一种晶圆蒸发台行星架的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工领域，具体为一种晶圆蒸发台行星架。


背景技术：

2.在晶圆加工过程中，需要对晶圆进行蒸发镀膜。现有的一种蒸发台行星架，其结构包括上凸的圆形伞状结构，架体上周向均匀设有若干容置槽，容置槽相应设有盖板。上述结构的蒸发台行星架，可以对晶圆起到蒸发镀膜作用，但是晶圆由于工艺要求边沿常留有平边，而容置槽是圆形的，这就使得晶圆平边与容置槽之间形成空隙，蒸发时容易导致金属蒸发到晶圆背面和盖板上，影响良品率。


技术实现要素：

3.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆蒸发台行星架，该行星架可以通过盖板对空隙进行填充，且盖板可以上下滑动取下和安装，有效解决背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆蒸发台行星架，包括上凸的圆形伞状结构的架体，架体上周向均匀设有若干容置槽，其特征在于：所述的容置槽靠近圆心的一侧分别固定设有对空隙填充且可上下滑动的封盖组件。
5.优选的，所述的封盖组件包括立杆，立杆底部与架体固定连接，立杆上可上下滑动套置有套环，套环外侧与盖板内侧固定连接，盖板底面外侧边缘固定设有与空隙配合的填充块。
6.优选的，所述的立杆整体呈圆柱形，内外两侧分别固定设有条形凸台，套环内表面分别嵌有与条形凸台滑动配合的滑道槽，条形凸台上端部与立杆顶部留有一端空间，空间的高度大于套环的高度，立杆顶部固定设有限位凸台，限位凸台与条形凸台之间的立杆上套置有弹簧。
7.优选的，所述的套环靠近架体圆心的一侧外表面固定设有把手，把手呈向外开口的u形结构。
8.优选的，所述的限位凸台呈扁平的圆柱形，内侧面嵌有螺纹盲孔，立杆顶部设有与螺纹盲孔配合的外螺纹。
9.优选的，所述的弹簧伸展状态下两端分别抵触限位凸台与条形凸台。
10.与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆蒸发台行星架，具备以下有益效果：
11.1.本实用新型通过容置槽靠近圆心的一侧分别固定设有对空隙填充且可上下滑动的封盖组件，封盖组件可以对晶圆平边与容置槽之间产生的空隙起到填充作用，可以有效避免金属蒸发到晶圆背面和盖板上，利于提高良品率，且盖板连同连同填充块可以上下滑动安装和取下，便于晶圆的取放。
12.2.本实用新型通过条形凸台上端部与立杆顶部留有一端空间，空间的高度大于套环的高度，立杆顶部固定设有限位凸台，限位凸台与条形凸台之间的立杆上套置有弹簧，使
用时，套环连同盖板可以向上滑动，条形凸台与滑道槽可以对盖板进行限位，向下滑动时利于对准容置槽，当向上滑动且滑动至条形凸台上侧时，可以转向一侧，在弹簧的作用下可以对套环压紧，避免转动，此时方便工作人员对晶圆进行操作。
13.3.本实用新型通过套环靠近架体圆心的一侧外表面固定设有把手，把手方便工作人员上下滑动套环，进而便于盖板的安装与打开。
附图说明
14.图1为本实用新型的主视结构示意图(封盖组件仅示出左右两组)；
15.图2为图1中架体的俯视结构示意图(封盖组件未示出)；
16.图3为图2中右侧封盖组件的放大结构示意图；
17.图4为图3中套环与立杆配合的俯视结构示意图；
18.图5为图3中填充块与盖板配合的仰视结构示意图。
19.图中标示：1.架体；11.容置槽；2.封盖组件；21.立杆；211.条形凸台；22.套环；221.把手；222.滑道槽；23.盖板；231.填充块；24.限位凸台；25.弹簧。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.如图1至图5所示，一种晶圆蒸发台行星架，包括上凸的圆形伞状结构的架体1，架体1上周向均匀设有若干容置槽11，所述的容置槽11靠近圆心的一侧分别固定设有对空隙填充且可上下滑动的封盖组件2。所述的封盖组件2包括立杆21，立杆21底部与架体1固定连接，立杆21上可上下滑动套置有套环22，套环22外侧与盖板23内侧固定连接，盖板23底面外侧边缘固定设有与空隙配合的填充块231。所述的立杆21整体呈圆柱形，内外两侧分别固定设有条形凸台211，套环22内表面分别嵌有与条形凸台211滑动配合的滑道槽222，条形凸台211上端部与立杆21顶部留有一端空间，空间的高度大于套环22的高度(利于套环滑动进入此空间)，立杆21顶部固定设有限位凸台24，限位凸台24与条形凸台211之间的立杆21上套置有弹簧25。
22.上述实施例中，具体的，所述的套环22靠近架体1圆心的一侧外表面固定设有把手221，把手221呈向外开口的u形结构。所述的限位凸台24呈扁平的圆柱形，内侧面嵌有螺纹盲孔(未示出)，立杆21顶部设有与螺纹盲孔配合的外螺纹(未示出)。所述的弹簧25伸展状态下两端分别抵触限位凸台24与条形凸台211，利于后面对套环22起到压紧作用。
23.工作原理：通过容置槽11靠近圆心的一侧分别固定设有对空隙填充且可上下滑动的封盖组件2，封盖组件2可以对晶圆平边与容置槽11之间产生的空隙起到填充作用，可以有效避免金属蒸发到晶圆背面和盖板23上，且盖板23连同填充块231可以上下滑动安装和取下，便于晶圆的取放。通过条形凸台211上端部与立杆21顶部留有一端空间，空间的高度大于套环22的高度，立杆21顶部固定设有限位凸台24，限位凸台24与条形凸台211之间的立杆21上套置有弹簧25，使用时，套环22连同盖板23可以向上滑动，条形凸台211与滑道槽222
可以对盖板23进行限位，向下滑动时利于对准容置槽11，当向上滑动且滑动至条形凸台21上侧时，可以转向一侧，在弹簧25的作用下可以对套环22压紧，避免转动，此时方便工作人员对晶圆进行操作。通过套环22靠近架体1圆心的一侧外表面固定设有把手221，把手221方便工作人员上下滑动套环22，进而便于盖板23的安装与打开。
24.本实用新型中使用的部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理均为本领域技术人员所熟知。
25.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
26.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种晶圆蒸发台行星架，包括上凸的圆形伞状结构的架体，架体上周向均匀设有若干容置槽，其特征在于：所述的容置槽靠近圆心的一侧分别固定设有对空隙填充且可上下滑动的封盖组件。2.根据权利要求1所述的一种晶圆蒸发台行星架，其特征在于：所述的封盖组件包括立杆，立杆底部与架体固定连接，立杆上可上下滑动套置有套环，套环外侧与盖板内侧固定连接，盖板底面外侧边缘固定设有与空隙配合的填充块。3.根据权利要求2所述的一种晶圆蒸发台行星架，其特征在于：所述的立杆整体呈圆柱形，内外两侧分别固定设有条形凸台，套环内表面分别嵌有与条形凸台滑动配合的滑道槽，条形凸台上端部与立杆顶部留有一端空间，空间的高度大于套环的高度，立杆顶部固定设有限位凸台，限位凸台与条形凸台之间的立杆上套置有弹簧。4.根据权利要求2所述的一种晶圆蒸发台行星架，其特征在于：所述的套环靠近架体圆心的一侧外表面固定设有把手，把手呈向外开口的u形结构。5.根据权利要求3所述的一种晶圆蒸发台行星架，其特征在于：所述的限位凸台呈扁平的圆柱形，内侧面嵌有螺纹盲孔，立杆顶部设有与螺纹盲孔配合的外螺纹。6.根据权利要求3所述的一种晶圆蒸发台行星架，其特征在于：所述的弹簧伸展状态下两端分别抵触限位凸台与条形凸台。

技术总结
本实用新型涉及半导体加工领域，且公开了一种晶圆蒸发台行星架，该行星架可以通过盖板对空隙进行填充，且盖板可以上下滑动取下和安装，有效解决背景技术中提出的问题。包括上凸的圆形伞状结构的架体，架体上周向均匀设有若干容置槽，所述的容置槽靠近圆心的一侧分别固定设有对空隙填充且可上下滑动的封盖组件。所述的封盖组件包括立杆，立杆底部与架体固定连接，立杆上可上下滑动套置有套环，套环外侧与盖板内侧固定连接，盖板底面外侧边缘固定设有与空隙配合的填充块。它操作简单，使用方便，适用于多种规格的晶圆。用于多种规格的晶圆。用于多种规格的晶圆。


技术研发人员：丁桃宝 张志华
受保护的技术使用者：如东汇盛通半导体科技有限公司
技术研发日：2021.12.27
技术公布日：2022/6/1