1.一种等离子体辅助感应加热法制备石墨烯的装置，包括沉积腔(1)、真空发生机构(2)、加热机构(3)、等离子体发生机构(4)和工件夹持机构(5)，其特征在于：所述真空发生机构(2)与所述沉积腔(1)连通，所述工件夹持机构(5)设于所述沉积腔(1)的内壁用于夹持工件，所述加热机构(3)设于所述沉积腔(1)的内壁用于加热工件，所述等离子发生机构与所述沉积腔(1)连通；
2.根据权利要求1所述的一种等离子体辅助感应加热法制备石墨烯的装置，其特征在于：所述调节阀(13)包括三通壳体(131)，所述三通壳体(131)上开设第一进气孔、第二进气孔和出气孔，所述三通壳体(131)内设有空心球(132)，所述空心球(132)在抵接在所述三通壳体(131)的内壁上并在所述三通壳体(131)内转动，所述空心球(132)的外壁上开设第一混合孔、第二混合孔、第一单进孔、第二单进孔和单出孔，所述空心球(132)的外壁上设有拨动轴，所述拨动轴的远离空心球(132)的一端穿出所述三通壳体(131)；
3.根据权利要求2所述的一种等离子体辅助感应加热法制备石墨烯的装置，其特征在于：所述工件夹持机构(5)包括底板(51)、传动组件(52)和夹持组件(53)，所述传动组件(52)设于所述底板(51)上，所述夹持组件(53)与所述传动组件(52)啮合，所述传动组件(52)驱动所述夹持组件(53)抵接在工件的侧壁上。
4.根据权利要求3所述的一种等离子体辅助感应加热法制备石墨烯的装置，其特征在于：所述传动组件(52)包括传动齿轮(521)、左传动齿条(522)、右传动齿条(523)和下传动杆齿条；
5.根据权利要求4所述的一种等离子体辅助感应加热法制备石墨烯的装置，其特征在于：所述夹持组件(53)包括左夹爪(531)、右夹爪(532)和下夹爪(533)，所述左夹爪(531)固定在所述左传动齿条(522)伸出空腔的一端，所述右夹爪(532)固定在所述右传动齿条(523)伸出空腔的一端，所述下夹爪(533)固定在所述下传动齿条伸出空腔的一端，工件放置于所述下夹爪(533)上，所述左夹爪(531)和所述右夹爪(532)抵接在工件的侧壁上。
6.根据权利要求2所述的一种等离子体辅助感应加热法制备石墨烯的装置，其特征在于：所述加热机构(3)包括加热导体(31)和电源，所述加热导体(31)固定在所述沉积腔(1)内并绕设于所述工件夹持机构(5)周围，电源固定在沉积腔(1)的外壁上并与加热导体(31)通过导线(32)电连接，所述导线(32)从所述沉积腔(1)的底部穿出所述沉积腔(1)。
7.根据权利要求2所述的一种等离子体辅助感应加热法制备石墨烯的装置，其特征在于：所述等离子发生机构包括微波发生器(41)和耦合腔(43)，所述耦合腔(43)与沉积腔(1)连通，所述耦合腔(43)的外壁上设有与所述耦合腔(43)连通的进气孔，所述进气孔与氩气源连通向所述耦合腔(43)内通入氩气。
8.根据权利要求7所述的一种等离子体辅助感应加热法制备石墨烯的装置，其特征在于：所述沉积腔(1)的外壁上设有伸缩杆(42)，所述伸缩杆(42)上设有固定板(421)，所述微波发生器(41)固定在固定板(421)上。
9.根据权利要求8所述的一种等离子体辅助感应加热法制备石墨烯的装置，其特征在于：所述固定板(421)上开设螺栓孔(422)，所述微波发生器(41)通过固定螺栓固定在所述固定板(421)上。
10.根据权利要求9所述的一种等离子体辅助感应加热法制备石墨烯的装置，其特征在于：所述微波发生器(41)的外壳上设有固定孔，所述固定螺栓的端部插入所述固定孔内；