一种可调节的旋转阴极磁棒的制作方法

1.本实用新型涉及磁控溅射镀膜领域，具体涉及一种可调节的旋转阴极磁棒。


背景技术：

2.申请号：cn201822218023.6，公开（公告）号：cn209816264u，旋转阴极磁棒，该实用新型实施例公开了一种旋转阴极磁棒，包括轭铁，以及等距且相互平行设置在所述轭铁上的磁阵，所述磁阵包括磁极不同的第一磁体和第二磁体，其中，所述轭铁的两端部位置形成有包覆所述第一磁体和第二磁体的端部的磁靴，且所述第一磁体和所述第二磁体位于所述磁靴内的所述端部的磁场强度大于位于所述磁靴外的部分的磁场强度。该实用新型提供的旋转阴极磁棒使用磁靴改善磁棒端头位置的磁场分布，减弱传统磁棒结构造成刻蚀区域内的水平磁场强度，极大的减弱靶材端头位置的过度刻蚀现象，提高靶材利用率。
3.现有技术中利用在磁体的端头包覆磁靴的设计改善磁棒端头位置的磁场分布，极大的减弱靶材端头位置的过度刻蚀现象，延长靶材寿命，提高靶材利用率。现有技术主要解决了pvd镀膜时，旋转靶材局部过度刻蚀，导致镀膜均匀性差，靶材寿命短，利用率低的问题。但对于pvd镀膜会导致离子损伤的关键问题仍未有效解决。因此研发一种可调节的旋转阴极磁棒是很有必要的。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是提供一种可调节的旋转阴极磁棒来解决现有技术中旋转靶材局部过度刻蚀，导致镀膜均匀性差，靶材寿命短，利用率低的技术问题。
5.为了实现上述目的，本实用新型实施例提供了一种可调节的旋转阴极磁棒，包括：芯管、条形磁体、第一调节部和第二调节部，所述芯管呈空心圆柱状，所述芯管外壁沿芯管轴方向开设有一定位槽，所述定位槽贯穿所述芯管两端；所述条形磁体可滑动的设置在所述定位槽内，所述条形磁体适于固定磁棒；所述第一调节部可伸缩的设置在所述芯管内部，所述第一调节部垂直固定在所述条形磁体内底壁；所述第二调节部可转动的设置在所述芯管端部；其中调节所述第一调节部能够调节磁棒和靶材的间距；转动所述第二调节部能够调节磁棒的旋转角度。
6.作为优选，所述第一调节部包括：套筒、调节弹簧、调节螺杆和调节组件，所述套筒内部中空，所述套筒沿所述芯管径向方向延伸；所述套筒上端垂直固定在所述条形磁体下底壁，所述调节组件设置在所述套筒下端，且所述调节组件与所述调节螺杆联动；所述调节螺杆可滑动的设置在所述套筒内，且所述调节螺杆一端垂直固定在所述条形磁体下端；所述调节弹簧套设在所述调节螺杆外壁，且所述调节弹簧一端固定在所述定位槽下端壁；其中转动所述调节组件能够驱动所述调节螺杆沿所述套筒上下滑动以调节磁棒与靶材的间距。
7.作为优选，所述调节组件包括：定位腔和固定螺母，所述定位腔设置在所述芯管外壁，且所述定位腔与所述定位槽相对设置，所述定位腔为凹型空腔结构；所述固定螺母可转
动的设置在所述定位腔内；所述套筒下端固定在所述定位腔的上端壁，且所述套筒与所述定位腔连通，所述调节螺杆外壁开设有与所述固定螺母相适配的外螺纹；其中转动所述固定螺母能够调节所述条形磁体竖直方向上下移动。
8.作为优选，所述第二调节部包括：内板和外板，所述内板设置在所述芯管的一端，所述外板可转动的设置在所述内板侧壁，所述内板和所述外板联动；其中固定外板后，转动所述内板能够调节所述芯管的旋转角度。
9.作为优选，沿所述内板的圆周方向开设有若干第一销孔和若干第二销孔，所述第一销孔设置在第二销孔的外侧；所述第二销孔与所述外板相适配；所述内板上还设置有一固定螺钉，所固定螺钉穿过所述第一销孔将内板固定在所述芯管端壁。
10.作为优选，所述外板沿周向开设有若干与所述第二销孔相适配的第三销孔，所述外板侧壁还设置有一定位销，所述定位销外径小于所述第三销孔内径；其中转动所述内板至一个第二定位销孔与第三销孔重合时，插入所述定位销能够固定所述芯管。
11.作为优选，所述外板的端部设置有一支撑座，所述支撑座开设有一适于固定的凹陷槽，所述凹陷槽适于固定外板。
12.相对于现有技术，本实用新型实施例具有以下有益效果：一种可调节的旋转阴极磁棒，包括：芯管、条形磁体、第一调节部和第二调节部，芯管呈空心圆柱状，芯管外壁沿芯管轴方向开设有一定位槽，定位槽贯穿芯管两端；条形磁体可滑动的设置在定位槽内，条形磁体适于固定磁棒；第一调节部可伸缩的设置在芯管内部，第一调节部垂直固定在条形磁体内底壁；第二调节部可转动的设置在芯管端部；其中调节第一调节部能够调节磁棒和靶材的间距；转动第二调节部能够调节磁棒的旋转角度。通过设置的第一调节部来调节磁棒和靶材的间距，而通过设置的第二调节部来实现磁棒的旋转角度；在使用时，可根据不同的镀膜工艺，调整第一调节部和第二调节部来调整确定合理的磁场分布，解决靶材局部过度刻蚀问题的同时避免离子损伤，提升电池片性能。
附图说明
13.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
14.图1示出了本实用新型的一种可调节的旋转阴极磁棒的立体图；
15.图2示出了本实用新型的第一调节部的纵截面剖视图。
16.图中：
17.1、芯管；10、定位槽；2、条形磁体；
18.3、第一调节部；31、套筒；32、调节弹簧；33、调节螺杆；34、调节组件；341、定位腔；342、固定螺母；
19.4、第二调节部； 41、内板；411、第一销孔；42、外板；421、第三销孔；422、支撑座。
具体实施方式
20.现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
21.如图1和图2所示，本实用提供了一种可调节的旋转阴极磁棒，包括：芯管1、条形磁体2、第一调节部3和第二调节部4，所述芯管1、第一调节部3和第二调节部4均为不锈钢材质
制成；所述芯管1呈空心圆柱状，所述芯管1外壁沿芯管1轴方向开设有一定位槽10，所述定位槽10贯穿所述芯管1两端；所述条形磁体2可滑动的设置在所述定位槽10内，所述条形磁体2沿所述芯管1径向方向滑动，所述条形磁体2适于固定磁棒；所述第一调节部3可伸缩的设置在所述芯管1内部，所述第一调节部3垂直固定在所述条形磁体2内底壁，所述条形磁体2底壁至少设置有一个第一调节部3；所述第二调节部4可转动的设置在所述芯管1端部；其中调节所述第一调节部3能够调节磁棒和靶材的间距；转动所述第二调节部4能够调节磁棒的旋转角度。本实用新型结构简单，操作方便，通过设置的第一调节部3和第二调节部4实现了磁棒与靶材的间距调节，以及磁棒旋转角度的调节，在使用时，可根据不同的镀膜工艺调整第一调节部3和第二调节部4来确定合理的磁场分布，同时解决离子损伤以及靶材局部过渡刻蚀的问题。
22.可选的，所述第一调节部3包括：套筒31、调节弹簧32、调节螺杆33和调节组件34，所述套筒31内部中空，所述套筒31沿所述芯管1径向方向延伸；所述套筒31上端垂直固定在所述条形磁体2下底壁，所述套筒31下端固定在所述调节组件34侧壁；所述调节组件34设置在所述套筒31下端，且所述调节组件34与所述调节螺杆33联动，转动所述调节组件34能够驱动所述调节螺杆33竖直向上或向下滑动，以调节磁棒和靶材的间距；所述调节螺杆33可滑动的设置在所述套筒31内，且所述调节螺杆33一端垂直固定在所述条形磁体2下端，所述调节螺杆33自所述条形磁体2下端向下延伸至穿过所述调节组件34后，凸出所述芯管1外壁；所述调节弹簧32套设在所述调节螺杆33外壁，且所述调节弹簧32一端固定在所述定位槽10下底面；所述套筒31内部上端设有一凹型空腔，所述调节弹簧32设置在所述凹型空腔内，且所述调节弹簧32的另一端固定在凹型空腔底壁；其中转动所述调节组件34能够驱动所述调节螺杆33沿所述套筒31上下滑动以调节磁棒与靶材的间距。通过所调节组件34能够驱动所述调节螺杆33上下移动，此时所述调节弹簧32始处于受压缩状态，以保持调节螺杆33下部的调节组件34实时紧固以及调节螺杆33上部的条形磁体2位置的确定。
23.优选的，所述调节组件34包括：定位腔341和固定螺母342，所述定位腔341设置在所述芯管1外壁，且所述定位腔341与所述定位槽10相对设置，所述定位腔341为凹型空腔结构，所述定位腔341上开设有一适于所述调节螺杆33的通孔，所述调节螺杆33穿过所述通孔后凸出所述定位腔341；所述固定螺母342可转动的设置在所述定位腔341内；所述套筒31下端固定在所述定位腔341的上端壁，且所述套筒31与所述定位腔341连通，所述调节螺杆33外壁开设有与所述固定螺母342相适配的外螺纹；所述调节螺杆33穿过所述定位腔341后与所述固定螺母342螺纹连接，其中转动所述固定螺母342能够调节所述条形磁体2竖直方向上下移动，而所述调节螺杆33上下移动能够同步带动所述条形磁体2上下移动，从而调整了磁棒和靶材之间的间距。
24.可选的，所述第二调节部4包括：内板41和外板42，所述内板41和所述外板42均呈圆形，且所述外板42和所述内板41为同心圆，所述内板41设置在所述芯管1的一端，所述外板42的外径小于所述内板41的外径，所述外板42可转动的设置在所述内板41侧壁，所述内板41和所述外板42联动；其中固定外板42后，转动所述内板41能够调节所述芯管1的旋转角度。沿所述内板41的圆周方向开设有若干第一销孔411和若干第二销孔，所述第一销孔411设置在第二销孔的外侧，且若干第二销孔形成的圆的直径小于若干第一销孔411形成的圆的直径；若干所述第一销孔411和若干所述第二销孔均圆环状开设在所述内板41外壁，所述
第二销孔与所述外板42相适配；所述内板41上还设置有一固定螺钉，所固定螺钉穿过所述第一销孔411将内板41固定在所述芯管1端壁。
25.可选的，所述外板42沿周向开设有若干与所述第二销孔相适配的第三销孔421，所述第三销孔421内径与所述第二销孔内径一致，且若干第三销孔421形成的圆与若干第二销孔形成的圆直径一致；所述外板42侧壁还设置有一定位销，所述定位销外径小于所述第三销孔421内径；其中转动所述内板41至一个第二定位销孔与第三销孔421重合时，插入所述定位销能够固定所述芯管1。使用时，将芯管1旋转一定角度，使得内板41和外板42相对应的定位销同轴，此时将定位销插入第三销孔421和第二销孔内后，定位销能够连接固定内板41和外板42；所述外板42的端部设置有一支撑座422，所述支撑座422开设有一适于固定的凹陷槽，所述凹陷槽适于固定外板42。
26.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。