一种MPCVD设备的冷却结构的制作方法

文档序号:28120999发布日期:2021-12-22 15:14阅读:158来源:国知局
一种MPCVD设备的冷却结构的制作方法
一种mpcvd设备的冷却结构
技术领域
1.本实用新型涉及mpcvd的冷却结构技术领域,具体涉及一种mpcvd设备的冷却结构。


背景技术:

2.微波等离子体化学气相沉积,用微波等离子体设备进行化学气相沉积。
3.现有技术中mpcvd设备在工作中不添加冷却结构会减少机器的使用寿命,但mpcvd设备的冷却成本较高,没有低成本并且冷却效果较好的结构。


技术实现要素:

4.本实用新型要解决的技术问题是,现有技术中mpcvd设备在工作中不添加冷却结构会减少机器的使用寿命,但mpcvd设备的冷却成本较高,没有低成本并且冷却效果较好的结构,提供一种mpcvd设备的冷却结构,使其有较低的制造成本,并且有较好的冷却效果。
5.本实用新型解决技术问题采用的技术方案是:一种mpcvd 设备的冷却结构,其包括:所述连接板表面固定有冷却管,所述冷却管上端固定有水箱,所述水箱远离冷却管的一侧开设有注水口,所述连接板内焊接有防护外壳,所述防护外壳内转动连接有散热风扇,所述散热风扇远离防护外壳的一侧固定有驱动电机,所述驱动电机的下表面固定有支撑板,所述驱动电机表面固定有固定扣,且固定扣螺纹连接有支撑板表面,所述支撑板远离驱动电机的一侧固定有冷凝器,且冷凝器两侧开设有管道并延伸进冷却管内,所述连接板远离转动扇的一侧开设有固定槽。
6.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述水箱一侧固定有空气存储箱,所述空气存储箱表面转动连接有微型转动扇。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述空气存储箱下表面固定有风机,所述风机远离空气存储箱的一侧延伸有输送管,且输送管延伸进冷凝器内。
8.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述冷却管共设有两个,所述冷却管远离转动扇的一侧固定有固定板,所述固定板表面固定有水泵与储液箱。
9.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述水泵输出端延伸进储液箱内,且水泵远离固定板的一侧水管延伸进水箱内。
10.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述储液箱16远离水泵17的一端连接有连接管14,且连接管14管道延伸进冷凝器12内。
11.本实用新型具有以下优点:该冷却设备采用了水循环冷却来降温,节约成本的同时也有较好的冷却效果,且该冷却设备内增加了微型转动扇可将mpcvd设备内的热温吸入空气存储箱内,并由风机输送至冷凝器内,使其进行降温在释放。
附图说明
12.图1是本实用新型一优选实施例的主视结构示意图;
13.图2是本实用新型一优选实施例图一的剖视结构示意图;
14.图3是本实用新型一优选实施例图二的主视结构示意图。
15.附图标记说明:1、连接板;2、冷却管;3、水箱;4、注水口; 5、空气存储箱;6、微型转动扇;7、防护外壳;8、散热风扇;9、驱动电机;10、固定扣;11、支撑板;12、冷凝器;13、输送管;14、连接管;15、风机;16、储液箱;17、水泵;18、固定槽;19、固定板。
具体实施方式
16.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。
17.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
18.下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
19.实施例
20.请结合参阅图1

3,本实用新型一种mpcvd设备的冷却结构,包括连接板1表面固定有冷却管2,冷却管2上端固定有水箱3,水箱3远离冷却管2的一侧开设有注水口4,连接板1 内焊接有防护外壳7,防护外壳7内转动连接有散热风扇8,散热风扇8远离防护外壳7的一侧固定有驱动电机9,驱动电机9 的下表面固定有支撑板11,驱动电机9表面固定有固定扣10,且固定扣10螺纹连接有支撑板11表面,支撑板11远离驱动电机9的一侧固定有冷凝器12,且冷凝器12两侧开设有管道并延伸进冷却管2内,连接板1远离散热风扇8的一侧开设有固定槽18。
21.水泵17输出端延伸进储液箱16内,且水泵17远离固定板 19的一侧水管延伸进水箱3内,水泵17通过水管将水箱3内的水抽出并输送到储液箱16内,保证储液箱16内的供水,水箱3一侧固定有空气存储箱5,空气存储箱5表面转动连接有微型转动扇6,通过微型转动扇6将mpcvd设备内的热气吸收到空气存储箱5内,冷却管2共设有两个,冷却管2远离散热风扇8的一侧固定有固定板19,固定板19表面固定有水泵17 与储液箱16,通过设置两个冷却管2保证设备内的降温效果,固定板19用来固定水泵17与储液箱16,储液箱16远离水泵 17的一端连接有连接管14,且连接管14管道延伸进冷凝器12 内,通过水泵17内输送的水,将其运输到冷凝器12内,避免水泵17与冷凝器12的直接接触使其发生故障,空气存储箱5 下表面固定有风机15,风机15远离空气存储箱5的一侧延伸有输送管13,且输送管13延伸进冷凝器12内,通过微型转动扇6将热气吸收进空气存储箱5内,通过风机15将热气输送到冷凝器12内,将其压转化降温在释放。
22.具体的,本实用新型使用时,通过在注水口4将水箱3内灌满水,随后水泵17将水箱
3内的水抽到储液箱16内,储液箱16通过连接管14,将水流到冷凝器12内,通过设置储液箱 16避免因冷凝器12与水泵17的直接接触,冷凝器12将冷气排向冷却管2达到mpcvd设备的冷却效果,通过微型转动扇6 将设备内的热气吸收进空气存储箱5内,通过风机15将热气输送到冷凝器12中,进行循环使用,且冷却结构安装有散热风扇 8,最大限度的将冷却效果最大化,该设备通过固定槽18来完成安装。
23.以上仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
24.本实用新型中其他未详述部分均属于现有技术,故在此不再赘述。
25.最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
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