技术特征：
1.一种加热装置，其特征在于，应用于镀膜设备中，所述镀膜设备用于对石墨舟中的承载件进行镀膜；所述加热装置包括加热腔体，以及设置在所述加热腔体上的加热件，所述石墨舟位于所述加热腔体内；所述加热腔体的第一方向的长度，大于所述加热腔体的第二方向的长度；其中，所述加热腔体的第一方向为与所述石墨舟的宽度方向平行的方向，所述第二方向为与所述石墨舟的高度方向平行的方向；沿所述加热腔体的第一方向分布的部分加热腔体与所述石墨舟的距离，小于沿所述加热腔体的第二方向的分布部分加热腔体与所述石墨舟的距离。2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热件包括沿所述加热腔体的第一方向，设置在所述加热腔体上的第一加热件，以及沿所述加热腔体的第二方向，设置在所述加热腔体上的第二加热件；所述第一加热件对所述石墨舟产生的热场，与所述第二加热件对所述石墨舟产生的热场不同。3.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述第一加热件和所述第二加热件的材质和形状相同，所述第一加热件在所述加热腔体上的布设密度，大于所述第二加热件在所述加热腔体上的布设密度。4.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述第一加热件和所述第二加热件的材质相同，且所述第一加热件和所述第二加热件在所述加热腔体上的布设密度相同，单位体积上，所述第一加热件的电阻大于所述第二加热件的电阻。5.根据权利要求4所述的加热装置，其特征在于，所述第一加热件和所述第二加热件均为加热电阻丝，所述第一加热件的直径小于所述第二加热件的直径。6.根据权利要求1-5任一项所述的加热装置，其特征在于，所述加热腔体包括第一部分和第二部分；所述第一部分为沿所述加热腔体的第一方向分布的部分所述加热腔体；所述第二部分为沿所述加热腔体的第一方向分布的部分所述加热腔体。7.根据权利要求6所述的加热装置，其特征在于，所述第一部分为曲面结构或平面结构。8.根据权利要求6所述的加热装置，其特征在于，所述第二部分为曲面结构或平面结构。9.根据权利要求1-5任一项所述的加热装置，其特征在于，沿第三方向，所述加热装置的截面为矩形或椭圆形；所述第三方向为与所述石墨舟的长度方向垂直的方向。10.一种镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的加热装置。
技术总结
本实用新型公开一种加热装置和镀膜设备，涉及镀膜技术领域。用于提供一种能够对石墨舟中承载的硅片进行均匀加热，且不会对硅片的镀膜效果产生影响的加热装置。该加热装置包括加热腔体，以及设置在加热腔体上的加热件，石墨舟位于加热腔内；加热腔体的第一方向的长度，大于加热腔体的第二方向的长度；其中，加热腔体的第一方向为与石墨舟的宽度方向平行的方向，第二方向为与石墨舟的高度方向平行的方向；沿加热腔体的第一方向分布的部分加热腔体距离石墨舟的距离，小于沿加热腔体的第二方向的分布部分加热腔体距离石墨舟的距离。的分布部分加热腔体距离石墨舟的距离。的分布部分加热腔体距离石墨舟的距离。
技术研发人员：赵赞良 武慧亮 杨明明 赵永涛 文士喜 张晓燕 李永强 苗学武 剡凯 何启涛 马晓军 赵娜 龚金涛
受保护的技术使用者：宁夏隆基乐叶科技有限公司
技术研发日：2021.05.08
技术公布日：2022/2/11