1.一种通过原位离子共注入构筑高承载低摩擦橡胶表面的方法,是将以金属靶材和碳靶材作为离子共注入材料,采用真空电弧离子源,在清洗后的橡胶表面原位共注入金属和碳元素作为承载层,然后采用磁控溅射在承载层上沉积碳薄膜,从而获得高承载高结合低摩擦橡胶表面。
2.如权利要求1所述一种通过原位离子共注入构筑高承载低摩擦橡胶表面的方法,其特征在于:橡胶基底为丁腈橡胶、氟橡胶及硅橡胶中的一种,橡胶表面粗糙度≤200nm,橡胶厚度为3~5mm。
3.如权利要求1所述一种通过原位离子共注入构筑高承载低摩擦橡胶表面的方法,其特征在于:承载层的注入沉积:抽真空至1×10-6pa;调节碳靶材电流45~60a,占空比为40~50%,束流密度为0.48~0.64a/100cm2·s,注入时间为480s;同时,调节金属靶电流从0a逐渐增至40a,占空比50%,束流密度从0a逐渐增至0.42a/100cm2·s,注入时间为360s;控制加速电压-20~-30kv,频率1~3hz。
4.如权利要求3所述一种通过原位离子共注入构筑高承载低摩擦橡胶表面的方法,其特征在于:金属靶材采用ti、cr、w靶中的一种。
5.如权利要求1所述一种通过原位离子共注入构筑高承载低摩擦橡胶表面的方法,其特征在于:碳靶材采用石墨靶。
6.如权利要求1所述一种通过原位离子共注入构筑高承载低摩擦橡胶表面的方法,其特征在于:所述磁控溅射沉积碳薄膜:采用石墨靶,靶基距为8~12cm,靶电流为3a,氩气流量为45~60sccm,ar/ch4的流量比为1.5:1,基底偏压为-700v,气压为1~1.5pa,占空比为40~45%,频率为60~70khz,沉积时间为120~150min。