硅片研磨砂分流及过滤装置的制作方法

本技术涉及硅片研磨，具体为硅片研磨砂分流及过滤装置。

背景技术：

1、目前在半导体镀膜、太阳能镀膜生产中，会用到大量的多晶硅靶材，多晶硅靶材主要由多晶硅片拼接绑定而成，多晶硅片一般由提拉硅或压铸硅来加工，提拉硅或压铸硅原料一般会加工成方形的片状，但由切片机切出来的片，表面粗糙度达不到产品的要求，需要通过研磨后获得。

2、现有技术中，存在问题如下：

3、研磨机为精密研磨抛光设备，被磨、抛材料放于研磨盘上，研磨盘逆时针转动，修正轮带动工件自转，重力加压的方式对工件施压，工件与研磨盘作相对运转摩擦，来达到研磨抛光目的，现有的研磨装置大多都是将硅片放置在研磨机上，然后进行抛光研磨，但是研磨砂中存在大型颗粒研磨砂，在研磨过程中会对硅片造成损伤。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供硅片研磨砂分流及过滤装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：硅片研磨砂分流及过滤装置，包括底座、支撑框体和开口，所述底座的顶部固定安装有支撑框体，所述支撑框体的顶部开设有开口，所述开口的内部活动安装有上研磨过滤壳与下研磨过滤壳，所述下研磨过滤壳的顶部固定安装有与上研磨过滤壳螺纹连接的螺纹环，所述上研磨过滤壳的内部通过螺纹固定安装有过滤网，所述上研磨过滤壳的顶部贯通安装有研磨液进口，所述下研磨过滤壳的底部贯通连接有分流管，所述下研磨过滤壳与分流管连接处安装有密封圈，所述支撑框体的内壁固定安装有连接杆，所述连接杆的底部固定连接有研磨器。

3、工作人员通过螺纹环打开，可以将过滤网安装在上研磨过滤壳的内部，对研磨砂进行过滤，将较大颗粒阻挡在过滤网的顶部，密封圈将下研磨过滤壳内部形成同压空间，使四个分流管可以均匀分流，研磨砂通过固定柱进入上研磨过滤壳内部过滤，然后通过分流管同压均匀喷出，随后研磨器对硅片进行研磨抛光处理。

4、优选的，所述支撑框体的顶部固定安装有固定柱，固定柱的外侧套接安装有连接于上研磨过滤壳外侧的固定箍，固定箍的前端贯通安装有螺栓，螺栓的外侧套接安装有垫片，螺栓的一端通过螺纹固定安装有螺帽，下研磨过滤壳的底部贯通安装有空气进管，空气进管的外侧固定安装有反向压力调整阀。工作人员将上研磨过滤壳放在固定箍之间，然后通过螺栓与螺帽将上研磨过滤壳固定安装在开口的内部，垫片使上研磨过滤壳固定的更牢固。

5、优选的，所述固定箍的内壁固定安装有橡胶垫，橡胶垫的外表面分布有防滑纹。上研磨过滤壳与橡胶垫表面的防滑纹接触，使接触面摩擦力增大，将上研磨过滤壳固定的更牢固。

6、优选的，所述底座的顶部开设有研磨池，研磨池的内部固定安装有固定板，固定板的一侧固定连接有硅片固定杆，研磨池的内部开设有排泄口。硅片放在硅片固定杆的外侧固定进行研磨，废料通过排泄口排出，避免了研磨过程中废料的飞溅。

7、优选的，所述底座的内部滑动安装有废料收集盒，底座的内壁开设有滑槽，滑槽的内部滑动安装有固定于废料收集盒的滑杆。滑槽滑动安装在滑杆的内部，使废料收集盒安装在底座的内部，对废料进行收集，避免了环境的污染。

8、优选的，所述废料收集盒的前端固定安装有握把，握把的外侧固定安装有海绵垫。工作人员握住握把表面的海绵垫，方便安装或拿出废料收集盒。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

10、1、通过设置有上研磨过滤壳、下研磨过滤壳、过滤网和密封圈，工作人员通过螺纹环打开，可以将过滤网安装在上研磨过滤壳的内部，对研磨砂进行过滤，将较大颗粒阻挡在过滤网的顶部，密封圈将下研磨过滤壳内部形成同压空间，使四个分流管可以均匀分流。

11、2、通过设置有研磨液进口、分流管、连接杆和研磨器，研磨砂通过固定柱进入上研磨过滤壳内部过滤，然后通过分流管同压均匀喷出，随后研磨器对硅片进行研磨抛光处理。

技术特征：

1.硅片研磨砂分流及过滤装置，包括底座(1)、支撑框体(101)和开口(102)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有支撑框体(101)，所述支撑框体(101)的顶部开设有开口(102)，所述开口(102)的内部活动安装有上研磨过滤壳(104)与下研磨过滤壳(105)，所述下研磨过滤壳(105)的顶部固定安装有与上研磨过滤壳(104)螺纹连接的螺纹环(106)，所述上研磨过滤壳(104)的内部通过螺纹固定安装有过滤网(107)，所述上研磨过滤壳(104)的顶部贯通安装有研磨液进口(108)，所述下研磨过滤壳(105)的底部贯通连接有分流管(203)，所述下研磨过滤壳(105)与分流管(203)连接处安装有密封圈(109)，所述支撑框体(101)的内壁固定安装有连接杆(204)，所述连接杆(204)的底部固定连接有研磨器(205)。

2.根据权利要求1所述的硅片研磨砂分流及过滤装置，其特征在于：所述支撑框体(101)的顶部固定安装有固定柱(103)，固定柱(103)的外侧套接安装有连接于上研磨过滤壳(104)外侧的固定箍(3)，固定箍(3)的前端贯通安装有螺栓(301)，螺栓(301)的外侧套接安装有垫片(302)，螺栓(301)的一端通过螺纹固定安装有螺帽(303)，下研磨过滤壳(105)的底部贯通安装有空气进管(207)，空气进管(207)的外侧固定安装有反向压力调整阀(208)。

3.根据权利要求2所述的硅片研磨砂分流及过滤装置，其特征在于：所述固定箍(3)的内壁固定安装有橡胶垫(304)，橡胶垫(304)的外表面分布有防滑纹(305)。

4.根据权利要求1所述的硅片研磨砂分流及过滤装置，其特征在于：所述底座(1)的顶部开设有研磨池(2)，研磨池(2)的内部固定安装有固定板(201)，固定板(201)的一侧固定连接有硅片固定杆(202)，研磨池(2)的内部开设有排泄口(206)。

5.根据权利要求1所述的硅片研磨砂分流及过滤装置，其特征在于：所述底座(1)的内部滑动安装有废料收集盒(4)，底座(1)的内壁开设有滑槽(401)，滑槽(401)的内部滑动安装有固定于废料收集盒(4)的滑杆(402)。

6.根据权利要求5所述的硅片研磨砂分流及过滤装置，其特征在于：所述废料收集盒(4)的前端固定安装有握把(403)，握把(403)的外侧固定安装有海绵垫(404)。

技术总结
本技术涉及硅片研磨技术领域，尤其涉及硅片研磨砂分流及过滤装置。其技术方案包括底座、支撑框体和开口，底座的顶部固定安装有支撑框体，支撑框体的顶部开设有开口，开口的内部活动安装有上研磨过滤壳与下研磨过滤壳，下研磨过滤壳的顶部固定安装有与上研磨过滤壳螺纹连接的螺纹环，上研磨过滤壳的内部通过螺纹固定安装有过滤网。本技术通过设置有上研磨过滤壳、下研磨过滤壳、过滤网和密封圈，工作人员通过螺纹环打开，可以将过滤网安装在上研磨过滤壳的内部，对研磨砂进行过滤，将较大颗粒阻挡在过滤网的顶部，密封圈将下研磨过滤壳内部形成同压空间，使四个分流管可以均匀分流。

技术研发人员：王军,李伟望
受保护的技术使用者：西安中晶半导体材料有限公司
技术研发日：20230510
技术公布日：2024/1/15