真空镀膜玻璃的夹具的制作方法

文档序号:3284088阅读:303来源:国知局
专利名称:真空镀膜玻璃的夹具的制作方法
技术领域
本实用新型提供一种夹具,特别是提供一种真空镀膜玻璃的夹具。
背景技术
玻璃真空镀膜技术目前已得到广泛应用。该技术是在高温真空条件下,将Si和氧化铟锡(ITO)等靶材以离子气体的形式,冲击到玻璃表面以实现镀膜。在镀膜生产线内,通过玻璃夹具夹持相应尺寸的玻璃基片,并让玻璃基片待镀膜的相应表面朝着镀膜生产线内的工艺气管出风口方向,即可进行镀膜。现有夹具存在以下缺陷:1、该夹具为固定夹持方式,一种规格的该夹具只能用来夹持特定高度的玻璃基片,当玻璃基片的高度发生较大变化时,只能同步更换与玻璃基片相配套的该夹具,故该夹具夹持玻璃基片的适应高度范围较窄;2、镀膜过程中,玻璃基片遇高温而膨胀,但因受制于该夹具的约束和限制,使得玻璃基片的膨胀需求无法得到满足、易胀裂;3、该夹具的结构不尽合理,镀膜后,留在玻璃基片上的夹具印痕的面积较大,这样,就减少了玻璃基片的有效使用面积。

实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种真空镀膜玻璃的夹具,本夹具夹持玻璃基片的适应高度范围较广,镀膜过程中玻璃基片不易胀裂。
·[0009]为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种真空镀膜玻璃的夹具,它包括左立柱、右立柱、至少一组夹持装置,每组夹持装置包括上下水平布置且相互平行的第一横杆和第二横杆,左立柱、右立柱相互平行;第一横杆的两端与左立柱和右立柱活络连接,且使得第一横杆沿左立柱和右立柱的高度方向发生位移,第一横杆上有开口向下的第一槽,第一槽的槽长走向与第一横杆的杆长走向相一致;第二横杆的两端与左立柱和右立柱固接,第二横杆有开口向上的第二槽,第二槽的槽长走向与第二横杆的杆长走向相一致;第二槽与第一槽在位置上相对应。为简洁说明问题起见,以下对本实用新型所述真空镀膜玻璃的夹具均简称为本夹具。采用本夹具夹持玻璃基片时,先根据玻璃基片的尺寸,使得第一横杆沿左立柱和右立柱的高度方向向上位移,再将玻璃基片的下侧插入第二槽中,最后使得第一横杆沿左立柱和右立柱的高度方向向下位移,直至玻璃基片的上侧插入第一槽中(即第一横杆卡合在玻璃基片的上侧),这样,将玻璃基片夹持在开口相对的第一槽和第二槽内,载有玻璃基片的本夹具可进入镀膜生产线内,以实施后续的镀膜作业。[0015]本夹具为非固定的夹持方式,根据玻璃基片的高度变化,通过灵活调节第一横杆在左立柱和右立柱上的具体高低位置,可达到夹持不同高度玻璃基片、使玻璃基片定位的目的,一物多用,这样,无须频繁地更换本夹具。因此,本夹具夹持玻璃基片的适应高度范围较广。镀膜过程中,玻璃基片遇高温而膨胀,可随之推动第一横杆沿左立柱和右立柱的高度方向向上位移(因第一横杆的两端与左立柱和右立柱活络连接),以增大第一横杆和第二横杆之间的距离(即该距离可随玻璃基片的膨胀而自动得到相应调整,能够自动地与玻璃基片的高度进行匹配适应),玻璃基片不会与两个横杆发生挤压、不再受制于本夹具的约束和限制,本夹具不会对玻璃基片施加过大的挤压力,玻璃基片得到较好地保护,这样,玻璃基片膨胀后的相应需求可得到满足、镀膜过程中不易胀裂。综上所述,本夹具夹持玻璃基片的适应高度范围较广,镀膜过程中玻璃基片不易胀裂。另,本夹具的结构简单、易 于安装、夹持性能好。所述左立柱和右立柱上均至少有一个前后贯通对应柱体且呈倒置L形的位移用孔,每个位移用孔由水平通孔和竖直通孔连通而成,两个位移用孔在位置上相对应,且两个水平通孔的孔长走向相一致;第一横杆的两端各通过一组连接件与左立柱和右立柱挂接,每组连接件由依次贯穿第一横杆相应端头和相应位移用孔的位移螺栓、旋装在位移螺栓螺纹端上的螺母组成,每一位移螺栓与相应位移用孔间隙配合,每一螺母与相应立柱呈非接触状态。通过上述简单合理的连接结构形式,使得第一横杆的两端与左立柱和右立柱活络连接,且使得第一横杆可沿左立柱和右立柱的高度方向发生位移。所述第一横杆为方形杆,第一横杆前侧面的高度方向中部设置一个水平布置的第一延伸板,第一延伸板的板长走向与第一横杆的杆长走向相一致,使得第一横杆上形成上下布置的第一上杆体和第一下杆体,第一槽设在第一延伸板和第一下杆体之间,第一延伸板的长度等于第一上杆体的长度,第一下杆体的长度大于第一上杆体的长度,第一下杆体的两端各有第一安装通孔,第一下杆体的长度方向中心线与第一安装通孔的轴线相垂直且共同一水平面,位移螺栓依次贯穿相应第一安装通孔和相应位移用孔;第二横杆为方形杆,第二横杆前侧面的高度方向下部设置一个水平布置且向下延伸的第二延伸板,第二延伸板的板长走向与第二横杆的杆长走向相一致,开口向上的第二槽设在第二延伸板和第二横杆前侧面的高度方向上部之间,第二横杆的下侧面与第二延伸板的后侧面之间形成一开口向下的凹进,第二延伸板的长度小于第二横杆的长度,第二横杆的两端各有第二安装通孔,第二横杆的长度方向中心线与第二安装通孔的轴线相垂直且共同一水平面,第二横杆的两端通过分别贯穿相应第二安装通孔的两个紧固螺钉与左立柱和右立柱旋接。这样,使得第一横杆及第一延伸板、第二横杆及第二延伸板的结构简单合理,同时使得第一槽、第二槽易于加工。所述第一槽的截面形状为上小下大的梯形,梯形的每一腰边所在面与竖直面的夹角均为5度;第二槽的截面形状为上大下小的梯形,梯形的每一腰边所在面与竖直面的夹角均为5度。第二槽、第一槽的截面形状及相应的规格尺寸,使得玻璃基片的下侧进入第二槽、上侧进入第一槽较为容易和方便,玻璃基片在得到有效夹持的同时,还不易遭受刮伤,且镀膜后,留在玻璃基片上的夹具印痕的面积较小,相应增大了玻璃基片的有效使用面积。所述左立柱和右立柱之间接有上下布置且相互间隔的两组夹持装置。这样,可提高本夹具夹持玻璃基片的数量,合理地利用本夹具的空间,以节省镀膜成本,提高镀膜生产线的生产效率。

图1是本夹具中的第一横杆的主视图。图2是图1的A-A剖视图。图3是本夹具中的第二横杆的主视图。图4是图3的B-B剖视图。图5是本夹具中的左立柱的主视图。图6是图5中的倒置L形位移用孔的局部放大图。图7是本夹具中的右立柱的主视图。图8是图7中的倒置L形位移用孔的局部放大图。图9是本夹具的结构示意图。图10是图9的C-C剖视图。
具体实施方式
参见图1至图10:本夹具包括左立柱3、右立柱4、上下布置且相互间隔的两组夹持装置,左立柱3、右立柱4相互平行。两组夹持装置接在左立柱3和右立柱4之间。两组夹持装置的自身结构及分别与左立柱3和右立柱4之间的具体连接方式相同。左立柱3上开有两个前后贯通对应柱体且呈倒置L形的位移用孔3a,每个位移用孔3a由水平通孔3b和竖直通孔3c连通而成,左立柱3上的两个位移用孔3a分别位于该立柱的上部和中部。右立柱4上开有两个前后贯通对应柱体且呈倒置L形的位移用孔4a,每个位移用孔4a由水平通孔4b和竖直通孔4c连通而成,右立柱4上的两个位移用孔4a分别位于该立柱的上部和中部。位于左立柱3上部的位移用孔3a和右立柱4上部的位移用孔4a在位置上相对应,且水平通孔3b和水平通孔4b的孔长走向相一致。位于左立柱3中部的位移用孔3a和右立柱4中部的位移用孔4a在位置上相对应,且水平通孔3b和水平通孔4b的孔长走向相一 致。下面仅以上侧的那组夹持装置为例,对该组夹持装置的自身结构、该组夹持装置分别与左立柱3和右立柱4之间的具体连接方式进行详细说明:该组夹持装置包括上下水平布置且相互平行的第一横杆I和第二横杆2。第一横杆I为方形杆,第一横杆I前侧面的高度方向中部设置一个水平布置的第一延伸板1山第一延伸板Id的板长走向与第一横杆I的杆长走向相一致,使得第一横杆I上形成上下布置的第一上杆体Ia和第一下杆体lb。第一横杆I前侧面的高度方向下部为斜面,该斜面与竖直面的夹角为5度。开口向下的第一槽Ie设在第一延伸板Id和第一下杆体Ib之间,第一槽Ie的槽长走向与第一横杆I的杆长走向相一致,第一槽Ie的截面形状为上小下大的梯形,梯形的每一腰边所在面与竖直面的夹角均为5度。这样,第一横杆I的前侧有超出其杆体的第一槽le。第一延伸板Id的长度等于第一上杆体Ia的长度,第一下杆体Ib的长度大于第一上杆体Ia的长度,第一下杆体Ib的两端各有第一安装通孔lc,第一下杆体Ib的长度方向中心线与第一安装通孔Ic的轴线相垂直且共同一水平面。第二横杆2为方形杆,第二横杆2前侧面的高度方向下部设置一个水平布置且向下延伸的第二延伸板2b,第二延伸板2b的板长走向与第二横杆2的杆长走向相一致。第二横杆2前侧面的高度方向上部为斜面,该斜面与竖直面的夹角为5度。开口向上的第二槽2c设在第二延伸板2b和第二横杆2前侧面的高度方向上部之间,第二槽2c的槽长走向与第二横杆2的杆长走向相一致,第二槽2c的截面形状为上大下小的梯形,梯形的每一腰边所在面与竖直面的夹角均为5度。这样,第二横杆2的前侧有超出其杆体的第二槽2c。第二横杆2的下侧面与第二延伸板2b的后侧面之间形成一开口向下的凹进2d,第二延伸板2b的长度小于第二横杆2的长度,第二横杆2的两端各有第二安装通孔2a,第二横杆2的长度方向中心线与第二安装通孔2a的轴线相垂直且共同一水平面。第一横杆I的两端各通过一组连接件与左立柱3和右立柱4挂接,每组连接件由依次贯穿相应第一安装通孔Ic和相应位移用孔的位移螺栓5a、旋装在位移螺栓5a螺纹端上的螺母组成(为简洁说明问题起见,附图中未示出所述的螺母),每一位移螺栓5a与相应位移用孔间隙配合,每一螺母与相应立柱呈非接触状态。这样,第一横杆I的两端与左立柱3和右立柱4活络连接,且使得第一横杆I沿左立柱3和右立柱4的高度方向发生位移。第二横杆2的两端通过分别贯穿相应第二安装通孔2a的两个紧固螺钉6与左立柱3和右立柱4旋接。左立柱3和右立柱4上的相应位置处开有与两个紧固螺钉6分别相适配的螺纹孔(附图中未 示出所述两个螺纹孔的件号)。第二槽2c与第一槽Ie在位置上相对应。对于上下布置的两组夹持装置而言,上侧那组夹持装置中的第二横杆2的凹进2d、下侧那组夹持装置中的第一横杆I的第一上杆体Ia相互配合,具体讲就是:当所述第一横杆I沿左立柱3和右立柱4的高度方向向上位移时,所述第一上杆体Ia可部分或全部插入所述凹进2d中,这样,可进一步合理地利用本夹具的空间,以节省镀膜成本,提高镀膜生产线的生产效率。下面仅以上侧的那组夹持装置为例,对该组夹持装置夹持玻璃基片的具体使用进行详细说明:先根据玻璃基片的尺寸(附图中未示出所述的玻璃基片),将两个位移螺栓5a分别沿位移用孔3a的竖直通孔3c、位移用孔4a的竖直通孔4c向上移动,并进入位移用孔3a的水平通孔3b、位移用孔4a的水平通孔4b中,使得第一横杆I沿左立柱3和右立柱4的高度方向向上位移,并通过所述的水平通孔3b和水平通孔4b得到暂时定位,再将玻璃基片的下侧插入第二槽2c中,最后将两个位移螺栓5a分别退出位移用孔3a的水平通孔3b、位移用孔4a的水平通孔4b,并进入位移用孔3a的竖直通孔3c、位移用孔4a的竖直通孔4c向下移动,因重力作用使得第一横杆I沿左立柱3和右立柱4的高度方向向下位移,直至玻璃基片的上侧插入第一槽Ie中(即第一横杆I卡合在玻璃基片的上侧),这样,将玻璃基片夹持在开口相对的第一槽Ie和第二槽2c内,载有玻璃基片的本夹具可进入镀膜生产线内,以实施后续的镀膜作业。镀膜时,将本夹具朝向镀膜生产线内的工艺气管的出风口一侧(附图中未示出所述的镀膜生产线及其内的工艺气管),且使得第一横杆I的第一延伸板Id和第二横杆2的第二延伸板2b靠近工艺气管的出风口。本夹具为非固定的夹持方式,根据玻璃基片的高度变化,通过灵活调节第一横杆I在左立柱3和右立柱4上的具体高低位置,可达到夹持不同高度玻璃基片、使玻璃基片定位的目的,一物多用,这样,无须频繁地更换本夹具。因此,本夹具夹持玻璃基片的适应高度范围较广。镀膜过程中,玻璃基片遇高温而膨胀,可随之推动第一横杆I沿左立柱3和右立柱4的高度方向向上位移(因第一横杆I的两端与左立柱3和右立柱4活络连接,此时,两个位移螺栓5a分别沿位移用孔3a的竖直通孔3c、位移用孔4a的竖直通孔4c向上移动,两个位移螺栓5a可改变两者在位移用孔3a的竖直通孔3c、位移用孔4a的竖直通孔4c中的具体位置),以增大第一横杆I和第二横杆2之间的距离(即该距离可随玻璃基片的膨胀而自动得到相应调整,能够自动地与玻璃基片的高度进行匹配适应),玻璃基片不会与第一横杆I和第二横杆2发生挤压、不再受制于本夹具的约束和限制,本夹具不会对玻璃基片施加过大的挤压力,玻璃基片得到较好地保护,这样,玻璃基片膨胀后的相应需求可得到满足、镀膜过程中不易胀裂。综上所述,本夹具夹持玻璃基片的适应高度范围较广,镀膜过程中玻璃基片不易胀裂。另,本夹具的结构简单、易于安装、夹持性能好。如上所述,便可较好地实现本实用新型,凡依本实用新型内容所作的一些变化与修饰,如改变夹持装置 的组数等,都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。
权利要求1.真空镀膜玻璃的夹具,其特征在于: 它包括左立柱、右立柱、至少一组夹持装置,每组夹持装置包括上下水平布置且相互平行的第一横杆和第二横杆,左立柱、右立柱相互平行; 第一横杆的两端与左立柱和右立柱活络连接,且使得第一横杆沿左立柱和右立柱的高度方向发生位移,第一横杆上有开口向下的第一槽,第一槽的槽长走向与第一横杆的杆长走向相一致; 第二横杆的两端与左立柱和右立柱固接,第二横杆有开口向上的第二槽,第二槽的槽长走向与第二横杆的杆长走向相一致; 第二槽与第一槽在位置上相对应。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜玻璃的夹具,其特征在于: 所述左立柱和右立柱上均至少有一个前后贯通对应柱体且呈倒置L形的位移用孔,每个位移用孔由水平通孔和竖直通孔连通而成,两个位移用孔在位置上相对应,且两个水平通孔的孔长走向相一致; 第一横杆的两端各通过一组连接件与左立柱和右立柱挂接,每组连接件由依次贯穿第一横杆相应端头和相应位移用孔的位移螺栓、旋装在位移螺栓螺纹端上的螺母组成,每一位移螺栓与相应位移用孔间隙配合,每一螺母与相应立柱呈非接触状态。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜玻璃的夹具,其特征在于: 所述第一横杆为方形杆,第一横杆前侧面的高度方向中部设置一个水平布置的第一延伸板,第一延伸板的板长走向与第一横杆的杆长走向相一致,使得第一横杆上形成上下布置的第一上杆体和第一下杆体,第一槽设在第一延伸板和第一下杆体之间,第一延伸板的长度等于第一上杆体的长度,第一下杆体的长度大于第一上杆体的长度,第一下杆体的两端各有第一安装通孔, 第一下杆体的长度方向中心线与第一安装通孔的轴线相垂直且共同一水平面,位移螺栓依次贯穿相应第一安装通孔和相应位移用孔; 第二横杆为方形杆,第二横杆前侧面的高度方向下部设置一个水平布置且向下延伸的第二延伸板,第二延伸板的板长走向与第二横杆的杆长走向相一致,开口向上的第二槽设在第二延伸板和第二横杆前侧面的高度方向上部之间,第二横杆的下侧面与第二延伸板的后侧面之间形成一开口向下的凹进,第二延伸板的长度小于第二横杆的长度,第二横杆的两端各有第二安装通孔,第二横杆的长度方向中心线与第二安装通孔的轴线相垂直且共同一水平面,第二横杆的两端通过分别贯穿相应第二安装通孔的两个紧固螺钉与左立柱和右立柱旋接。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的真空镀膜玻璃的夹具,其特征在于: 所述第一槽的截面形状为上小下大的梯形,梯形的每一腰边所在面与竖直面的夹角均为5度; 第二槽的截面形状为上大下小的梯形,梯形的每一腰边所在面与竖直面的夹角均为5度。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的真空镀膜玻璃的夹具,其特征在于: 所述左立柱和右立柱之间接有上下布置且相互间隔的两组夹持装置。
6.根据权利要求4所述的真空镀膜玻璃的夹具,其特征在于: 所述左立柱和右立柱之间接有上下布置且相互间隔的两组夹持装置。
专利摘要一种真空镀膜玻璃的夹具,它包括左立柱、右立柱、至少一组夹持装置,每组夹持装置包括上下水平布置且相互平行的第一横杆和第二横杆,左立柱、右立柱相互平行;第一横杆的两端与左立柱和右立柱活络连接,且使得第一横杆沿左立柱和右立柱的高度方向发生位移,第一横杆上有开口向下的第一槽,第一槽的槽长走向与第一横杆的杆长走向相一致;第二横杆的两端与左立柱和右立柱固接,第二横杆有开口向上的第二槽,第二槽的槽长走向与第二横杆的杆长走向相一致;第二槽与第一槽在位置上相对应。本夹具夹持玻璃基片的适应高度范围较广,镀膜过程中玻璃基片不易胀裂。
文档编号C23C14/22GK203159704SQ201320171158
公开日2013年8月28日 申请日期2013年4月8日 优先权日2013年4月8日
发明者关长文 申请人:关长文
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