一种电子束蒸发台加热器装置的制作方法

[0001]
本实用新型涉及电子束蒸发法技术领域，尤其涉及一种电子束蒸发台加热器装置。


背景技术：

[0002]
电子束蒸发法是真空蒸发镀膜的一种，是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向基板输运，在基底上凝结形成薄膜的方法。在电子束加热装置中，被加热的物质放置于水冷的坩埚中，可避免蒸发材料与坩埚壁发生反应影响薄膜的质量，因此，电子束蒸发沉积法可以制备高纯薄膜，同时在同一蒸发沉积装置中可以安置多个坩埚，实现同时或分别蒸发，沉积多种不同的物质。通过电子束蒸发，任何材料都可以被蒸发，不同材料需要采用不同类型的增竭以获得所要达到的蒸发率。
[0003]
目前的电子束蒸发台在加热装置主要依靠电子加速器产生电子束直接加热蒸发材料，从而达到了加热的目的，而目前的电子加速器在使用的过程中，常常会出现机械故障，而人工对其进行拆卸时，操作较为复杂，所以我们提出了一种电子束蒸发台加热器装置，用以解决上述所提出的问题。


技术实现要素：

[0004]
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种电子束蒸发台加热器装置。
[0005]
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
[0006]
一种电子束蒸发台加热器装置，包括电子束蒸发台，所述电子束蒸发台的一侧开设有安装槽，且安装槽内卡装有安装板，所述安装板的两侧均固定安装有固定板，所述固定板上开设有对称设置的两个固定槽，所述电子束蒸发台的一侧固定安装有两个对称设置的固定座，所述固定板的一侧贴合有对称设置的两个转动块，且转动块和相对应的固定槽相适配，所述转动块的两侧均固定安装有条形板，且条形板的一侧和固定板的一侧相贴合，所述转动块的一侧固定安装有螺杆，所述转动块的一侧开设有螺纹槽，所述螺杆的一端贯穿固定槽并延伸至相对应的螺纹槽内且和螺纹槽螺纹连接，所述固定座的一侧固定安装有弹性组件，所述螺杆贯穿弹性组件，所述弹性组件的一侧和固定板的一侧相贴合。
[0007]
优选的，所述安装板的外侧套设有密封垫，且安装板通过密封垫和安装槽密封卡合。
[0008]
优选的，所述弹性组件包括固定安装在固定座一侧的复位弹簧，所述复位弹簧的一端固定安装有承压板，所述承压板的中心位置上开设有通孔，所述螺杆的一端贯穿通孔和复位弹簧，所述承压板的一侧和固定板的一侧相贴合，所述承压板上固定安装有限位组件，所述限位组件的一侧和电子束蒸发台的一侧固定连接，通过顺时针转动螺杆，可以推动固定板向靠近电子束蒸发台的一侧进行移动，进而可以压缩弹性组件，在弹性组件的复位弹力下，可以对固定板施加反向作用力，从而可以使得固定板固定后不易松动。
[0009]
优选的，所述转动块的一侧固定安装有旋钮块，且旋钮块的外侧套设有螺纹橡胶套，利用旋钮块可以方便转动转动块进行转动。
[0010]
优选的，所述限位组件包括固定安装在承压板一侧的两个限位套筒，所述限位套筒内滑动连接有滑动板，所述滑动板的一端固定安装有限位杆，所述限位杆的一端延伸至限位套筒的一侧并和电子束蒸发台的一侧固定连接，当固定板压动承压板进行移动时，会使得限位杆在限位套筒内进行滑动，从而可以对承压板纵向移动进行限位，使其纵向移动时保持稳固，且不会发生偏移。
[0011]
优选的，所述限位套筒的内部侧壁上均固定嵌装有对称设置的两个滑轨，所述滑动板的两侧均固定安装有滑块，且两个滑块分别和两个滑轨滑动连接，利用滑块和滑轨可以降低了限位套筒和滑动板的滑动摩擦力。
[0012]
本实用新型中，当需要将安装板上的电子加速器拆下时，此时分别转动四个转动块，当转动块和固定槽完全重合时，在复位弹簧的复位弹力下，可以推动固定板进行移动，当转动块穿过固定槽时，便解除了对固定板的制动，此时可以将安装板从电子束蒸发台上取下，从而可以对安装板上的电子加速器进行拆下维修，操作方便，只需要转动四个转动块便可以完成了对电子加速器的拆卸。
[0013]
本实用新型操作方便，只需要简单的几个操作步骤便可以将电子加速器拆下，大大方便了维修人员对电子加速器的维修，提高了电子加速器拆卸效率，简化了电子加速器的拆卸步骤，具有较强的实用性。
附图说明
[0014]
图1为本实用新型提出的一种电子束蒸发台加热器装置的整体结构示意图；
[0015]
图2为本实用新型提出的一种电子束蒸发台加热器装置的图1的a部分放大结构示意图；
[0016]
图3为本实用新型提出的一种电子束蒸发台加热器装置的图1中的部分俯视结构示意图；
[0017]
图4为本实用新型提出的一种电子束蒸发台加热器装置的图3中的固定座的三维结构示意图；
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图5为本实用新型提出的一种电子束蒸发台加热器装置的图3中的限位组件剖视结构示意图；
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图6为本实用新型提出的一种电子束蒸发台加热器装置的图3中的螺杆和承压板相连接的结构示意图。
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图中：1电子束蒸发台、2安装槽、3安装板、4固定板、5固定槽、6转动块、7条形板、8螺杆、9固定座、10螺纹槽、11复位弹簧、12承压板、13限位组件、1301限位杆、1302限位套筒、1303滑动板、14通孔、15电子加速器。
具体实施方式
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下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
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实施例一
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参照图1-6，一种电子束蒸发台加热器装置，包括电子束蒸发台1，电子束蒸发台1的一侧开设有安装槽2，且安装槽2内卡装有安装板3，安装板3的两侧均固定安装有固定板4，固定板4上开设有对称设置的两个固定槽5，电子束蒸发台1的一侧固定安装有两个对称设置的固定座9，固定板4的一侧贴合有对称设置的两个转动块6，且转动块6和相对应的固定槽5相适配，转动块6的两侧均固定安装有条形板7，且条形板7的一侧和固定板4的一侧相贴合，转动块6的一侧固定安装有螺杆8，转动块6的一侧开设有螺纹槽10，螺杆8的一端贯穿固定槽5并延伸至相对应的螺纹槽10内且和螺纹槽10螺纹连接，固定座9的一侧固定安装有弹性组件，螺杆8贯穿弹性组件，弹性组件的一侧和固定板4的一侧相贴合。
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实施例二
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在实施例一的基础上进一步改进的：安装板3的外侧套设有密封垫，且安装板3通过密封垫和安装槽2密封卡合，弹性组件包括固定安装在固定座9一侧的复位弹簧11，复位弹簧11的一端固定安装有承压板12，承压板12的中心位置上开设有通孔14，螺杆8的一端贯穿通孔14和复位弹簧11，承压板12的一侧和固定板4的一侧相贴合，承压板12上固定安装有限位组件13，限位组件13的一侧和电子束蒸发台1的一侧固定连接，通过顺时针转动螺杆8，可以推动固定板4向靠近电子束蒸发台1的一侧进行移动，进而可以压缩弹性组件，在弹性组件的复位弹力下，可以对固定板4施加反向作用力，从而可以使得固定板4固定后不易松动，转动块6的一侧固定安装有旋钮块，且旋钮块的外侧套设有螺纹橡胶套，利用旋钮块可以方便转动转动块6进行转动，限位组件包括固定安装在承压板12一侧的两个限位套筒1302，限位套筒1302内滑动连接有滑动板1303，滑动板1303的一端固定安装有限位杆1301，限位杆1301的一端延伸至限位套筒1302的一侧并和电子束蒸发台1的一侧固定连接，当固定板4压动承压板12进行移动时，会使得限位杆1301在限位套筒1302内进行滑动，从而可以对承压板12纵向移动进行限位，使其纵向移动时保持稳固，且不会发生偏移，限位套筒1302的内部侧壁上均固定嵌装有对称设置的两个滑轨，滑动板1303的两侧均固定安装有滑块，且两个滑块分别和两个滑轨滑动连接，利用滑块和滑轨可以降低了限位套筒1302和滑动板1303的滑动摩擦力。
[0026]
本实用新型中：当需要将安装板3上的电子加速器15拆下时，此时分别转动四个转动块6，当转动块6和固定槽5完全重合时，在复位弹簧11的复位弹力下，可以推动固定板4进行移动，当转动块6穿过固定槽5时，便解除了对固定板4的制动，此时可以将安装板3从电子束蒸发台1上取下，从而可以对安装板3上的电子加速器15进行拆下维修，操作方便，只需要转动四个转动块6便可以完成了对电子加速器15的拆卸。
[0027]
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。