一种小型真空超低温样品台的制作方法

1.本实用新型涉及一种样品台，尤其涉及一种小型真空超低温样品台。


背景技术：

2.目前，在真空镀膜研究领域，超低温镀膜越来越得到广泛应用，研究者希望在不破坏真空的情况下使镀膜均匀，但目前这种传统设备中安装的样品台很难达到真空超低温的镀膜效果，镀膜不够均匀，效率偏低，甚至影响镀膜结果。本实用新型凭借结构改造与选型，能够完成在真空超低温环境下镀膜，高效且实用，在很大程度上解决了这一棘手的问题，为此我们带来了一种小型真空超低温样品台。


技术实现要素：

3.为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的之一在于提供一种小型真空超低温样品台。
4.本实用新型的目的之一采用如下技术方案实现：
5.一种小型真空超低温样品台，包括上盖，所述上盖的下方设有防污板，所述上盖与防污板之间设有若干个防污板支柱，所述防污板的底部设有水冷盒，所述上盖的顶部设有磁流体，所述磁流体的上方设有电机板，所述电机板的顶部靠近右侧处设有被动带轮，所述电机板的顶部设有主动带轮，所述电机板的底部靠近左侧处设有电机，所述被动带轮的顶部设有压垫，所述压垫的顶部设有压紧螺母，所述压紧螺母的顶部设有支架，所述支架的顶部设有水冷回路，所述水冷回路的顶部设有旋转套。
6.进一步的，所述磁流体的底部设有钉绝缘套，所述钉绝缘套的底部设有绝缘垫，所述绝缘垫的底部设有绝缘密封圈。
7.进一步的，若干个所述防污板支柱从左至右依次呈线性排列设置，所述水冷盒位于防污板的底部中心位置处。
8.进一步的，所述电机的动力输出端与主动带轮连接，所述主动带轮靠近电机板的底部左侧。
9.进一步的，所述主动带轮与被动带轮之间设有皮带，所述主动带轮与被动带轮通过皮带传动连接。
10.进一步的，所述水冷盒的顶端贯穿防污板、上盖、磁流体和被动带轮，并与支架连接。
11.进一步的，所述水冷盒的顶端通过压紧螺母安装在支架上，所述压紧螺母的底部与压垫相互贴合。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.1、本实用新型一种小型真空超低温样品台，研究者提供便利的研究条件，在保证了设备的良好密封性能的前提下，更能保证镀膜的均匀性；
14.2、本实用新型一种小型真空超低温样品台，可在样品台加负偏压，对已沉积的薄
膜或粒子具有溅射轰击的作用，提高膜的表面质量同时设有水冷装置，提高镀膜的结合力，改善了膜的致密性。
附图说明
15.图1为本实用新型结构示意图。
16.图中标号：1、水冷盒；2、磁流体；3、电机板；4、主动带轮；5、被动带轮；6、压垫；7、压紧螺母；8、支架；9、水冷回路；10、旋转套；11、钉绝缘套；12、绝缘垫；13、绝缘密封圈；14、上盖；15、防污板支柱；16、防污板；17、皮带；18、电机。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种小型真空超低温样品台，包括上盖14，上盖14的下方设有防污板16，上盖14与防污板16之间设有若干个防污板支柱15，若干个防污板支柱15从左至右依次呈线性排列设置，水冷盒1位于防污板16的底部中心位置处，防污板16的底部设有水冷盒1，上盖14的顶部设有磁流体2，磁流体2的底部设有钉绝缘套11，钉绝缘套11的底部设有绝缘垫12，绝缘垫12的底部设有绝缘密封圈13，磁流体2的上方设有电机板3，电机板3的顶部靠近右侧处设有被动带轮5，电机板3的顶部设有主动带轮4，主动带轮4与被动带轮5之间设有皮带17，主动带轮4与被动带轮5通过皮带17传动连接，电机板3的底部靠近左侧处设有电机18，电机18的动力输出端与主动带轮4连接，主动带轮4靠近电机板3的底部左侧，被动带轮5的顶部设有压垫6，压垫6的顶部设有压紧螺母7，压紧螺母7的顶部设有支架8，支架8的顶部设有水冷回路9，水冷回路9的顶部设有旋转套10，水冷盒1的顶端贯穿防污板16、上盖14、磁流体2和被动带轮5，并与支架8连接，水冷盒1的顶端通过压紧螺母7安装在支架8上，压紧螺母7的底部与压垫6相互贴合。
19.工作原理：在使用过程中，将样片装在样品台上，电机18固定在电机板3上，电机18带动主动带轮4旋转，通过皮带17传动带动被动带轮5旋转，从而使样品台转动,根据需要设定旋转速度，上端设有水冷回路9和旋转套10，水冷回路9与支架8连接，管内通入冷却液，磁流体2下端与上盖14连接，包括钉绝缘套11、绝缘垫12、绝缘密封圈13。水冷盒1上端用压紧螺母7和压垫6连接。防污板16通过防污板支柱15与上盖14连接，另外，使用者可根据需要在样品台加负偏压，更能提高膜的表面质量。
20.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种小型真空超低温样品台，包括上盖(14)，其特征在于：所述上盖(14)的下方设有防污板(16)，所述上盖(14)与防污板(16)之间设有若干个防污板支柱(15)，所述防污板(16)的底部设有水冷盒(1)，所述上盖(14)的顶部设有磁流体(2)，所述磁流体(2)的上方设有电机板(3)，所述电机板(3)的顶部靠近右侧处设有被动带轮(5)，所述电机板(3)的顶部设有主动带轮(4)，所述电机板(3)的底部靠近左侧处设有电机(18)，所述被动带轮(5)的顶部设有压垫(6)，所述压垫(6)的顶部设有压紧螺母(7)，所述压紧螺母(7)的顶部设有支架(8)，所述支架(8)的顶部设有水冷回路(9)，所述水冷回路(9)的顶部设有旋转套(10)。2.如权利要求1所述的一种小型真空超低温样品台，其特征在于：所述磁流体(2)的底部设有钉绝缘套(11)，所述钉绝缘套(11)的底部设有绝缘垫(12)，所述绝缘垫(12)的底部设有绝缘密封圈(13)。3.如权利要求1所述的一种小型真空超低温样品台，其特征在于：若干个所述防污板支柱(15)从左至右依次呈线性排列设置，所述水冷盒(1)位于防污板(16)的底部中心位置处。4.如权利要求1所述的一种小型真空超低温样品台，其特征在于：所述电机(18)的动力输出端与主动带轮(4)连接，所述主动带轮(4)靠近电机板(3)的底部左侧。5.如权利要求1所述的一种小型真空超低温样品台，其特征在于：所述主动带轮(4)与被动带轮(5)之间设有皮带(17)，所述主动带轮(4)与被动带轮(5)通过皮带(17)传动连接。6.如权利要求1所述的一种小型真空超低温样品台，其特征在于：所述水冷盒(1)的顶端贯穿防污板(16)、上盖(14)、磁流体(2)和被动带轮(5)，并与支架(8)连接。7.如权利要求1所述的一种小型真空超低温样品台，其特征在于：所述水冷盒(1)的顶端通过压紧螺母(7)安装在支架(8)上，所述压紧螺母(7)的底部与压垫(6)相互贴合。

技术总结
本实用新型公开了一种小型真空超低温样品台，包括上盖，所述上盖的下方设有防污板，所述上盖与防污板之间设有若干个防污板支柱，所述防污板的底部设有水冷盒，所述上盖的顶部设有磁流体，所述磁流体的上方设有电机板，所述电机板的顶部靠近右侧处设有被动带轮，所述电机板的顶部设有主动带轮，所述电机板的底部靠近左侧处设有电机，本实用新型一种小型真空超低温样品台，研究者提供便利的研究条件，在保证了设备的良好密封性能的前提下，更能保证镀膜的均匀性，可在样品台加负偏压，对已沉积的薄膜或粒子具有溅射轰击的作用，提高膜的表面质量同时设有水冷装置，提高镀膜的结合力，改善了膜的致密性。善了膜的致密性。善了膜的致密性。


技术研发人员：董顺
受保护的技术使用者：沈阳鹏程真空技术有限责任公司
技术研发日：2022.08.12
技术公布日：2023/1/16