一种化学气相沉积炉的制作方法

[0001]
本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉。


背景技术：

[0002]
化学气相沉积法是制备碳包覆复合材料的主要方法之一，它是通过将烃类等碳源气体通入沉积炉内，在高温下碳源气体发生热解，产生的热解碳在待包覆材料表面沉积，最终在待包覆材料表面形成包覆层，从而得到碳包覆复合材料，具有工艺简单、适用于规模化生产等特点。
[0003]
现有技术中化学气相沉积炉，需沉积的原料通常为静态的，由于碳源气体在炉内压差分布不均匀，使得碳源气体在表层原料和内部原料上沉积的浓度有差异，从而导致包覆不均匀，沉积效果较差。


技术实现要素：

[0004]
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在沉积效果差的缺点，而提出的一种化学气相沉积炉。
[0005]
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
[0006]
一种化学气相沉积炉，包括炉体，所述炉体的顶部通过螺丝固定连接有原料仓，炉体的底部设有成品出料口，且炉体的两侧分别开设有输气口和排气口，所述输气口通过法兰盘固定连接有输气管道，所述输气管道的另一端固定连接有气体混合器，所述气体混合器上分别设有第一进气口和第二进气口，所述排气口通过法兰盘固定连接有排气管；
[0007]
所述炉体的内部转动安装有第一丝杠，且炉体的内部还通过螺栓固定有对称布置的第二丝杠，所述第一丝杠的外部滑动设置有滑台，所述滑台的四周均通过螺丝固定有连接板，所述连接板的内部转动设置有转动块，所述转动块滑动设置在所述第二丝杠的外部，且转动块的两侧均焊接有搅拌杆。
[0008]
优选的，所述炉体的内部分别安装有第一轴承和第二轴承，所述第一丝杠的两端分别套设在所述第一轴承和第二轴承的内部。
[0009]
优选的，所述滑台的内部开设有第一安装孔，第一安装孔的内部通过沉头螺栓固定有第一滚珠螺母，所述第一滚珠螺母装配在所述第一丝杠的外部。
[0010]
优选的，所述炉体的内壁通过铆钉固定有导轨，所述滑台的一侧通过螺丝连接有滑块，所述滑块与导轨滑动连接。
[0011]
优选的，所述连接板的内部开设有圆孔，所述转动块嵌入在所述圆孔的内部，且转动块的内部开设有第二安装孔，第二安装孔的内部通过沉头螺栓固定有第二滚珠螺母，所述第二滚珠螺母装配在所述第二丝杠的外部。
[0012]
本实用新型的有益效果是：与现有技术相比较，本实用新型结构简单、设计合理，通过第一丝杠、第二丝杠、伺服电机、滑台、连接板、转动块以及搅拌杆等结构的设置，在原料进入炉体内部反应时，利用电机来驱动滑台滑动，同时利用丝杠的反向作用原理使转动
块在炉体内往复移动的同时转动，以此来实现对物料来回搅拌的效果，使材料与气体充分接触，使得材料获得均匀的碳包覆，进而提升沉积效果并提高生产效率。
附图说明
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图1为本实用新型提出的一种化学气相沉积炉的主视图；
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图2为本实用新型提出的滑台和转动块的俯视图；
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图3为本实用新型提出的滑台和转动块的结构示意图。
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图中：1炉体、2原料仓、3气体混合器、4成品出料口、5排气管、6第一进气口、7第二进气口、8输气管道、9伺服电机、10第一丝杠、11第二丝杠、12滑台、13连接板、14转动块、15搅拌杆。
具体实施方式
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下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0018]
参照图1-3，一种化学气相沉积炉，包括炉体1，所述炉体1的顶部通过螺丝固定连接有原料仓2，炉体1的底部设有成品出料口4，且炉体1的两侧分别开设有输气口和排气口，输气口通过法兰盘固定连接有输气管道8，输气管道8的另一端固定连接有气体混合器3，气体混合器3上分别设有第一进气口6和第二进气口7，排气口通过法兰盘固定连接有排气管5；炉体1的内部转动安装有第一丝杠10，且炉体1的内部还通过螺栓固定有对称布置的第二丝杠11，第一丝杠10的外部滑动设置有滑台12，滑台12的四周均通过螺丝固定有连接板13，连接板13的内部转动设置有转动块14，转动块14滑动设置在第二丝杠11的外部，且转动块14的两侧均焊接有搅拌杆15，通过第一丝杠10、第二丝杠11、伺服电机9、滑台12、连接板13、转动块14以及搅拌杆15等结构的设置，在原料进入炉体1内部反应时，利用电机来驱动滑台12滑动，同时利用丝杠的反向作用原理使转动块14在炉体1内往复移动的同时转动，以此来实现对物料来回搅拌的效果，使材料与气体充分接触，使得材料获得均匀的碳包覆，进而提升沉积效果并提高生产效率，炉体1的内部分别安装有第一轴承和第二轴承，第一丝杠10的两端分别套设在第一轴承和第二轴承的内部，滑台12的内部开设有第一安装孔，第一安装孔的内部通过沉头螺栓固定有第一滚珠螺母，第一滚珠螺母装配在第一丝杠10的外部，炉体1的内壁通过铆钉固定有导轨，滑台12的一侧通过螺丝连接有滑块，滑块与导轨滑动连接，连接板13的内部开设有圆孔，转动块14嵌入在圆孔的内部，且转动块14的内部开设有第二安装孔，第二安装孔的内部通过沉头螺栓固定有第二滚珠螺母，第二滚珠螺母装配在第二丝杠11的外部。
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本实施例中，工作时，首先人员物料装入在原料仓2内，随后将原料仓2的顶部仓门关闭，使原料仓2密封，同时打开原料仓2与炉体1的阀门，使原料进入炉体1的内部；
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之后开启第一进气口6，向炉体1内通入保护气进行气体交换；对炉体1进行加热；当温度达到800-920℃后，开启第二进气口7，向炉体1内通入碳源气体；
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随后开启电机9，使电机9动作带动第一丝杠10转动，在第一丝杠10的作用下使滑台12带动四个与之刚性连接的连接板13同时移动，连接板13则带动转动块14沿第二丝杠11
滑动，由于第二丝杠11与炉体1是固定连接的，故转动块14则会在第二滚珠螺母的作用下转动，从而带动各个搅拌杆15转动，随着电机9使滑台12上下滑动，搅拌杆15则同时上下滑动并转动，对内部的原料进行搅拌，通过边移动边搅拌的方式使材料与内部的气体充分接触，实现均匀包裹的目的；反应5小时后，关闭第二进气口7，并停止电机9转动，将炉体1底部的阀门开启后使成品由成品出料口4落出，同时开启排气口5将废气排出处理。
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以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。