一种电子束蒸发台坩埚的制作方法

本技术涉及半导体制造，尤其是涉及一种电子束蒸发台坩埚。

背景技术：

1、电子束蒸发镀膜是一种成熟且主要的镀膜方式，在真空条件下利用高速电子流直接加热蒸发材料，是蒸发材料气化并向基板输运，在基底上凝结成薄膜。

2、电子束蒸发台坩埚挡板(shutter)是一种正式蒸发镀膜前，高能电子束轰击靶材时，对旋转坩埚以及工作腔室进行保护的器具。其原理是电子束蒸发台通过腔室下方的驱动器快速旋转挡板以打开或遮挡蒸发源，来开启和停止蒸发过程。

3、电子束蒸发台坩埚挡板的主要结构为：挡板，连接驱动器的金属杆，连接挡板和金属杆的束缚装置(shack l e)，以及垫片和螺母。由于蒸发过程中，蒸发源在高能电子束的轰击下，会产生很高的温度以保证水冷坩埚上金属源的蒸发。因此，坩埚挡板的材料通常为特种钢材，当驱动器控制挡板覆盖蒸发源时，可以有效地控制蒸发过程而不会损坏。然而，在生产工作中，由于坩埚挡板对蒸发过程的控制，会导致镀膜挡板上不停地沉积金属层，日积月累下，膜层会变厚且难以清理。金属层的沉积并非均匀，越是靠近蒸发源，膜层越厚。当膜层厚到一定程度时，会形成类似钟乳石的倒锥形结构，并会最终碰触到蒸发源。此时需要定时将坩埚挡板取下，对上面的金属厚层进行处理。但其处理过程复杂，替换成本过高。常常因为来不及处理，而影响生产。

4、因此，本领域技术人员致力于开发一种电子束蒸发台坩埚，利于快速清理沉积金属层，减少水气的影响，提高良品率。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是提供一种电子束蒸发台坩埚，利于快速清理沉积金属层，减少水气的影响，提高良品率。

2、本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种电子束蒸发台坩埚，包括坩埚本体、挡板组件、连接组件和盖板组件；

3、所述坩埚本体具有一蒸发腔，所述挡板组件间隙设置于所述蒸发腔内，所述坩埚本体上设置有所述盖板组件，且所述盖板组件位于所述蒸发腔上端部，所述盖板组件和所述挡板组件之间通过所述连接组件可拆卸连接。

4、本实用新型的有益效果是：挡板组件可以有效地减少蒸发沉积过程中金属蒸汽与盖板组件的接触，降低蒸发金属对盖板组件的沉积与腐蚀，同时保持了盖板组件对金属蒸发过程的控制，避免了更换盖板组件带来的成本和清洗盖板组件的麻烦；而且金属沉积带来的腐蚀和水汽很难彻底清除，使用可替换的挡板组件，一方面可以避免在金属蒸发过程中对盖板组件的腐蚀：另一方面更换挡板组件的时也带走了沉积金属和挡板组件被腐蚀部分的水汽。

5、在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

6、进一步，所述挡板组件包括挡板，所述挡板间隙设于所述蒸发腔内，所述挡板上侧连接有所述连接组件。

7、采用上述进一步方案的有益效果是挡板设置于蒸发腔内，减少金属蒸汽与盖板组件直接接触。

8、进一步，所述盖板组件包括盖板，所述盖板上设置有连接孔。

9、采用上述进一步方案的有益效果是盖板便于控制金属蒸发的过程，连接孔利于固定挡板组件。

10、进一步，所述连接组件包括连接螺栓，所述连接螺栓一端与所述挡板固定连接，所述连接螺栓穿过所述连接孔并通过螺帽锁紧将所述挡板和所述盖板连接。

11、采用上述进一步方案的有益效果是通过连接螺栓和螺帽的配合便于快速拆卸更换挡板。

12、进一步，所述连接组件包括连接铆钉，所述连接铆钉与所述挡板上侧固定连接，所述连接铆钉穿过所述连接孔将所述挡板和所述盖板连接。

13、采用上述进一步方案的有益效果是连接铆钉利于快速将挡板和盖板连接并拆卸。

14、进一步，所述连接组件包括连接部，所述连接部与所述挡板上侧固定连接，所述盖板上设置有与所述连接部配合连接的卡合部。

15、采用上述进一步方案的有益效果是连接部和卡合部配合快速将挡板和盖板连接。

16、进一步，所述挡板呈圆形、弧形,锥形、正方形、长方形、梯形或三角形中的一种或多种。

17、采用上述进一步方案的有益效果是根据蒸发腔需要蒸发的金属选择不同的挡板，提高金属蒸发效率。

技术特征：

1.一种电子束蒸发台坩埚，其特征在于：包括坩埚本体(1)、挡板组件(2)、连接组件(3)和盖板组件(4)；

2.根据权利要求1所述的电子束蒸发台坩埚，其特征在于：所述挡板组件(2)包括挡板(6)，所述挡板(6)间隙设于所述蒸发腔(5)内，所述挡板(6)上侧连接有所述连接组件(3)。

3.根据权利要求2所述的电子束蒸发台坩埚，其特征在于：所述盖板组件(4)包括盖板(7)，所述盖板(7)上设置有连接孔(8)。

4.根据权利要求3所述的电子束蒸发台坩埚，其特征在于：所述连接组件(3)包括连接螺栓(9)，所述连接螺栓(9)一端与所述挡板(6)固定连接，所述连接螺栓(9)穿过所述连接孔(8)并通过螺帽(10)锁紧将所述挡板(6)和所述盖板(7)连接。

5.根据权利要求3所述的电子束蒸发台坩埚，其特征在于：所述连接组件(3)包括连接铆钉，所述连接铆钉与所述挡板(6)上侧固定连接，所述连接铆钉穿过所述连接孔(8)将所述挡板(6)和所述盖板(7)连接。

6.根据权利要求3所述的电子束蒸发台坩埚，其特征在于：所述连接组件(3)包括连接部，所述连接部与所述挡板(6)上侧固定连接，所述盖板(7)上设置有与所述连接部配合连接的卡合部。

7.根据权利要求3所述的电子束蒸发台坩埚，其特征在于：所述挡板(6)呈圆形、弧形,锥形、正方形、长方形、梯形或三角形中的一种或多种。

技术总结
本技术涉及一种电子束蒸发台坩埚，包括坩埚本体、挡板组件、连接组件和盖板组件；所述坩埚本体具有一蒸发腔，所述挡板组件间隙设置于所述蒸发腔内，所述坩埚本体上设置有所述盖板组件，且所述盖板组件位于所述蒸发腔上端部，所述盖板组件和所述挡板组件之间通过所述连接组件可拆卸连接。本技术利于快速清理沉积金属层，减少水气的影响，提高良品率。

技术研发人员：王锴,冯志博,孟腾飞,周培根,陈瑞,袁燕,李希雯,段英丽,李湃,时鹏程,常子硕,遆鹏,李宏雷
受保护的技术使用者：北京航天微电科技有限公司
技术研发日：20221121
技术公布日：2024/1/12