一种研抛设备的自动分液排放和循环装置的制作方法

本实用新型属于硅片研磨抛光设备领域，具体涉及一种研抛设备的自动分液排放和循环装置。

背景技术：

半导体产业是现代电子工业的核心，而半导体产业的基础是硅材料工业。虽然各式各样的新型半导体材料应运而生，但90％以上的半导体器件和电路，尤其是大规模集成电路，都是制作在高纯度优质的硅单晶抛光片和外延片上。而我国现有的生产设备，其生产能力不够强大，资源浪费严重，特别是抛光液，如果不对其进行相应处理，直接排向外界，会对环境造成严重的污染。

针对上述情况，亟需一个装置能将抛光液在使用完之后需要进行重复利用，这个机构和循环装置配套一起使用，能起到很好的节能效果。并且从环保角度来说也具有一定的现实意义。查国内专利，分液装置有很多，但是用在研磨抛光设备里的还没有发现过。

技术实现要素：

为了填补研磨抛光设备没有分液装置这个空白，节约设备使用成本，提高研磨抛光设备竞争力。本实用新型提出一种研抛设备的自动分液排放和循环装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

提供一种研抛设备的自动分液排放和循环装置，包括分液盒、分液转轴和分液扇；

分液盒底部有两个分隔开的排液孔，分别固定两个管接头，两个排液孔间的分液盒底板上设有竖向分隔板；分液盒顶部盖设有安装板，安装板上设有通孔用于导入抛光液，分液盒下部设有安装块；安装块与连接支架相连，连接支架通过销轴与气缸连接；

分液转轴横向贯穿分液盒，分液盒内的分液转轴中段设有分液扇，其中一端部与设于分液盒外的连杆一端相连；连杆另一端通过连接座气缸头部相连。

作为一种改进，气缸上安装两个调速阀，用于调节气缸运行速度。

作为一种改进，分液盒与安装板之间设有硅胶密封垫。

作为一种改进，分液轴两端通过油封，端盖，滑动轴承和卡簧与分液盒相连，用来保证转轴转动灵活和密封。

作为一种改进，端盖与分液盒之间设有o型圈，从而实现密封。

整体通过气缸活塞杆的伸长与收拢带动分液转轴180度范围内转动，而分液转轴又带动分液扇翻转。所有与抛光液接触的金属件全部做特氟龙处理，来保证抛光液不会被金属离子污染。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.节约设备使用成本，抛光液的消耗比没有分液循环装置时减少80％。

2.减少废液污染，抛光液属于强碱溶液，具有强腐蚀性，减少其排放能有效的保护环境。

3.结构简单，只需通过一个气缸来控制分液扇转动，即可实现可循环抛光液与废液的分离，可靠性高，运行稳定性强。

附图说明

图1为本实用新型主视图；

图2为本实用新型轴向剖视图；

图3为本实用新型径向剖视图；

图4为本实用新型工作流程图。

附图标记：1-安装板，2-分液盒，3-调速阀，4-气缸，5-连接支架，6-安装块，7-接头，8-连接座，9-连杆，10-卡簧，11-分液转轴，12-滑动轴承，13-油封，14-分液扇，15-密封垫，16-o型圈，17-端盖。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行详细描述。

如图1-2所示，一种研抛设备的自动分液排放和循环装置，包括分液盒2、分液转轴11和分液扇14。

分液盒2底部有两个分隔开的排液孔，分别固定两个管接头7，两个接头7分别连接循环水路和废液排出水路。两个排液孔间的分液盒2底板上设有竖向分隔板。分液盒2顶部盖设有安装板1，分液盒2与安装板1之间设有硅胶密封垫15。安装板1上设有通孔用于导入抛光液，分液盒2下部设有安装块6。安装块6为l形安装块，底端连接分液盒，顶端与连接支架5相连，连接支架5通过销轴与气缸4连接。气缸4上安装两个调速阀3，用于调节气缸4运行速度。

分液转轴11横向贯穿分液盒2，分液盒2内的分液转轴11中段设有分液扇14，分液转轴11一端与设于分液盒2外的连杆9一端相连；连杆9另一端通过连接座8与气缸头部相连。连杆9能绕着连接座8灵活转动。分液转轴11两端通过油封13，端盖17，滑动轴承12和卡簧10与分液盒2相连，用来保证转轴转动灵活和密封。端盖17与分液盒2之间设有o型圈16，从而实现密封。

如图3所示：分液扇14在转到一定角度时被安装板1和分隔板挡住，抛光液能通过安装板1中间的通孔流到分液扇14上，再顺流而下流到分液盒2的左侧区域，最终经过接头7流向抛光液循环系统。当抛光液纯度不高时，分液扇14能在气缸4的作用下转到另一个角度，此时抛光液会流向分液盒2的右侧区域，最终流向废液排出水路。

如图4所示：当抛光液在使用后纯度较高时，气缸4一端进气，带动气缸4杆伸出，从而使分液扇14转向其中一侧，抛光液随着分液扇14向下流入分液盒2的其中一侧，最终经过分液盒2底部的排液孔流向抛光液循环系统。

当抛光液在使用后纯度不高，不能循环使用时，气缸4另一端进气，带动气缸4杆缩进，从而使分液扇14转向另一侧，废液随着分液扇14向下流入分液盒2的另一侧，最终进过分液盒2底部的排液孔进入废液排除管道。

最后需要注意的是，以上列举的仅是本实用新型的具体实施例。显然，本实用新型不限于以上实施例，还可有很多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本实用新型的保护范围。

技术特征：

1.一种研抛设备的自动分液排放和循环装置，其特征在于，包括分液盒、分液转轴和分液扇；

所述分液盒底部有两个分隔开的排液孔，分别固定两个管接头，两个排液孔间的分液盒底板上设有竖向分隔板；分液盒顶部盖设有安装板，安装板上设有通孔用于导入抛光液，分液盒下部设有安装块；安装块与连接支架相连，连接支架通过销轴与气缸连接；

所述分液转轴横向贯穿分液盒，分液盒内的分液转轴中段设有分液扇，分液转轴一端与设于分液盒外的连杆一端相连；连杆另一端通过连接座与所述气缸头部相连。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述气缸上安装两个调速阀，用于调节气缸运行速度。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述分液盒与安装板之间设有硅胶密封垫。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述分液转轴两端通过油封、端盖、滑动轴承和卡簧与分液盒相连，用来保证转轴转动灵活和密封。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述端盖与分液盒之间设有o型圈，从而实现密封。

技术总结
本实用新型属于硅片研磨抛光设备领域，具体涉及一种研抛设备的自动分液排放和循环装置。包括分液盒，分液盒底部有两个分隔开的排液孔，分别固定两个管接头分液盒顶部盖设有安装板，安装板上设有通孔用于导入抛光液，分液盒下部设有安装块；安装块与连接支架相连，连接支架通过销轴与气缸连接。分液转轴横向贯穿分液盒，分液盒内的分液转轴中段设有分液扇，其中一端部与设于分液盒外的连杆一端相连；连杆另一端通过连接座气缸头部相连。本实用新型节约设备使用成本，减少废液污染，结构简单，只需通过一个气缸来控制分液扇转动，即可实现可循环抛光液与废液的分离，可靠性高，运行稳定性强。

技术研发人员：朱亮;曹建伟;卢嘉彬;陈明;谢永旭;谢龙辉;傅林坚;周锋
受保护的技术使用者：浙江晶盛机电股份有限公司
技术研发日：2019.07.30
技术公布日：2020.05.05