真空腔门的补偿机构及真空设备的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及一种真空腔门的补偿机构及真空设备。


背景技术：

2.等离子镀膜作为提升材料表面性能的有效方法，被广泛应用于航空航天、汽车制造、机械重工和五金工具制造等领域。在等离子镀膜过程中，需要将镀膜设备腔室内空气抽出维持低压力状态，同时需要通入工艺气体和化学单体气体用于反应以在被镀膜工件表面生成聚合物膜层。
3.目前真空镀膜设备的真空腔门与真空腔体之间的贴合是通过一种两轴转动的特殊铰链实现的，存在补偿量小，真空腔门易出现关闭不密封的状况，进而影响镀膜设备的真空度；同时调节复杂耗时，可靠性较差。


技术实现要素：

4.本实用新型解决的问题是提供一种真空腔门的补偿机构及真空设备，在关闭所述真空腔门、以及抽真空时能够提供高补偿量。而且操作简单，减少镀膜辅助调机时间，实现真空镀膜工艺的高可靠性。
5.为解决上述问题，本实用新型的技术方案中提供一种真空腔门的补偿机构，包括：固定于真空腔门侧壁的铰链底座；固定于真空腔体侧壁且与所述铰链底座相对应的支撑底座；活动安装于所述支撑底座内且平行于第一方向的支撑杆，所述支撑杆可沿平行于所述第一方向的直线上往复运动；安装于所述铰链底座内且平行于第二方向的支撑轴，所述支撑轴与所述支撑杆转动连接，所述第一方向与所述第二方向垂直；以及安装于所述支撑底座内的弹性体，所述弹性体与所述支撑杆抵触接触。
6.可选的，还包括：平面轴承，所述平面轴承包括相互独立转动的轴承上端面和轴承下端面，所述轴承下端面与所述支撑杆固定连接；所述支撑轴包括相互连接的第一轴部和第二轴部，所述第一轴部与所述铰链底座螺纹连接，所述第一轴部的下端抵触接触所述轴承上端面，所述第二轴部依次贯穿所述平面轴承和所述支撑杆；以及位于所述铰链底座外部，且与所述第一轴部螺纹连接的第一锁紧螺母。
7.可选的，还包括：固定于所述铰链底座内，且套装于所述第二轴部上的衬套。
8.可选的，还包括：与所述支撑底座螺纹连接的调节套；所述支撑杆包括相互连接的第一杆部和第二杆部，且所述第一杆部的直径大于所述第二杆部的直径，所述第一杆部与所述支撑底座间隙配合，所述第二杆部与所述调节套间隙配合并延伸至所述支撑底座外部；所述弹性体包括相对的第一端和第二端，所述弹性体套装于所述第二杆部上，且所述第一端与所述第一杆部的端面抵触接触，所述第二端与所述调节套的端面抵触接触；以及位于所述支撑底座外部，且与所述第二杆部螺纹连接的第二锁紧螺母。
9.可选的，还包括：套装于所述第二杆部上的隔套，所述弹性体的第一端与所述隔套
的端面抵触接触。
10.可选的，所述弹性体包括：若干叠加的碟簧。
11.可选的，所述铰链底座内具有缺口；所述第一杆部延伸至所述缺口内，所述第一杆部内具有通孔；所述支撑轴贯穿所述缺口和所述通孔，且所述支撑轴与所述通孔间隙配合。
12.可选的，所述支撑底座包括：底座部；与所述底座部连接的组件部，所述支撑杆和所述弹性体安装于所述组件部内；以及分别与所述底座部和所述组件部连接的若干加强筋。
13.可选的，所述第一方向包括：水平方向或竖直方向；所述第二方向包括：竖直方向或水平方向。
14.相应的，本实用新型的技术方案中还提供了一种真空设备，包括：真空腔体；真空腔门；以及若干组如上述任意一项所述的真空腔门的补偿机构，所述真空腔门的补偿机构分别与所述真空腔体和所述真空腔门连接。
15.与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下优点：
16.本实用新型技术方案的真空腔门的补偿机构，包括：固定于真空腔门侧壁的铰链底座；固定于真空腔体侧壁且与所述铰链底座相对应的支撑底座；活动安装于所述支撑底座内且平行于第一方向的支撑杆，所述支撑杆可沿平行于所述第一方向的直线上往复运动；安装于所述铰链底座内且平行于第二方向的支撑轴，所述支撑轴与所述支撑杆转动连接，所述第一方向与所述第二方向垂直；以及安装于所述支撑底座内，且分别与所述支撑杆抵触接触的弹性体。由于所述支撑杆可沿平行于所述第一方向的直线上往复运动，因此在关闭所述真空腔门、以及抽真空时能够提供高补偿量，以实现安装误差可补偿、以及抽真空时所述真空腔门贴合度可补偿。而且操作简单，减少镀膜辅助调机时间，实现真空镀膜工艺的高可靠性。
17.另外，通过所述弹性体能够在关闭与打开所述真空腔门、以及抽真空时提供一定的弹性缓冲，对各个部件的接触之间起到一定的缓冲保护作用。
18.进一步，还包括：平面轴承，所述平面轴承包括相互独立转动的轴承内圈和轴承外圈，所述轴承外圈与所述支撑杆固定连接；所述支撑轴包括相互连接的第一轴部和第二轴部，所述第一轴部与所述铰链底座螺纹连接，所述第二轴部依次贯穿所述轴承内圈和所述支撑杆，且所述第二轴部与所述轴承内圈固定连接；以及位于所述铰链底座外部，且与所述第一轴部螺纹连接的第一锁紧螺母。通过顺时针或者逆时针拧动支撑轴可以抬高或者降低所述真空腔门的高度，使所述真空腔门与所述真空腔体平齐，以保证真空设备上安装的若干所述真空腔门的补偿机构承重均衡。
19.进一步，所述支撑底座包括：底座部；与所述底座部连接的组件部，所述支撑杆和所述弹性体安装于所述组件部内；以及分别与所述底座部和所述组件部连接的若干加强筋。通过若干所述加强筋能够起到一定的支撑稳固的作用。
附图说明
20.图1是本发明实施例中一种真空设备以及真空腔门的补偿机构的结构示意图；
21.图2是图1中a部分结构放大示意图；
22.图3是图2中沿a-a线剖面示意图；
23.图4是本发明实施例中一种真空腔门的补偿机构中的支撑杆结构示意图。
具体实施方式
24.为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的典型实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容更加透彻全面。
25.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。
26.为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明，应当理解本发明实施例以及实施例中的具体特征是对本技术技术方案的详细的说明，而不是对本技术技术方案的限定，在不冲突的情况下，本发明实施例以及实施例中的技术特征可以相互组合。
27.图1是本发明实施例中一种真空设备以及真空腔门的补偿机构的结构示意图，图2是图1中a部分结构放大示意图，图3是图2中沿a-a线剖面示意图，图4是本发明实施例中一种真空腔门的补偿机构中的支撑杆结构示意图。
28.请参考图1和图2，一种真空腔门的补偿机构，包括：固定于真空腔门10侧壁的铰链底座11；固定于真空腔体12侧壁且与所述铰链底座11相对应的支撑底座13；活动安装于所述支撑底座13内且平行于第一方向x的支撑杆14，所述支撑杆14可沿平行于所述第一方向x的直线上往复运动；安装于所述铰链底座11内且平行于第二方向y的支撑轴15，所述支撑轴15与所述支撑杆14转动连接，所述第一方向x与所述第二方向y垂直；以及安装于所述支撑底座13内的弹性体(未图示)，所述弹性体与所述支撑杆14抵触接触。
29.在本实施例中，由于所述支撑杆14可沿平行于所述第一方向x的直线上往复运动，因此在关闭所述真空腔门10、以及抽真空时能够提供高补偿量，以实现安装误差可补偿、以及抽真空时所述真空腔门10贴合度可补偿。而且操作简单，减少镀膜辅助调机时间，实现真空镀膜工艺的高可靠性。
30.另外，通过所述弹性体能够在关闭与打开所述真空腔门10、以及抽真空时提供一定的弹性缓冲，对各个部件的接触之间起到一定的缓冲保护作用。
31.在本实施例中，所述铰链底座11通过第一螺栓17固定于所述真空腔门10的侧壁，所述支撑底座13通过第二螺栓18固定于所述真空腔体12的侧壁。
32.请参考图3，在本实施例中，还包括：平面轴承19，所述平面轴承19包括相互独立转动的轴承上端面和轴承下端面(未标示)，所述轴承下端面与所述支撑杆14固定连接；所述支撑轴15包括相互连接的第一轴部15a和第二轴部15b，所述第一轴部15a与所述铰链底座11螺纹连接，所述第一轴部15a的下端抵触接触所述轴承上端面，所述第二轴部15b依次贯穿所述平面轴承19和所述支撑杆14；以及位于所述铰链底座11外部，且与所述第一轴部15a螺纹连接的第一锁紧螺母20。
33.通过顺时针或者逆时针拧动所述支撑轴15可以抬高或者降低所述真空腔门10的高度，使所述真空腔门10与所述真空腔体12平齐，以保证真空设备上安装的若干所述真空腔门10的补偿机构承重均衡。
34.请继续参考图3，在本实施例中，还包括：固定于所述铰链底座11内，且套装于所述第二轴部15b上的衬套21。通过所述衬套21能够有效减小所述第二轴部15b与所述铰链底座11之间的摩擦。
35.请继续参考图3，在本实施例中，还包括：与所述支撑底座13螺纹连接的调节套22；所述支撑杆14包括相互连接的第一杆部14a和第二杆部14b，且所述第一杆部14a的直径大于所述第二杆部14b的直径，所述第一杆部14a与所述支撑底座13间隙配合，所述第二杆部14b与所述调节套22间隙配合并延伸至所述支撑底座13外部；所述弹性体16包括相对的第一端和第二端(未标示)，所述弹性体16套装于所述第二杆部14b上，且所述第一端与所述第一杆部14b的端面抵触接触，所述第二端与所述调节套22的端面抵触接触；以及位于所述支撑底座13外部，且与所述第二杆部14b螺纹连接的第二锁紧螺母23。
36.在本实施例中，当所述真空腔门10与所述真空腔体12抽真空关闭的过程中，首先将所述真空腔门10关闭至与所述真空腔体12贴合，此时若所述支撑杆14对所述支撑轴15若有较大的拉力或推力时，便会导致所述真空腔门10和所述真空腔体12不能紧密贴合，进而会影响后续抽真空时的密闭性。当所述支撑杆14对所述支撑轴15具有较大的拉力时，通过拧松所述第二锁紧螺母23，所述支撑杆14在所述弹性体16的抵触下，朝向靠近所述支撑轴15的方向移动，进而降低所述支撑杆14对所述支撑轴15的拉力。当所述支撑杆14对所述支撑轴15具有较大的推力时，通过拧紧所述第二锁紧螺母23，迫使所述支撑杆14朝向远离所述支撑轴15的方向移动，进而降低所述支撑杆14对所述支撑轴15的推力。
37.在抽真空的过程中，由于所述真空腔门10和所述真空腔体12之间具有o型密封圈24，抽真空过程中在负压作用下，所述o型密封圈24产生弹性压缩，所述真空腔门10与所述真空腔体12之前的间隙逐渐变小，产生位移，此时只要负压的力能够克服所述弹性体16的推力，即可迫使所述支撑杆14移动。因此在关闭所述真空腔门10、以及抽真空时能够提供高补偿量，以实现安装误差可补偿、以及抽真空时所述真空腔门10贴合度可补偿。
38.请继续参考图3，在本实施例中，还包括：套装于所述第二杆部14b上的隔套25，所述弹性体16的第一端与所述隔套25的端面抵触接触。通过所述隔套25能够为所述弹性体16的抵触接触提供较大的接触面。
39.在其他实施例中，若所述第一杆部的端面大于所述弹性体的端面，还可以不增设所述隔套。
40.在本实施例中，所述弹性体16采用若干叠加的碟簧。
41.请参考图1和图4，在本实施例中，所述铰链底座11内具有缺口26；所述第一杆部14a延伸至所述缺口26内，所述第一杆部14a内具有通孔27；所述支撑轴15贯穿所述缺口26和所述通孔27，且所述支撑轴15与所述通孔27间隙配合。
42.请继续参考图1，在本实施例中，所述支撑底座13包括：底座部13a；与所述底座部13a连接的组件部13b，所述支撑杆14和所述弹性体16安装于所述组件部13b内；以及分别与所述底座部13a和所述组件部13b连接的若干加强筋13c。通过若干所述加强筋13c能够起到一定的支撑稳固的作用。
43.在本实施例中，所述第一方向x为水平方向，所述第二方向y为竖直方向。
44.在其他实施例中，所述第一方向还可以为竖直方向，所述第二方向为水平方向。
45.相应的，本发明的实施例中还提供了一种真空设备，请继续参考图1，包括：真空腔
体12；真空腔门10；以及若干组如上述所述的真空腔门10的补偿机构，所述真空腔门的补偿机构分别与所述真空腔体12和所述真空腔门10连接。
46.虽然本实用新型披露如上，但本实用新型并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。