光学平行窗口零件透射波前修形方法与流程

本发明涉及光学加工，尤其涉及一种光学平行窗口零件透射波前修形方法。

背景技术：

1、在光学冷加工行业中，光学元件对于综合面形的精度要求较高，一般通过冷加工等方式，将光学元件的两个表面面形抛光至较高精度，以达到综合面形。

2、相关技术中，主要采用古典抛光的方式达到上述所说的两个表面的要求，但是由于精度较高，古典抛光本身存在很大的不确定性，对于人的技术水平及抛光经验要求极高，要达到精度较高是非常困难的，从而导致光学元件的综合面形精度较低。

技术实现思路

1、本发明提供一种光学平行窗口零件透射波前修形方法，用以解决现有技术中光学元件的综合面形精度较低的问题。

2、本发明提供一种光学平行窗口零件透射波前修形方法，包括：

3、获取第一光学平行窗口零件透射波前的第一检测数据；

4、基于所述第一检测数据和光程差计算原理，确定所述第一光学平行窗口零件透射波前的第二检测数据；

5、基于所述第二检测数据，采用离子束抛光设备对所述第一光学平行窗口零件进行修形，得到第二光学平行窗口零件；所述第二光学平行窗口零件透射波前的第三检测数据小于所述第一检测数据。

6、根据本发明提供的一种光学平行窗口零件透射波前修形方法，所述获取第一光学平行窗口零件透射波前的第一检测数据，包括：

7、基于干涉原理，采用激光干涉仪对所述第一光学平行窗口零件透射波前进行检测，得到所述第一检测数据。

8、根据本发明提供的一种光学平行窗口零件透射波前修形方法，所述基于所述第一检测数据和光程差计算原理，确定所述第一光学平行窗口零件透射波前的第二检测数据，包括：

9、将所述第一检测数据导入干涉仪面形分析软件；

10、基于光程差计算原理和所述第一光学平行窗口零件对应的折射率，确定所述第一光学平行窗口零件对应的第一系数；

11、基于所述第一系数，将所述第一检测数据对应的综合面形叠加至所述第一光学平行窗口零件的单一表面，得到所述第一光学平行窗口零件透射波前的第二检测数据。

12、根据本发明提供的一种光学平行窗口零件透射波前修形方法，所述基于所述第一系数，将所述第一检测数据对应的综合面形叠加至所述第一光学平行窗口零件的单一表面，得到所述第一光学平行窗口零件透射波前的第二检测数据，包括：

13、将所述第一系数和所述第一检测数据相乘，将所述第一检测数据对应的综合面形叠加至所述第一光学平行窗口零件的单一表面，得到所述第一光学平行窗口零件透射波前的所述第二检测数据。

14、根据本发明提供的一种光学平行窗口零件透射波前修形方法，所述第二检测数据对应的面形分布与所述第一检测数据对应的面形分布相反。

15、根据本发明提供的一种光学平行窗口零件透射波前修形方法，所述基于所述第二检测数据，采用离子束抛光设备对所述第一光学平行窗口零件进行修形，得到第二光学平行窗口零件，包括：

16、将所述第二检测数据对应的面形作为基础面形；

17、采用离子束抛光设备对所述基础面形进行迭代修形，得到所述第二光学平行窗口零件。

18、根据本发明提供的一种光学平行窗口零件透射波前修形方法，所述采用离子束抛光设备对所述基础面形进行迭代修形，得到所述第二光学平行窗口零件，包括：

19、采用离子束抛光设备对所述基础面形进行修形，得到修形后的第一面形；

20、确定所述第一面形对应的所述第三检测数据；

21、基于所述第三检测数据，获得所述第二光学平行窗口零件。

22、根据本发明提供的一种光学平行窗口零件透射波前修形方法，所述基于所述第三检测数据，获得所述第二光学平行窗口零件，包括：

23、判断所述第三检测数据是否小于预设阈值；

24、基于判断的结果，获得所述第二光学平行窗口零件。

25、根据本发明提供的一种光学平行窗口零件透射波前修形方法，所述基于判断的结果，获得所述第二光学平行窗口零件，包括：

26、在所述第三检测数据不小于所述预设阈值的情况下，重复执行上述确定所述第一面形对应的第三检测数据的步骤；

27、在所述第三检测数据小于所述预设阈值的情况下，将所述第三检测数据对应的面形作为最终的修形面形，并基于最终的修形面形，获得所述第二光学平行窗口零件。

28、根据本发明提供的一种光学平行窗口零件透射波前修形方法，在所述获取第一光学平行窗口零件透射波前的第一检测数据之前，所述方法还包括：

29、采用低速抛光方式对初始光学平行窗口零件进行抛光，得到第一光学平行窗口零件。

30、本发明提供的光学平行窗口零件透射波前修形方法，通过获取的第一光学平行窗口零件透射波前的第一检测数据，根据第一检测数据和光程差计算原理，确定第一光学平行窗口零件的第二检测数据；再根据第二检测数据，采用离子束抛光设备对第一光学平行窗口零件进行修形，得到第二光学平行窗口零件；第二光学平行窗口零件的第三检测数据小于第一检测数据，通过对第一光学平行窗口零件透射波前的检测、光程差计算原理以及采用离子束抛光的结合，实现了对光学平行窗口零件透射波前的修形，提升了光学平行窗口零件透射波前的精度。

技术特征：

1.一种光学平行窗口零件透射波前修形方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光学平行窗口零件透射波前修形方法，其特征在于，所述获取第一光学平行窗口零件透射波前的第一检测数据，包括：

3.根据权利要求1所述的光学平行窗口零件透射波前修形方法，其特征在于，所述基于所述第一检测数据和光程差计算原理，确定所述第一光学平行窗口零件透射波前的第二检测数据，包括：

4.根据权利要求3所述的光学平行窗口零件透射波前修形方法，其特征在于，所述基于所述第一系数，将所述第一检测数据对应的综合面形叠加至所述第一光学平行窗口零件的单一表面，得到所述第一光学平行窗口零件透射波前的第二检测数据，包括：

5.根据权利要求1至4任一项所述的光学平行窗口零件透射波前修形方法，其特征在于，所述第二检测数据对应的面形分布与所述第一检测数据对应的面形分布相反。

6.根据权利要求1至4任一项所述的光学平行窗口零件透射波前修形方法，其特征在于，所述基于所述第二检测数据，采用离子束抛光设备对所述第一光学平行窗口零件进行修形，得到第二光学平行窗口零件，包括：

7.根据权利要求6所述的光学平行窗口零件透射波前修形方法，其特征在于，所述采用离子束抛光设备对所述基础面形进行修形，得到所述第二光学平行窗口零件，包括：

8.根据权利要求7所述的光学平行窗口零件透射波前修形方法，其特征在于，所述基于所述第三检测数据，获得所述第二光学平行窗口零件，包括：

9.根据权利要求8所述的光学平行窗口零件透射波前修形方法，其特征在于，所述基于判断的结果，获得所述第二光学平行窗口零件，包括：

10.根据权利要求1所述的光学平行窗口零件透射波前修形方法，其特征在于，在所述获取第一光学平行窗口零件透射波前的第一检测数据之前，所述方法还包括：

技术总结
本发明提供一种光学平行窗口零件透射波前修形方法，涉及光学加工技术领域，该方法包括：获取第一光学平行窗口零件透射波前的第一检测数据；基于所述第一检测数据和光程差计算原理，确定所述第一光学平行窗口零件透射波前的第二检测数据；基于所述第二检测数据，采用离子束抛光设备对所述第一光学平行窗口零件进行修形，得到第二光学平行窗口零件；所述第二光学平行窗口零件透射波前的第三检测数据小于所述第一检测数据。通过对第一光学平行窗口零件透射波前的检测、光程差计算原理以及采用离子束抛光的结合，实现了对光学平行窗口零件透射波前的修形，提升了光学平行窗口零件透射波前的精度。

技术研发人员：刘云龙
受保护的技术使用者：北京创思工贸有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13