一种具有防尘效果的气相沉积炉的制作方法

1.本实用新型涉及气相沉积炉领域，更具体的说是一种具有防尘效果的气相沉积炉。


背景技术：

2.例如公开号cn211921688u，该实用新型涉及化学气相沉积炉技术领域，具体涉及一种立式高温化学气相沉积炉，包括尾气冷却机构，尾气冷却机构包括冷却箱、箱盖、混合气体进气口、气体排出口、蛇形冷凝管。该实用新型的有益效果：通过惰性气体与尾气的混合，降低了尾气的温度，同时由冷凝管的吸热，进一步加速尾气的冷却，提高尾气冷却效率，另外设置水箱中的常温水，利用水的比热容高的特点，能够持续对冷却箱内的混合气体进行吸热，由于尾气中通常含有杂质，因此设置箱盖可拆卸连接在冷却箱上，使得在作业完毕后，快速打开箱盖，对冷却箱内部进行清理，提升工作效率。但是该实用新型不能够保证对加工产物进行生产工作的环境实现全密闭。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种具有防尘效果的气相沉积炉，可以在全密闭的工作条件下对加工产物进行生产工作。
4.本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：
5.本具有防尘效果的气相沉积炉的主要功能实现部分有传送结构、整体结构和卸料结构。其中传送结构设置在整体结构上，传送结构与整体结构固定连接，卸料结构设置在传送结构上，卸料结构与传送结构固定连接。
6.本具有防尘效果的气相沉积炉的传送结构主要包括加热炉体、送料通道、通道挡板、螺旋送料轴和轴承端盖。其中送料通道设置在加热炉体上，送料通道与加热炉体固定连接。通道挡板设置在送料通道上，通道挡板与送料通道固定连接。轴承端盖设置有两个，两个轴承端盖分别设置在螺旋送料轴的两端，两个轴承端盖均与螺旋送料轴转动连接。在加热炉体的内部设置有多个加热单元。
7.本具有防尘效果的气相沉积炉的整体结构主要包括控制柜体、加料装置、送气管道、触媒罐体和加料管道。其中加料装置设置在送料通道的一侧，加料装置与送料通道固定连接，加料装置设置在控制柜体上，加料装置与控制柜体固定连接。送气管道的两端分别设置在控制柜体和加料装置上，送气管道分别与控制柜体和加料装置固定连接。触媒罐体设置有两个，两个触媒罐体均设置在控制柜体上，两个触媒罐体均与控制柜体固定连接，加料管道固定设置在两个触媒罐体上方，加料管道固定设置在加料装置上。在控制柜体上还分别设置有调速器、电阻真空计、电源开关、程控调温器和控制中枢显示屏等控制元件。
8.本具有防尘效果的气相沉积炉的卸料结构主要包括卸料装置、收纳柜体、密封柜门和废气处理装置。其中卸料装置设置在收纳柜体上，卸料装置与收纳柜体固定连接，一个轴承端盖固定设置在卸料装置上。密封柜门设置在收纳柜体上，密封柜门与收纳柜体固定
连接。废气处理装置设置在卸料装置一侧，废气处理装置与卸料装置固定连接。收纳柜体的一侧上设置有观察窗。
9.本实用新型一种具有防尘效果的气相沉积炉的有益效果为：
10.本具有防尘效果的气相沉积炉可以在全密闭的工作条件下对加工产物进行生产工作。一般的气相沉积炉需要将加工产物由加热炉中取出，这样会导致装置的内部加工空间会与外界环境进行接触，从而使得气相沉积炉会一定程度上受到外界灰尘的影响。本装置在整体的加工环节中一直处于与外界环境隔离的密闭状态，并且能够自动控制加工过程中的各项流程，能够生产出质量稳定的纳米碳产物。综上所述，本装置工作原理简单、整体结构实用可靠、灵活性强且具有良好的气密性，可以投入到实际生产使用中。
附图说明
11.下面结合附图和具体实施方法对本实用新型做进一步详细的说明。
12.图1以立体图示意性显示了本实用新型的总装图；
13.图2以立体图示意性显示了本实用新型的传送结构；
14.图3以立体图示意性显示了本实用新型的传送结构去挡板示意；
15.图4以立体图示意性显示了本实用新型的整体结构；
16.图5以立体图示意性显示了本实用新型的卸料结构；
17.图6以立体图示意性显示了本实用新型的整体结构侧视图；
18.图7以立体图示意性显示了本实用新型的触媒传送示意图。
19.图中：传送结构11；整体结构12；卸料结构13；加热炉体21；送料通道22；通道挡板23；螺旋送料轴24；轴承端盖25；控制柜体31；加料装置32；送气管道33；触媒罐体34；加料管道35；卸料装置41；收纳柜体42；密封柜门43；废气处理装置44。
具体实施方式
20.具体实施方式将结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
21.根据本实用新型一种具有防尘效果的气相沉积炉，实施方式结合图1至图7示出，其中可看出：
22.本具有防尘效果的气相沉积炉可以在全密闭的工作条件下对加工产物进行生产工作。本装置的主要功能实现部分有传送结构11、整体结构12和卸料结构13。其中传送结构11设置在整体结构12上，传送结构11与整体结构12固定连接，卸料结构13设置在传送结构11上，卸料结构13与传送结构11固定连接。传送结构11主要负责对触媒载体的传送运输工作，使其加热并与气体混合反应生成最终产物；整体结构12是本装置的主要控制部分，能够承载支持传送结构11的正常工作运行并且对整个加工过程进行实时控制工作；卸料结构13主要分别处理加工产生的废气与产物，并且能够将内部加工环境与外界相互隔绝。
23.本具有防尘效果的气相沉积炉的传送结构11主要包括加热炉体21、送料通道22、通道挡板23、螺旋送料轴24和轴承端盖25。其中送料通道22设置在加热炉体21上，送料通道22与加热炉体21固定连接。通道挡板23设置在送料通道22上，通道挡板23与送料通道22固定连接。轴承端盖25设置有两个，两个轴承端盖25分别设置在螺旋送料轴24的两端，两个轴承端盖25均与螺旋送料轴24转动连接。加热炉体21主要对内部设置的送料通道22中的触媒
载体与相应气体进行加热作用，在加热炉体21的内部设置有多个加热单元，每个加热单元形成一个加热区域，多个加热单元共同对内部传送运行的触媒载体进行加热。送料通道22与螺旋送料轴24进行配合传送工作，螺旋送料轴24通过自身旋转使得螺旋叶片带动触媒载体沿着送料通道进行传送工作，当触媒载体运行至加热炉体21区域时便进行相关反应。本装置可以根据所需要求分别控制加热炉体21的加热温度与螺旋送料轴24的传动速度，从而实现对最终产物的控制。通道挡板23焊接在送料通道22上方，并且保证两者进行严密的封闭性处理，只有当装置出现故障或检修时予以开启。
24.本具有防尘效果的气相沉积炉的整体结构12是本装置的主要控制部分，能够承载支持传送结构11的正常工作运行并且对整个加工过程进行实时控制工作。整体结构12主要包括控制柜体31、加料装置32、送气管道33、触媒罐体34和加料管道35。其中加料装置32设置在送料通道22的一侧，加料装置32与送料通道22固定连接，加料装置32设置在控制柜体31上，加料装置32与控制柜体31固定连接。送气管道33的两端分别设置在控制柜体31和加料装置32上，送气管道33分别与控制柜体31和加料装置32固定连接。触媒罐体34设置有两个，两个触媒罐体34均设置在控制柜体31上，两个触媒罐体34均与控制柜体31固定连接，加料管道35固定设置在两个触媒罐体34上方，加料管道35固定设置在加料装置32上。控制柜体31主要对本装置的整体加工过程进行控制工作，在控制柜体31上分别设置有调速器、电阻真空计、电源开关、程控调温器和控制中枢显示屏等控制元件。送气管道33主要将合适比例的混合气体充入加料装置32中，并在控制柜体31中经由气体流量计进行流量检测控制。触媒罐体34内部分别放置有触媒前躯体与助触媒，控制柜体31底部与触媒罐体34进行接触加热，并且向触媒罐体34中提供氮气。加料管道35则将相应气体导入至加料装置32中。
25.本具有防尘效果的气相沉积炉的卸料结构13主要分别处理加工产生的废气与产物，并且能够将内部加工环境与外界相互隔绝。卸料结构13主要包括卸料装置41、收纳柜体42、密封柜门43和废气处理装置44。其中卸料装置41设置在收纳柜体42上，卸料装置41与收纳柜体42固定连接，一个轴承端盖25固定设置在卸料装置41上。密封柜门43设置在收纳柜体42上，密封柜门43与收纳柜体42固定连接。废气处理装置44设置在卸料装置41一侧，废气处理装置44与卸料装置41固定连接。收纳柜体42的一侧上设置有观察窗，操作人员可以透过观察窗实时观测到加工产物的数量状态。废气处理装置44中放有处理溶液，能够使得加工产生的废气通过溶液，以气泡的形式排出。其中收纳柜体42与卸料装置41间也可保持密闭关系，当密封柜门43开启时，收纳柜体42与卸料装置41之间进行密封，防止外界灰尘进入到内部工作环境内。
26.本具有防尘效果的气相沉积炉可以在全密闭的工作条件下对加工产物进行生产工作。一般的气相沉积炉需要将加工产物由加热炉中取出，这样会导致装置的内部加工空间会与外界环境进行接触，从而使得气相沉积炉会一定程度上受到外界灰尘的影响。本装置在整体的加工环节中一直处于与外界环境隔离的密闭状态，并且能够自动控制加工过程中的各项流程，能够生产出质量稳定的纳米碳产物。综上所述，本装置工作原理简单、整体结构实用可靠、灵活性强且具有良好的气密性，可以投入到实际生产使用中。