一种ITO靶材外径研磨定位支撑工装及使用方法与流程

本发明涉及支撑工装，尤其涉及一种ito靶材外径研磨定位支撑工装及使用方法。

背景技术：

1、ito圆筒靶材烧结完成后，外径表面会形成不规则圆形，必须对其外表面进行研磨以达到要求的尺寸。由于ito圆筒靶在磨外径时，靶材、工装和砂轮都是快速旋转的；且ito靶材为陶瓷靶材，属于脆硬材料，极易碰裂；所以对工装和靶材的贴合性、材质都要求较高。在对圆筒靶材实施定位支撑的过程中，通常会出现如下专利中存在的问题，参见公开号为cn108723985b的专利公开了一种ito圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装及其使用方法，所述定位支撑工装包括多个单体支撑工装，所述单体支撑工装间通过转动轴依次连接；所述转动轴上设有外螺纹；每个所述单体支撑工装套接在转动轴上的支撑套筒，所述支撑套筒上设有放置槽，所述放置槽内设有使用时外侧面与圆筒靶材内壁相贴合的支撑垫块，虽然该专利通过简单的机械机构定位杆能够保证不会对ito靶材造成磕碰伤，但是仍然存在定位调整过程中因操作不当导致偏移的问题，从而影响了圆筒靶材的研磨精度，因此，在长期的研发测试过程中：现有技术中的ito靶材外径研磨定位支撑工装由于是单向涨紧结构，使得支撑靶材在顶起涨紧顶子过程中，容易出现偏位而导致平整性以及稳定性降低的问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明的目的在于提出一种ito靶材外径研磨定位支撑工装及使用方法，以解决靶材在顶起涨紧顶子过程中，容易出现偏位而导致平整性以及稳定性降低的问题。

2、基于上述目的，本发明提供了一种ito靶材外径研磨定位支撑工装，包括：转动轴，以及设置于转动轴外围的多个单体支撑工装；所述单体支撑工装包括：涨紧套筒，套设于转动轴外围，所述涨紧套筒中部开设有供转动轴穿过的穿入孔，所述涨紧套筒内部固定安装有环形布置的多个引导块，相邻两个引导块之间形成有中空通道，所述中空通道一侧延伸至涨紧套筒上并贯穿涨紧套筒；涨紧顶子，滑动插接于各个中空通道内，所述涨紧顶子一侧两端均开设有斜面；缓冲限位组件，设置于中空通道与涨紧顶子之间；锥度销，活动插接于穿入孔内部两端，所述锥度销螺纹套接于转动轴外围，所述锥度销外围开设有与斜面相适配的锥面，调节涨紧套筒两端的锥度销在转动轴外围的位置，通过锥面与斜面之间的推力，以改变各个涨紧顶子分别在各个中空通道内的位置，使得靶材通过涨紧顶子定位在各个单体支撑工装外围。

3、优选的，所述缓冲限位组件包括：安装槽，开设于中空通道两侧中部，所述安装槽内部固定安装有第一磁铁片；收纳槽，开设于涨紧顶子两侧中部，所述收纳槽内部固定安装有与第一磁铁片相适配的第二磁铁片。

4、优选的，所述锥度销远离涨紧套筒的一侧活动设置有紧固螺母，所述紧固螺母螺纹套接于转动轴外围，所述紧固螺母用于限定锥度销在穿入孔内的位置。

5、优选的，所述涨紧顶子远离涨紧套筒的一侧黏贴有乳胶套，所述乳胶套呈矩形长条结构，乳胶套通过涨紧顶子贴合于靶材内腔中。

6、优选的，所述引导块两侧均开设有与锥面相适配的弧形切面，弧形切面为光滑的曲面结构。

7、优选的，所述转动轴两端固定安装有顶尖闷头，所述转动轴包括多个单体转动轴本体，多个单体转动轴本体依次可拆卸的连接组成转动轴，所述单体转动轴本体的端部固定安装有快拆卡件，两个单体转动轴本体的相邻端通过快拆卡件可拆卸连接。

8、优选的，所述快拆卡件为螺纹套接于两个单体转动轴本体相邻端外围的连接套筒，连接套筒用于限定两个单体转动轴本体之间的位置。

9、一种ito靶材外径研磨定位支撑工装的使用方法，包括如下步骤：

10、步骤一、根据需要研磨外壁的圆筒靶材的内径以及长度，选取合适的定位支撑工装；

11、步骤二、将各个单体支撑工装进行组装，先在涨紧套筒的中空通道内放置相应数量的涨紧顶子，并通过缓冲限位组件实施定位；

12、步骤三、再将涨紧套筒通过环形布置的多个引导块套接在转动轴上；

13、步骤四、在涨紧套筒的两端加装对称布置的锥度销，并使得锥度销螺纹套接在转动轴上；

14、步骤五、在转动轴上按照需要组装多个单体支撑工装，并重复步骤二到步骤四即可，多次在转动轴上增加单体支撑工装，直至装配处符合产品要求的定位支撑工装；

15、步骤六、把组合完成的定位支撑工装放进圆筒靶材里，并慢慢把定位支撑工装移进到圆筒靶材的中间；

16、步骤七、将各个单体支撑工装两端的锥度销在转动轴上进行转动，以使得锥度销往涨紧套筒里挤压，从而对涨紧顶子实施顶起，涨紧顶子外侧面与圆筒靶材内侧壁相贴合，进而实现对圆筒靶材的固定；

17、步骤八、把固定有圆筒靶材的定位支撑工装安装在研磨设备上，启动研磨设备，使得研磨设备对圆筒靶材外侧面进行研磨。

18、本发明的有益效果：通过在各个单体支撑工装的涨紧套筒的两端设有对称布置的两个锥度销，转动两个锥度销能够同步调节涨紧顶子在中空通道内的位置以防止偏位发生，使得涨紧顶子能够逐步延伸并抵触至套设在涨紧套筒外围的圆筒靶材内腔中，以对靶材实施定位支撑，通过双向涨紧的方式能够进一步提升涨紧顶子对靶材定位支撑时的平整性以及稳定性，使得用户在装卸过程中能够更加方便。

技术特征：

1.一种ito靶材外径研磨定位支撑工装，包括：转动轴(1)，以及设置于转动轴(1)外围的多个单体支撑工装；其特征在于，所述单体支撑工装包括：

2.根据权利要求1所述的一种ito靶材外径研磨定位支撑工装，其特征在于，所述缓冲限位组件包括：

3.根据权利要求1所述的一种ito靶材外径研磨定位支撑工装，其特征在于，所述锥度销(4)远离涨紧套筒(2)的一侧活动设置有紧固螺母(42)，所述紧固螺母(42)螺纹套接于转动轴(1)外围，所述紧固螺母(42)用于限定锥度销(4)在穿入孔(21)内的位置。

4.根据权利要求1所述的一种ito靶材外径研磨定位支撑工装，其特征在于，所述涨紧顶子(3)远离涨紧套筒(2)的一侧黏贴有乳胶套，所述乳胶套呈矩形长条结构，乳胶套通过涨紧顶子(3)贴合于靶材内腔中。

5.根据权利要求1所述的一种ito靶材外径研磨定位支撑工装，其特征在于，所述引导块(22)两侧均开设有与锥面(41)相适配的弧形切面，弧形切面为光滑的曲面结构。

6.根据权利要求1所述的一种ito靶材外径研磨定位支撑工装，其特征在于，所述转动轴(1)两端固定安装有顶尖闷头(11)，所述转动轴(1)包括多个单体转动轴本体，多个单体转动轴本体依次可拆卸的连接组成转动轴(1)，所述单体转动轴本体的端部固定安装有快拆卡件，两个单体转动轴本体的相邻端通过快拆卡件可拆卸连接。

7.根据权利要求6所述的一种ito靶材外径研磨定位支撑工装，其特征在于，所述快拆卡件为螺纹套接于两个单体转动轴本体相邻端外围的连接套筒(12)，连接套筒(12)用于限定两个单体转动轴本体之间的位置。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种ito靶材外径研磨定位支撑工装的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：

技术总结
本发明涉及支撑工装技术领域，具体涉及一种ITO靶材外径研磨定位支撑工装及使用方法，包括转动轴，以及设置于转动轴外围的多个单体支撑工装；所述单体支撑工装包括：涨紧套筒；缓冲限位组件；锥度销，活动插接于穿入孔内部两端；通过在各个单体支撑工装的涨紧套筒的两端设有对称布置的两个锥度销，转动两个锥度销能够同步调节涨紧顶子在中空通道内的位置以防止偏位发生，使得涨紧顶子能够逐步延伸并抵触至套设在涨紧套筒外围的圆筒靶材内腔中，以对靶材实施定位支撑，通过双向涨紧的方式能够进一步提升涨紧顶子对靶材定位支撑时的平整性以及稳定性，使得用户在装卸过程中能够更加方便。

技术研发人员：曾探,曾墩风,王志强,陈光园
受保护的技术使用者：芜湖映日科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15