一种改进型真空电子束镀膜机的制作方法

本技术属于真空镀膜设备，尤其涉及一种改进型真空电子束镀膜机。

背景技术：

1、随着真空卷绕镀膜技术的发展，真空卷绕镀膜设备的更新在不断满足工业生产的需求，并衍生了不同类型的真空卷绕镀膜设备，现有的高效快速电子束镀膜设备包括引导辊、收放卷辊、卷绕室、镀膜辊、电子束装置、镀膜室、气体进气口、坩埚水冷却系统金属、蒸发坩埚、机械泵、罗茨泵、真空管道、在线膜厚测试仪、电极金属网，这种高效快速电子束镀膜设备在进行加工的过程中无法对电子束进行张紧检测以及在使用的过程中无法对电子束装置进行支撑的问题。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种改进型真空电子束镀膜机，通过在使用的过程中设置张紧检测机构，方便在电子束张紧的情况下检测膜厚的目的以及在加工的过程中设置支撑机构，方便在使用的过程中对电子束装置进行支撑的目的。

2、一种改进型真空电子束镀膜机，包括固定壳，所述的固定壳的上端左侧螺栓固定有机械泵；所述的固定壳的上端右侧螺栓固定有罗茨泵；所述的机械泵和罗茨泵之间的上部螺纹连接有t型真空管；所述的固定壳的内部顶端左右两侧分别设置有导引辊；所述的固定壳的内部中间位置左右两侧分别设置有收放辊；所述的固定壳的下部中间位置固定有镀膜辊；所述的固定壳的内部底端中间位置固定有蒸发坩埚；所述的蒸发坩埚的上方设置有电极金属网；所述的固定壳的右侧下部贯穿有电子束装置，其特征在于，所述的固定壳的左右两侧下部分别设置有可调整支撑张紧检测架结构；所述的固定壳的右侧下部设置有可调整支撑连接架结构。

3、优选的，所述的可调整支撑张紧检测架结构包括旋转推动杆，所述的旋转推动杆的左端插接在移动架的右侧内部中间位置；所述的移动架的左侧上部螺栓固定有u型架；所述的u型架的左侧内部中间位置销轴连接有张紧辊；所述的移动架的左端螺栓固定有在线膜厚测试仪。

4、优选的，所述的可调整支撑连接架结构包括底板，所述的底板的上端四角位置分别插接有支撑管；所述的支撑管的上端内部分别螺纹连接有升降柱；所述的升降柱的顶端分别销轴连接有连接架；所述的连接架分别螺栓固定在支撑架的底端四角位置；所述的支撑架的上端内部从左到右依次销轴连接有支撑辊。

5、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

6、1.本实用新型中，所述的固定壳，旋转推动杆，移动架，u型架，张紧辊以及在线膜厚测试仪相互配合的设置，有利于在使用的过程中通过旋转旋转推动杆，使旋转推动杆推动移动架进行移动，并使张紧辊对镀膜后的电子束进行推动，使电子束进行张紧，然后使在线膜厚测试仪进行检测工作，方便在电子束张紧的情况下检测膜厚的目的。

7、2.本实用新型中，所述的底板，支撑管，升降柱，连接架，支撑架以及支撑辊相互配合的设置，有利于在使用过程中转动支撑管，通过支撑管和升降柱螺纹连接设置，在转动支撑管的过程中调整好支撑架的高度，同时调整好支撑架的角度，方便在使用的过程中对电子束装置进行支撑的目的。

技术特征：

1.一种改进型真空电子束镀膜机，包括固定壳(1)，所述的固定壳(1)的上端左侧螺栓固定有机械泵(2)；所述的固定壳(1)的上端右侧螺栓固定有罗茨泵(3)；所述的机械泵(2)和罗茨泵(3)之间的上部螺纹连接有t型真空管(4)；所述的固定壳(1)的内部顶端左右两侧分别设置有导引辊(5)；所述的固定壳(1)的内部中间位置左右两侧分别设置有收放辊(6)；所述的固定壳(1)的下部中间位置固定有镀膜辊(7)；所述的固定壳(1)的内部底端中间位置固定有蒸发坩埚(8)；所述的蒸发坩埚(8)的上方设置有电极金属网(9)；所述的固定壳(1)的右侧下部贯穿有电子束装置(10)；其特征在于，该改进型真空电子束镀膜机中所述的固定壳(1)的左右两侧下部分别设置有可调整支撑张紧检测架结构(11)；所述的固定壳(1)的右侧下部设置有可调整支撑连接架结构(12)。

2.如权利要求1所述的改进型真空电子束镀膜机，其特征在于，所述的可调整支撑张紧检测架结构(11)包括旋转推动杆(111)，所述的旋转推动杆(111)的左端插接在移动架(112)的右侧内部中间位置；所述的移动架(112)的左侧上部螺栓固定有u型架(113)；所述的u型架(113)的左侧内部中间位置销轴连接有张紧辊(114)；所述的移动架(112)的左端螺栓固定有在线膜厚测试仪(115)。

3.如权利要求1所述的改进型真空电子束镀膜机，其特征在于，所述的可调整支撑连接架结构(12)包括底板(121)，所述的底板(121)的上端四角位置分别插接有支撑管(122)；所述的支撑管(122)的上端内部分别螺纹连接有升降柱(123)；所述的升降柱(123)的顶端分别销轴连接有连接架(124)；所述的连接架(124)分别螺栓固定在支撑架(125)的底端四角位置；所述的支撑架(125)的上端内部从左到右依次销轴连接有支撑辊(126)。

4.如权利要求2所述的改进型真空电子束镀膜机，其特征在于，所述的旋转推动杆(111)分别螺纹贯穿固定壳(1)的左右两侧中间位置；所述的移动架(112)分别设置在固定壳(1)的左右两侧内部中间位置。

5.如权利要求3所述的改进型真空电子束镀膜机，其特征在于，所述的底板(121)螺栓固定在固定壳(1)的右侧底端；所述的电子束装置(10)的右端设置在支撑辊(126)的上端并接触设置。

技术总结
本技术提供一种改进型真空电子束镀膜机，包括固定壳，机械泵，罗茨泵，T型真空管，导引辊，收放辊，镀膜辊，蒸发坩埚，电极金属网，电子束装置，可调整支撑张紧检测架结构以及可调整支撑连接架结构，所述的固定壳的上端左侧螺栓固定有机械泵；所述的固定壳的上端右侧螺栓固定有罗茨泵。本技术固定壳，旋转推动杆，移动架，U型架，张紧辊以及在线膜厚测试仪相互配合的设置，有利于在使用的过程中通过旋转旋转推动杆，使旋转推动杆推动移动架进行移动，并使张紧辊对镀膜后的电子束进行推动，使电子束进行张紧，然后使在线膜厚测试仪进行检测工作，方便在电子束张紧的情况下检测膜厚的目的。

技术研发人员：盛永利,郑立冬,李强,王涛
受保护的技术使用者：山东瑞科森真空设备有限公司
技术研发日：20230530
技术公布日：2024/1/15