技术特征：
1.一种利用化学气相输运沉积制备高纯低氧钛的方法，其特征在于，包括：1）准备精炼室和装有凝聚态高价卤化钛的容器，将所述精炼室和装有凝聚态高价卤化钛的容器互相连通；2）将粗钛和基体放入所述精炼室中，然后抽真空；3）加热使粗钛的温度达到并稳定在800-1100℃，使基体的温度达到并稳定在1200-1550℃；4）加热所述装有凝聚态高价卤化钛的容器，以提高凝聚态高价卤化钛的蒸气压为72-177 pa，然后停止抽真空，气态的高价卤化钛在蒸气压的作用下进入所述精炼室并控制精炼室的压力；5）进入所述精炼室中的高价卤化钛接触所述粗钛时反应生成气态的低价卤化钛；6）气态的低价卤化钛接触所述基体时被加热使得其发生分解反应，生成卤素气体并在所述基体的表面沉积高纯低氧钛；7）所述卤素气体接触所述粗钛时反应再次生成气态的低价卤化钛；8）上述步骤6）、7）所述过程循环往复，从而不断生成高纯低氧钛。2.根据权利要求1所述的利用化学气相输运沉积制备高纯低氧钛的方法，其特征在于，步骤2）中，所述抽真空至小于1
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pa。3.根据权利要求1或2所述的利用化学气相输运沉积制备高纯低氧钛的方法，其特征在于，步骤2）中，所述基体为熔点高于1600℃的金属。4.根据权利要求3所述的利用化学气相输运沉积制备高纯低氧钛的方法，其特征在于，所述基体为纯钛、纯钼、纯钽或纯铌。5.根据权利要求3所述的利用化学气相输运沉积制备高纯低氧钛的方法，其特征在于，所述基体的纯度不低于99.9%。6.根据权利要求1或2所述的利用化学气相输运沉积制备高纯低氧钛的方法，其特征在于，步骤2）中，所述粗钛的纯度为99.9%以上、氧含量为400ppm以下。7.根据权利要求1或2所述的利用化学气相输运沉积制备高纯低氧钛的方法，其特征在于，所述高价卤化钛选自tif4、ticl4、tibr4、tii4中的一种或多种。8.根据权利要求1或2所述的利用化学气相输运沉积制备高纯低氧钛的方法，其特征在于，所述高价卤化钛为tii4，步骤4）中加热所述装有凝聚态高价卤化钛的容器至130-145℃。
技术总结
本发明属于超纯钛制备技术领域，具体涉及一种利用化学气相输运沉积制备高纯低氧钛的方法。包括：将精炼室和装有凝聚态高价卤化钛的容器互相连通；将粗钛和基体放入精炼室中，然后抽真空；加热容器以提高高价卤化钛的蒸气压为72-177 Pa，停止抽真空，通过高价卤化钛的蒸气压控制精炼室的压力，进入精炼室中的高价卤化钛接触粗钛时反应生成低价卤化钛；低价卤化钛接触基体时热分解生成卤素气体并在基体表面沉积高纯低氧钛；卤素气体接触粗钛时反应再次生成低价卤化钛；上述过程循环往复，不断生成高纯低氧钛。本发明可获得纯度5N5以上、氧含量80ppm以下、致密度98.5%以上钛材料，且高价值卤化物用量极少，精炼成本低。精炼成本低。精炼成本低。
技术研发人员：朱灏 谭成文 于晓东 李迅 刘丽君
受保护的技术使用者：海朴精密材料（苏州）有限责任公司
技术研发日：2023.01.18
技术公布日：2023/3/14