封性，防止冷却水外流。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型剖视图；

图2为本实用新型传动筒局部剖视图。

图中：1连接座、11传动机构、2机架、3密封塞、4外壳体、41第二冷却腔体、5第一密封轴承、51传动筒、52圆板、53轴承、54密封套、55第二密封轴承、6靶材本体、61第三密封轴承、7第一冷却腔体、71进液孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种冷却装置，包括连接座1、机架2和外壳体4，所述连接座1固定传动电机上，通过传动电机使得连接座1可以转动，从而带动传动机构11转动，然后传动机构11带动传动筒51和传动杆转动，然后通过传动筒51和传动杆同步带动圆板52转动，然后通过圆板52带动靶材本体6转动。所述连接座1内腔插接安装有密封塞3，所述密封塞3为abs塑料密封塞3，密封塞3的外侧壁包裹有橡胶层，通过密封塞3对传动机构11之间进行密封，密封塞3与连接座1同步转动。所述连接座1上端固定安装有传动机构11，所述传动机构11通过转轴固定连接于传动筒51。所述传动机构11上端通过传动轴固定连接于圆板52的下端面，传动机构11呈“凹”形，连接座1带动传动机构11进行转动。所述连接座1下端固定安装有传动机构11，所述传动机构11为不锈钢传动机构11，传动机构11侧壁通过环形转轴固定连接于机架2，传动机构11带动机架2转动。所述机架2上端通过第一密封轴承5活动安装有外壳体4，外壳体4形成一个密封的腔体，在外壳体4形成的密封腔体内进行冷却。所述机架2上端内侧开有第二冷却腔体41，第二冷却腔体41的上对于第一冷却腔体7的内腔相连通，通过第一冷却腔体7内腔的冷却水对靶材本体6进行冷却。所述机架2上端内侧固定安装有传动筒51，所述传动筒51为不锈钢传动筒51，传动筒51与机架2之间为一体成型，通过传动筒51带动圆板52转动。所述传动筒51内端壁上端固定安装有圆板52，所述圆板52为不锈钢圆板52，圆板52固定在传动筒51的内腔壁。所述圆板52上端固定安装有轴承53，所述轴承53为密封轴承，轴承53的内腔穿插有转轴，圆板52连接于转轴，轴承53呈“凸”字形。通过轴承53支撑靶材本体6。所述轴承53上端固定安装有靶材本体6，所述靶材本体6为不锈钢靶材本体6，靶材本体6可以进行转动。所述靶材本体6与传动筒51的夹层内固定安装有密封套54，所述密封套54为橡胶密封套54，密封套54可以对轴承53与靶材本体6之间进行密封。所述密封套54内端固定安装有第二密封轴承55，所述第二密封轴承55密封轴承，通过第二密封轴承55固定密封套54与靶材本体6之间，使得96所可以进行转动。密封套54不影响靶材本体6的转动。所述第二密封轴承55内端与靶材本体6我侧壁相连接。所述靶材本体6外端壁上侧固定安装有第三密封轴承61，所述第三密封轴承61对第一冷却腔体7的内腔进行密封，使得第一冷却腔体7对靶材本体6进行冷却，不会外流。所述第三密封轴承61外端固定连接于外壳体4内端壁，通过精密焊接固定。所述外壳体4的外侧壁固定安装有进液孔71，所述进液孔71的数量为两个，一个进水一个出水。进液孔71外端连接水管，外壳体4不会进行转动。所述外壳体4内侧开有第一冷却腔体7。第一冷却腔体7的内腔流入冷水对靶材本体6进行冷却。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。