一种磨轮法兰防护罩、磨轮组件和研磨设备的制作方法

本技术实施例涉及半导体加工，尤其涉及一种磨轮法兰防护罩、磨轮组件和研磨设备。

背景技术：

1、硅片生产加工过程中，包括对硅片的进行研磨的工艺过程，这些工艺过程中，这些研磨的工艺过程中，回产生大量的粉尘，这些粉尘会在磨削设备上生长和结晶，生长和结晶的粉尘可能堵塞安装孔等结构，且生长的生长和结晶可能难以在短时间内完全清除，这会影响后续磨轮重新安装的精度，可能对加工过程造成不利影响。

技术实现思路

1、本实用新型实施例提供一种磨轮法兰防护罩、磨轮组件和研磨设备，以解决硅片载盘清洗不彻底影响硅片加工效果的问题。

2、为解决上述问题，本实用新型是这样实现的：

3、第一方面，本实用新型实施例提供了一种磨轮法兰防护罩，安装于磨轮法兰，所述磨轮法兰防护罩包括防护罩本体，所述防护罩本体包括相对设置的第一面板和第二面板，以及连接于所述第一面板和所述第二面板之间的侧板，所述第一面板、所述第二面板和所述侧板围成弧形的安装槽，以使所述防护罩本体能够套设于圆形的磨轮法兰的边缘。

4、在其中一些实施例中，沿所述防护罩本体的径向，所述第一面板的宽度小于所述第二面板的宽度。

5、在其中一些实施例中，所述第二面板包括凸出部，所述凸出部位于所述第二面板沿所述防护罩本体周向的一端，且所述凸出部在所述第二面板所在平面的正投影与所述第二面板不交叠。

6、在其中一些实施例中，所述第一面板在所述第二面板所在平面的正投影位于所述第二面板的范围之内。

7、在其中一些实施例中，所述第一面板对应的圆心角小于或等于180度，所述第二面板对应的圆心角大于180度。

8、在其中一些实施例中，所述第一面板和所述第二面板上开设有相对应的安装孔，所述第一面板上的安装孔在所述第二面板上的正投影与所述第二面板上的安装孔重叠。

9、第二方面，本实用新型实施例提供了一种磨轮组件，其特征在于，包括磨轮法兰、磨轮法兰防护罩、磨轮和紧固件，所述磨轮法兰防护罩套设于所述磨轮法兰的边缘，所述紧固件穿过所述磨轮法兰和所述磨轮法兰防护罩后与所述磨轮连接，以将所述磨轮法兰和所述磨轮相固定；

10、其中，所述磨轮法兰防护罩为第一方面中任一项所述的磨轮法兰防护罩。

11、在其中一些实施例中，所述磨轮法兰防护罩的数量为至少两个，且至少两个所述磨轮法兰防护罩均套设于所述磨轮法兰的边缘。

12、第三方面，本实用新型实施例提供了一种研磨设备，包括以上任一项所述的磨轮组件。

13、本实施例提供的磨轮法兰防护罩，能够套设在磨轮法兰的边缘，从而避免粉尘在磨轮法兰表面结晶生长，减少粉尘结晶生长对后续磨轮安装的影响，提高磨轮安装精度，保证加工可靠性。

技术特征：

1.一种磨轮法兰防护罩，其特征在于，安装于磨轮法兰，所述磨轮法兰防护罩包括防护罩本体，所述防护罩本体包括相对设置的第一面板和第二面板，以及连接于所述第一面板和所述第二面板之间的侧板，所述第一面板、所述第二面板和所述侧板围成弧形的安装槽，以使所述防护罩本体能够套设于圆形的磨轮法兰的边缘。

2.如权利要求1所述的磨轮法兰防护罩，其特征在于，沿所述防护罩本体的径向，所述第一面板的宽度小于所述第二面板的宽度。

3.如权利要求2所述的磨轮法兰防护罩，其特征在于，所述第二面板包括凸出部，所述凸出部位于所述第二面板沿所述防护罩本体周向的一端，且所述凸出部在所述第二面板所在平面的正投影与所述第二面板不交叠。

4.如权利要求2所述的磨轮法兰防护罩，其特征在于，所述第一面板在所述第二面板所在平面的正投影位于所述第二面板的范围之内。

5.如权利要求3或4所述的磨轮法兰防护罩，其特征在于，所述第一面板对应的圆心角小于或等于180度，所述第二面板对应的圆心角大于180度。

6.如权利要求1至4中任一项所述的磨轮法兰防护罩，其特征在于，所述第一面板和所述第二面板上开设有相对应的安装孔，所述第一面板上的安装孔在所述第二面板上的正投影与所述第二面板上的安装孔重叠。

7.一种磨轮组件，其特征在于，包括磨轮法兰、磨轮法兰防护罩、磨轮和紧固件，所述磨轮法兰防护罩套设于所述磨轮法兰的边缘，所述紧固件穿过所述磨轮法兰和所述磨轮法兰防护罩后与所述磨轮连接，以将所述磨轮法兰和所述磨轮相固定；

8.如权利要求7所述的磨轮组件，其特征在于，所述磨轮法兰防护罩的数量为至少两个，且至少两个所述磨轮法兰防护罩均套设于所述磨轮法兰的边缘。

9.一种研磨设备，其特征在于，包括权利要求7或8所述的磨轮组件。

技术总结
本技术提供一种磨轮法兰防护罩、磨轮组件和研磨设备。磨轮法兰防护罩，安装于磨轮法兰，所述磨轮法兰防护罩包括防护罩本体，所述防护罩本体包括相对设置的第一面板和第二面板，以及连接于所述第一面板和所述第二面板之间的侧板，所述第一面板、所述第二面板和所述侧板围成弧形的安装槽，以使所述防护罩本体能够套设于圆形的磨轮法兰的边缘。本实施例提供的磨轮法兰防护罩，能够套设在磨轮法兰的边缘，从而避免粉尘在磨轮法兰表面结晶生长，减少粉尘结晶生长对后续磨轮安装的影响，提高磨轮安装精度，保证加工可靠性。

技术研发人员：康家榕
受保护的技术使用者：西安奕斯伟材料科技股份有限公司
技术研发日：20230613
技术公布日：2024/1/15