阶梯结构制备装置的制作方法

本申请涉及微纳制备的领域，尤其涉及阶梯结构制备装置。

背景技术：

1、阶梯结构是指在一维平面或二维平面内，具有多个高度不一的光滑平面的结构，广泛应用于光学和微机电系统等多个领域。然而，阶梯结构的制备工艺复杂，制备难度大。

技术实现思路

1、本申请实施例提供阶梯结构制备装置，用以解决阶梯结构的制备工艺复杂，制备难度大的问题。

2、本申请实施例提供的阶梯结构制备装置，包括主体、掩膜板和安装机构；

3、所述安装机构设置于所述主体，所述安装机构包括基座，以及用于安装基板的固定件；所述掩膜板设置于所述基座，所述掩膜板形成有至少一个开口，在第一方向上，所述开口至少部分朝向所述基板；所述固定件可活动设置于所述基座，以通过所述固定件调节所述基板的位置；

4、所述主体包括发射源，在所述第一方向上，所述发射源设置于所述掩膜板远离所述基板的一侧，所述发射源可通过所述开口向所述基板发射粒子。

5、通过采用上述技术方案，当利用本申请实施例提供的阶梯结构制备装置进行制备阶梯结构时，将基板安装在固定件上，使得掩膜板的开口至少部分朝向于基板，随后开启发射源，使得发射源能够通过开口向基板发射粒子，从而在基板的表面形成一层膜层单体；然后移动固定件，使得固定件带动基板移动，从而对基板的位置进行调整，在基板的表面再形成一层膜层单体，使得膜层单体至少部分覆盖在前一次所形成的膜层单体的表面，以能够在基板表面形成阶梯结构，相对于相关技术中的阶梯结构的制备过程，通过本申请实施例所实施的阶梯结构制备装置进行阶梯结构的制备过程无需通过对基板进行刻蚀，简化了阶梯结构的制备过程，降低了阶梯结构的制备难度。

6、在一些可能的实施例中，所述安装机构包括调节组件，所述调节组件连接所述固定件，以带动所述固定件在第一平面内移动，所述第一平面垂直于所述第一方向。

7、在一些可能的实施例中，所述调节组件包括至少一个移动轴，所述移动轴的延伸方向平行于所述第一平面；

8、所述固定件可沿所述移动轴的延伸方向活动设置于所述移动轴，以带动所述基板在所述第一平面内移动。

9、在一些可能的实施例中，所述调节组件包括转动件，所述转动件连接所述固定件，所述转动件的转动轴平行于所述第一方向，以通过所述转动件带动所述固定件在所述第一平面内转动。

10、在一些可能的实施例中，所述安装机构还包括安装架，所述安装架连接所述固定件，所述安装架还设置有至少一个第一弹性件，所述第一弹性件远离所述安装架的一端连接所述基座；

11、所述伸缩件的第一端螺纹连接于所述安装架，所述伸缩件的第二端抵接于所述基座。

12、在一些可能的实施例中，所述安装架包括主板、连接板和至少一个连接柱；

13、所述主板设置于所述主体，所述主板通过所述调节组件连接所述固定件；各所述连接柱均沿所述第一方向延伸，各所述连接柱的第一端均连接所述主板，各所述连接柱的第二端均连接所述连接板；

14、在所述第一方向上，所述连接板与所述主板相对设置，所述连接板连接所述第一弹性件远离所述基座的一端。

15、在一些可能的实施例中，所述固定件包括放置座和至少一个夹紧板，所述放置座远离所述发射源的一端用于承载所述基板；

16、至少一个所述夹紧板设置于所述放置座远离所述发射源的一侧，所述夹紧板可沿所述第一方向移动，以使所述基板固定于所述夹紧板和所述放置座之间。

17、在一些可能的实施例中，所述放置座设置有容纳槽，所述容纳槽容置所述基板；所述放置座设置有通口，所述通口连通所述容纳槽，所述通口朝向所述掩膜板；

18、所述夹紧板设置有第二弹性件，所述第二弹性件可沿所述第一方向伸缩，所述第二弹性件远离所述夹紧板的一端连接所述放置座。

19、在一些可能的实施例中，所述掩膜板固定设置于所述基座；

20、或者，所述掩膜板可拆卸设置于所述基座。

21、在一些可能的实施例中，所述主体形成有真空腔，所述真空腔容置所述安装机构和所述基板。

22、在一些可能的实施例中，还包括控制装置；

23、所述控制装置设置于所述主体内，所述控制装置的第一控制端连接所述发射源，以控制所述发射源通过所述开口向所述基板发射粒子；所述控制装置第二控制端连接所述调节组件，以控制所述调节组件带动所述固定件移动。

24、在一些可能的实施例中，所述主体形成有真空腔，所述控制装置设置于所述真空腔外侧。

25、本申请实施例还提供一种阶梯结构的制备方法，包括：

26、提供基板；

27、通过固定件固定所述基板；

28、通过发射源在所述基板的表面形成阶梯膜层，形成所述阶梯膜层包括：通过掩膜板依次形成多个膜层单体，在形成前一个所述膜层单体后，移动所述固定件，或者，移动所述掩膜板，以调整所述掩膜板的开口与所述基板的相对位置；以使每个所述膜层单体至少部分覆盖于基板的表面，或者，每个所述膜层单体至少部分与其他所述膜层单体层叠设置。

29、通过采用上述技术方案，将基板安装在固定件上，使得掩膜板的开口至少部分朝向于基板，随后开启发射源，使得发射源能够通过掩膜板的开口向基板发射粒子，从而在基板的表面形成一层膜层单体；然后移动固定件，使得固定件带动基板移动，从而对基板的位置进行调整，在基板的表面再形成一层膜层单体，使得膜层单体至少部分覆盖在前一次所形成的膜层单体的表面，以能够在基板表面形成阶梯膜层，相对于相关技术中的阶梯结构的制备过程，通过本申请实施例所实施的阶梯结构制备装置进行阶梯结构的制备过程无需通过对基板进行刻蚀，简化了阶梯结构的制备过程，降低了阶梯结构的制备难度。

30、在形成前一个所述膜层单体后，移动所述固定件，或者，移动所述掩膜板，以调整所述开口与所述基板的相对位置；

31、在一些可能的实施例中，移动所述固定件，包括以下步骤：

32、通过调节组件带动所述固定件沿移动轴的延伸方向移动；

33、和/或，通过调节组件带动所述固定件绕转动件的转动轴转动。

34、在一些可能的实施例中，所述调节组件还包括至少一个伸缩件，所述伸缩件的第一端设置于所述固定件，所述伸缩件的第二端连接于掩膜板；所述制备方法还包括以下步骤：

35、通过测距装置获取所述固定件与所述掩膜板之间的测量间距；

36、根据所述测量间距调节所述伸缩件的长度，以调节所述开口与所述基板之间的距离。

技术特征：

1.一种阶梯结构制备装置，其特征在于，包括主体、掩膜板和安装机构；

2.根据权利要求1所述的阶梯结构制备装置，其特征在于，所述安装机构包括调节组件，所述调节组件连接所述固定件，以带动所述固定件在第一平面内移动，所述第一平面垂直于或以某角度于所述第一方向，偏差角度小于等于45度。

3.根据权利要求2所述的阶梯结构制备装置，其特征在于，所述调节组件包括至少一个移动轴，所述移动轴的延伸方向平行于或以某角度于所述第一平面，偏差角度小于等于45度；

4.根据权利要求2所述的阶梯结构制备装置，其特征在于，所述调节组件包括转动件，所述转动件连接所述固定件，所述转动件的转动轴平行于所述第一方向，以通过所述转动件带动所述固定件在所述第一平面内转动。

5.根据权利要求2所述的阶梯结构制备装置，其特征在于，所述调节组件还包括至少一个伸缩件，所述伸缩件的第一端设置于所述固定件，所述伸缩件的第二端连接于基座，所述伸缩件的第二端可沿所述第一方向伸缩。

6.根据权利要求5所述的阶梯结构制备装置，其特征在于，所述安装机构还包括安装架，所述安装架连接所述固定件，所述安装架还设置有至少一个第一弹性件，所述第一弹性件远离所述安装架的一端连接所述基座；

7.根据权利要求6所述的阶梯结构制备装置，其特征在于，所述安装架包括主板、连接板和至少一个连接柱；

8.根据权利要求1-7任一项所述的阶梯结构制备装置，其特征在于，所述固定件包括放置座和至少一个夹紧板，所述放置座远离所述发射源的一端用于承载所述基板；

9.根据权利要求8所述的阶梯结构制备装置，其特征在于，所述放置座设置有容纳槽，所述容纳槽容置所述基板；所述放置座设置有通口，所述通口连通所述容纳槽，所述通口朝向所述掩膜板；

10.根据权利要求1所述的阶梯结构制备装置，其特征在于，所述掩膜板固定设置于所述基座；

11.根据权利要求1所述的阶梯结构制备装置，其特征在于，所述主体形成有真空腔，所述真空腔容置所述安装机构和所述基板。

12.根据权利要求2所述的阶梯结构制备装置，其特征在于，还包括控制装置；

13.根据权利要求12所述的阶梯结构制备装置，其特征在于，所述主体形成有真空腔，所述控制装置设置于所述真空腔外侧。

技术总结
本申请提供一种阶梯结构制备装置。该阶梯结构制备装置包括主体、掩膜板和安装机构；安装机构设置于主体，安装机构包括基座，以及用于安装基板的固定件；掩膜板设置于基座，掩膜板形成有至少一个开口，在第一方向上，开口至少部分朝向基板；固定件可活动设置于基座，以通过固定件调节基板的位置；主体包括发射源，在第一方向上，发射源设置于掩膜板远离基板的一侧，发射源可通过开口向基板发射粒子。本申请能够解决阶梯结构的制备工艺复杂，制备难度大的问题。

技术研发人员：马骞,张驰,杨德良,宋宇航
受保护的技术使用者：南京看视界智能科技有限公司
技术研发日：20221227
技术公布日：2024/1/13