一种真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统和镀膜系统的传输方法与流程

[0001]
本发明涉及真空镀膜装置技术领域，具体为一种真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统和镀膜系统的传输方法。


背景技术：

[0002]
现有技术中申请号为“cn201410197259.x”的一种用于真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统和镀膜系统的传输方法，属于真空镀膜中的玻璃基板传输技术及关键工艺装备，该装置用于真空镀膜的玻璃基板架包括至少一个凹形的用来装载玻璃基板的底面封闭或底面中空的边框容置区，具有所述玻璃基板架的镀膜系统还包括玻璃基板架传输装置以及与玻璃基板架平行设置的镀膜装置，使用所述玻璃基板架的传输方法是玻璃基板架倾斜站立在所述玻璃基板架传输装置上且边框容置区的边缘与与所述玻璃基板架的水平方向的底边水平线形成倾斜角度，上述装置用于真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统结构简单，利用所述玻璃基板架的传输方法通过设置玻璃基板架的凹形边框容置区结构及玻璃基板架和凹形边框容置区的各自位置关系代替夹具实现玻璃基板的稳固传输，解决了因夹具影响使得玻璃基板镀膜阴影、小颗粒污染等镀膜良品率低的问题。
[0003]
但是上述该用于真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统和镀膜系统的传输方法在使用过程中仍然存在较为明显的缺陷：1、上述装置通过将玻璃斜靠于边框容置区内部，使得玻璃的一面抵靠在边框容置区，此种安装方式容易造成玻璃的边角破碎和表面划伤，同时当玻璃镀膜完成后，由于玻璃与边框容置区紧贴，难以将玻璃从其上取下，从而影响装卸进度；2、上述装置的边框容置区使得真空镀膜室仅能够对玻璃的一个表明进行镀膜，当需要进行双面镀膜时，该装置则无法满足镀膜要求，使用场景较为有限。


技术实现要素：

[0004]
本发明的目的在于提供一种真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统和镀膜系统的传输方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
[0005]
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
[0006]
一种真空镀膜的玻璃基板架，包括基板架、上旋转座、下旋转座和真空驱动机构，所述基板架包括若干横梁和竖梁，若干所述横梁和竖梁将基板架分隔为玻璃安装间隔和真空驱动机构间隔，所述玻璃安装间隔阵列式排布，若干所述玻璃安装间隔上下的横梁上分别活动安装有上旋转座和下旋转座，所述上旋转座和下旋转座一一对应式设置；
[0007]
若干所述上旋转座包括上旋转盘，所述上旋转盘底部固定安装有玻璃固定弹片，所述上旋转盘通过上转轴活动插设在弹簧套内，所述弹簧套内设置有复位弹簧，所述弹簧套活动安装在伸缩机构内；
[0008]
若干所述下旋转座包括下旋转盘，所述下旋转盘上部固定安装有玻璃固定弹片，所述下旋转盘底部通过下转轴活动安装在弹簧套内，所述弹簧套内设置有复位弹簧，所述
下转轴远离下旋转盘一端固定安装有从动同步轮；
[0009]
所述真空驱动机构安装在真空驱动机构间隔内，所述真空驱动机构包括筒体，所述筒体内部一侧固定安装有充气伸缩气囊，所述充气伸缩气囊的伸缩端固定安装有挤压板，所述挤压板上端固定安装有伸缩齿条，所述伸缩齿条与主动斜齿轮盘活动配合，所述主动斜齿轮盘与从动斜齿轮啮合，所述从动斜齿轮固定连接在驱动连杆上，所述驱动连杆上间隔均匀设置有若干主动同步带轮，所述主动同步带轮均通过同步带与水平方向设置的若干从动同步轮连接，所述从动斜齿轮、驱动连杆、同步带和从动同步轮均设置于基板架内部。
[0010]
优选的，所述伸缩机构包括伸缩套筒，所述上旋转座的弹簧套活动安装在伸缩套筒内，所述伸缩套筒一侧通过螺纹旋钮活动抵靠在弹簧套上。
[0011]
优选的，所述下旋转盘一侧均固定安装有阻挡块，所述阻挡块均与横梁上对应设置的阻挡杆活动连接。
[0012]
优选的，所述筒体内固定安装有滑杆，所述挤压板上开设有供滑杆穿过的通孔，所述滑杆远离充气伸缩气囊一侧的杆体上套设有减速弹簧。
[0013]
优选的，所述基板架顶端的横梁上开设有磁铁安装槽，所述磁铁安装槽内均匀排列有基板架定位磁铁。
[0014]
一种镀膜系统，包括用于承载玻璃的基板架系统，该基板架系统采用上述的玻璃基板架。
[0015]
一种镀膜系统的传输方法，包括以下步骤：
[0016]
步骤一：工作人员将待镀膜的玻璃通过玻璃固定弹片安装在各个玻璃安装间隔内；
[0017]
步骤二：装载完成的待镀膜玻璃通过真空镀膜室底部的槽轮输送机构输送至磁控溅射室内部，基板架上部通过磁控溅射室顶部设置的吸引磁块进行吸引，从而保证基板架不发生倾倒；
[0018]
步骤三：进入真空镀膜室后，通过旋转阴极靶材或平面阴极靶材的磁控溅射源将一侧的玻璃表面进行镀膜；
[0019]
步骤四：由于磁控溅射室内部处于相对真空环境，内部的空气稀薄，从而导致充气伸缩气囊在进入真空室内部后内外的压强失衡从而发生膨胀，充气伸缩气囊膨胀带动挤压板移动，挤压板移动带动伸缩齿条移动，在伸缩齿条移动过程而未与主动斜齿轮盘啮合的一段时间内，此时旋转阴极靶材或平面阴极靶材的磁控溅射源对一侧玻璃进行镀膜，当伸缩齿条移动至与主动斜齿轮盘啮合，随着伸缩齿条的继续移动，带动从动斜齿轮连同的驱动连杆和主动同步带轮旋转，进而带动玻璃翻转，当玻璃旋转180
°
后，在阻挡块和阻挡杆的作用下，玻璃停止旋转，此时伴随着基板架的继续移动，此时对另一侧的玻璃表面进行镀膜；
[0020]
步骤五：当玻璃双面镀膜完成后，基板架在输送机构的带动下移出磁控溅射室，此时充气伸缩气囊内外的气压保持平衡，上旋转座和下旋转座在复位弹簧及伸缩齿条的反向移动下回旋180
°
，此时工作人员将完成双面镀膜的玻璃卸下即完成一个镀膜流程。
[0021]
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
[0022]
1、本发明通过上下的玻璃固定弹片将待镀膜的玻璃进行夹持，不会对玻璃表面造
成划伤，同时减小了玻璃边角破损的风险，由于采用上下夹持的安装方式，玻璃在装卸过程中不受影响，从而提供了装卸效率；
[0023]
2、本发明利用真空环境的特点，设置了充气伸缩气囊膨胀，通过真空和大气压条件下的内外气压差，从而在无需电机驱动下完成玻璃的180
°
旋转，使得玻璃可以进行双面镀膜，无需重新进行反面装卸即可进行双面镀膜，提高的镀膜的效率。
[0024]
本发明通过上下的玻璃固定弹片将待镀膜的玻璃进行夹持，不会对玻璃表面造成划伤，减小了玻璃边角破损的风险，利用真空环境的特点，通过真空和大气压条件下的内外气压差，从而在无需电机驱动下完成玻璃的180
°
旋转，使得玻璃可以进行双面镀膜，提高玻璃的装卸和镀膜效率。
附图说明
[0025]
图1为本发明的整体结构立体示意图；
[0026]
图2为本发明的玻璃安装间隔结构示意图；
[0027]
图3为本发明的驱动连杆连接结构示意图；
[0028]
图4为本发明的真空驱动机构内部结构示意图；
[0029]
图5为本发明的a区域放大结构示意图。
[0030]
图中：1基板架、2上旋转座、3下旋转座、4真空驱动机构、5横梁、6 竖梁、7玻璃安装间隔、8真空驱动机构间隔、9上旋转盘、10玻璃固定弹片、11上转轴、12弹簧套、13伸缩机构、14下旋转盘、15下转轴、16从动同步轮、17筒体、18充气伸缩气囊、19挤压板、20伸缩齿条、21主动斜齿轮盘、 22从动斜齿轮、23驱动连杆、24主动同步带轮、25同步带、26伸缩套筒、 27螺纹旋钮、28阻挡块、29阻挡杆、30滑杆、31减速弹簧、32磁铁安装槽、 33基板架定位磁铁。
具体实施方式
[0031]
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0032]
实施例：
[0033]
请参阅图1-5，本发明提供一种技术方案：
[0034]
一种真空镀膜的玻璃基板架，包括基板架1、上旋转座2、下旋转座3和真空驱动机构4，基板架1包括若干横梁5和竖梁6，若干横梁5和竖梁6将基板架1分隔为玻璃安装间隔7和真空驱动机构间隔8，玻璃安装间隔7阵列式排布，若干玻璃安装间隔7上下的横梁5上分别活动安装有上旋转座2和下旋转座3，上旋转座2和下旋转座3一一对应式设置，上旋转座2和下旋转座3用于将待镀膜的玻璃进行夹持，真空驱动机构4用于操动下旋转座3进行旋转；
[0035]
若干上旋转座2包括上旋转盘9，上旋转盘9底部固定安装有玻璃固定弹片10，上旋转盘9通过上转轴11活动插设在弹簧套12内，弹簧套12内设置有复位弹簧，弹簧套12活动安装在伸缩机构13内，弹簧套12可以在伸缩机构13内进行旋转，通过弹簧套12的伸缩从而调节玻璃固定弹片10的高度，从而满足不同尺寸玻璃的夹持需求，复位弹簧用于在无外力的作用下使得上旋转盘9保持在玻璃固定弹片10两断与横梁5的方向保持平行，从而防止玻璃
在安装过程中，上旋转盘9发生不必要的旋转，从而影响玻璃的安装；
[0036]
若干下旋转座3包括下旋转盘14，下旋转盘14上部固定安装有玻璃固定弹片10，下旋转盘14底部通过下转轴15活动安装在弹簧套12内，弹簧套 12内设置有复位弹簧，下转轴15远离下旋转盘14一端固定安装有从动同步轮16，从动同步轮16转动带动下旋转盘14转动，通过下旋转盘14转动带动玻璃旋转，进而进行双面镀膜操作，下转轴15的弹簧套12内设置的复位弹簧用于保持下旋转盘14在无外力作用下的位置，从而保证玻璃在安装过程中下旋转盘14不会发生轻易转动；
[0037]
真空驱动机构4安装在真空驱动机构间隔8内，真空驱动机构4包括筒体17，筒体17内部一侧固定安装有充气伸缩气囊18，充气伸缩气囊18的伸缩端固定安装有挤压板19，挤压板19上端固定安装有伸缩齿条20，伸缩齿条20与主动斜齿轮盘21活动配合，主动斜齿轮盘21与从动斜齿轮22啮合，从动斜齿轮22固定连接在驱动连杆23上，驱动连杆23上间隔均匀设置有若干主动同步带轮24，主动同步带轮24均通过同步带25与水平方向设置的若干从动同步轮16连接，从动斜齿轮22、驱动连杆23、同步带25和从动同步轮16均设置于基板架1内部。
[0038]
由于磁控溅射室内部处于相对真空环境，内部的空气稀薄，从而导致充气伸缩气囊18在进入真空室内部后内外的压强失衡从而发生膨胀，充气伸缩气囊18膨胀带动挤压板19移动，挤压板19移动带动伸缩齿条20移动，在伸缩齿条20移动过程而未与主动斜齿轮盘21啮合的一段时间内，此时旋转阴极靶材或平面阴极靶材的磁控溅射源对一侧玻璃进行镀膜，当伸缩齿条20 移动至与主动斜齿轮盘21啮合，随着伸缩齿条20的继续移动，带动从动斜齿轮22连同的驱动连杆23和主动同步带轮24旋转，进而带动玻璃翻转，当玻璃旋转180
°
后，在阻挡块28和阻挡杆29的作用下，玻璃停止旋转，此时伴随着基板架1的继续移动，此时对另一侧的玻璃表面进行镀膜。
[0039]
作为一个优选，伸缩机构13包括伸缩套筒26，上旋转座2的弹簧套12 活动安装在伸缩套筒26内，伸缩套筒26一侧通过螺纹旋钮27活动抵靠在弹簧套12上，通过松动螺纹旋钮27从而使得弹簧套12在伸缩套筒26内部进行伸缩，通过紧固螺纹旋钮27从而将弹簧套12进行固定。
[0040]
作为一个优选，下旋转盘14一侧均固定安装有阻挡块28，阻挡块28均与横梁5上对应设置的阻挡杆29活动连接，通过阻挡块28和阻挡杆29的配合从而限制下旋转盘14的过度旋转，保证下旋转盘14旋转180
°
后保持，从而有利于反面镀膜的进行。
[0041]
作为一个优选，筒体17内固定安装有滑杆30，挤压板19上开设有供滑杆30穿过的通孔，滑杆30远离充气伸缩气囊18一侧的杆体上套设有减速弹簧31，通过减速弹簧31提供的阻力，从而使得在相对真空状态下，挤压板 19的移动较为缓慢，进而延缓伸缩齿条20与主动斜齿轮盘21的接触时间，保证玻璃的正面有充足的时间进行镀膜。
[0042]
作为一个优选，基板架1顶端的横梁5上开设有磁铁安装槽32，磁铁安装槽32内均匀排列有基板架定位磁铁33，通过基板架定位磁铁33与磁控溅射室内磁铁的相互吸引，从而保证基板架1不发生倾斜。
[0043]
一种镀膜系统，包括用于承载玻璃的基板架系统，该基板架系统采用上述的玻璃基板架。
[0044]
一种镀膜系统的传输方法，包括以下步骤：
[0045]
步骤一：工作人员将待镀膜的玻璃通过玻璃固定弹片10安装在各个玻璃安装间隔7内；
[0046]
步骤二：装载完成的待镀膜玻璃通过真空镀膜室底部的槽轮输送机构输送至磁控溅射室内部，基板架1上部通过磁控溅射室顶部设置的吸引磁块进行吸引，从而保证基板架1不发生倾倒；
[0047]
步骤三：进入真空镀膜室后，通过旋转阴极靶材或平面阴极靶材的磁控溅射源将一侧的玻璃表面进行镀膜；
[0048]
步骤四：由于磁控溅射室内部处于相对真空环境，内部的空气稀薄，从而导致充气伸缩气囊18在进入真空室内部后内外的压强失衡从而发生膨胀，充气伸缩气囊18膨胀带动挤压板19移动，挤压板19移动带动伸缩齿条20 移动，在伸缩齿条20移动过程而未与主动斜齿轮盘21啮合的一段时间内，此时旋转阴极靶材或平面阴极靶材的磁控溅射源对一侧玻璃进行镀膜，当伸缩齿条20移动至与主动斜齿轮盘21啮合，随着伸缩齿条20的继续移动，带动从动斜齿轮22连同的驱动连杆23和主动同步带轮24旋转，进而带动玻璃翻转，当玻璃旋转180
°
后，在阻挡块28和阻挡杆29的作用下，玻璃停止旋转，此时伴随着基板架1的继续移动，此时对另一侧的玻璃表面进行镀膜；
[0049]
步骤五：当玻璃双面镀膜完成后，基板架1在输送机构的带动下移出磁控溅射室，此时充气伸缩气囊18内外的气压保持平衡，上旋转座2和下旋转座3在复位弹簧及伸缩齿条20的反向移动下回旋180
°
，此时工作人员将完成双面镀膜的玻璃卸下即完成一个镀膜流程。
[0050]
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。