真空炉以及连续式真空炉的制作方法
【技术领域】
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[0001]本发明涉及真空设备领域，尤其涉及一种真空炉以及连续式真空炉。
【背景技术】
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[0002]真空炉作为一种工业设备，在材料的热处理、加工、制备、烧结、焊接和镀膜等方面具有广泛的用途；但现有的真空炉在径向上只有一个真空腔，由于真空腔的内外压差很大，所以密封难度很高，不但制造成本高、工艺复杂，而且维护成本也很高；特别是高真空炉，其真空腔的气压低至10_4Pa，而外部的大气压却高达15Pa,两者相差19倍，巨大的压差对真空腔的焊接成型、真空管道的连接、炉门的密封等提出了很高的要求，只要出现些微的渗漏，就难以达到所要求的真空度。
[0003]现有的连续式真空炉，由放片台、真空预抽室、真空焊接室、真空退火室、冷却室、取片台和中心控制系统等组合而成。现有的连续式真空炉有多个真空室组成，每个真空室在径向上只有一个真空腔，对于真空焊接室来说，其真空腔的气压只有0.1-0.0OlPa,而外部的大气压高达15Pa,两者相差16-1O8倍，巨大的压差对真空腔的焊接成型、真空管道的连接、炉门的密封提出了很高的要求，只要出现些微的渗漏，就难以达到所要求的真空度，所以制作难度很大、制作成本很高，一条连续式真空炉的造价高达数千万元。
【发明内容】
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[0004]针对上述技术问题，本发明的目的在于提供一种具有独立的双腔或多腔结构的真空炉，以及具有独立的双腔或多腔结构的连续式真空炉。本发明的真空炉可以实现使得各真空腔的气压逐渐变化，解决了单一真空腔因内外压差巨大而带来的密封困难，解决了真空炉制作难度大、制作成本高等问题。
[0005]为实现上述目的，本发明采用了如下技术方案:
[0006]根据本发明的一个实施例，提供了一种真空炉，包括:炉体，用于对真空腔进行真空处理的真空系统；所述炉体包括设置在最外层的外腔，以及依次设置在外腔内部的一个以上的内腔。
[0007]优选的，所述外腔和内腔相互独立；外腔及每个内腔的气压不同，从内到外气压依次升高；所述真空系统包括多个真空机组，所述外腔和内腔分别通过真空管与各自的真空机组连通，达到设定的真空度或气压。
[0008]优选的，所述外腔内的气压为100Pa-0.1Pa,所述内腔内的气压为0.1Pa-0.0OOlPa0
[0009]优选的，所述内腔内设置有加热体。设置加热体可以对腔内进行加热和保温。
[0010]优选的，所述加热体为红外加热体。红外加热体安装方便，应用广泛。
[0011]优选的，所述内腔内还设置有一至数层隔热屏。隔热屏可以对内腔进行保温隔热。
[0012]优选的，所述隔热屏为表面光洁的金属板，或者表面镀有低辐射膜，可以进一步提高隔热保温性能。
[0013]优选的，所述外腔和内腔的内表面为低辐射率表面或者表面镀有低辐射膜，可以进一步提尚隔热保温性能。
[0014]根据本发明的另一个实施例，提供了一种连续式真空炉，包括:上料台、真空预抽室、真空加热室、预冷室、冷却室和下料台，用于对真空腔进行真空处理的真空系统、和用于传送物料的传动系统；所述真空加热室的真空腔包括设置在最外层的外腔及依次设置在外腔内部的一个以上的内腔。
[0015]优选的，所述外腔和内腔相互独立，外腔及每个内腔的气压不同，从内到外气压依次升高；真空系统包括多个真空机组，每个真空机组通过真空管与相应的真空腔连通；夕卜腔和内腔分别通过各自的真空机组达到设定的真空度或气压。
[0016]优选的，所述连续式真空炉还包括真空加压室，所述真空加压室的真空腔包括设置在最外层的外腔及依次设置在外腔内部的一个以上的内腔，外腔和内腔相互独立，外腔及每个内腔的气压不同，从内到外气压依次升高，使各真空腔的气压逐渐变化，解决了单一真空腔因内外压差巨大而带来的密封困难。
[0017]优选的，所述连续式真空炉的真空腔体内侧设置有加热体。设置加热体可以对腔内进行加热和保温。
[0018]优选的，所述加热体为红外加热体。红外加热体安装方便，应用广泛。
[0019]优选的，所述真空预抽室和预冷室可以是一至数个，可以实现气压和温度的逐渐变化。
[0020]优选的，所述外腔和内腔的内表面为低辐射率表面或者表面镀有低辐射膜，可以进一步提尚隔热保温性能。
[0021]优选的，所述外腔内的气压优选为100Pa-0.1Pa,所述内腔内的气压优选为0.1Pa-0.0OOlPa0
[0022]优选的，所述内腔还设置有一至数层隔热屏，隔热屏可以对内腔进行保温隔热。
[0023]优选的，所述隔热屏为表面光洁的金属板，或者表面镀有低辐射膜，可以进一步提高隔热保温性能。
[0024]本发明的真空炉采用独立的双腔或多腔结构，使各真空腔的气压逐渐变化，解决了单一真空腔因内外压差巨大而带来的密封困难，导致真空炉制作难度大、制作成本高等问题，特别适合于制造高真空、超高真空的真空炉。本发明的真空炉将现有的单腔分为内外两个腔，由内腔和外腔共同分担原有的单腔的功能，使真空炉的制造成本更低、操控更简单、抽真空效果更好；如将加热体、隔热屏等均设置在外腔中，内腔只承担工件抽真空的功能，由于没有了加热体、隔热屏等放气的影响、再加上外腔低真空的保护，所以内腔很容易达到所需的高真空度。
【附图说明】
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[0025]图1为根据本发明实施例的真空炉横截面结构示意图；
[0026]图2为根据本发明实施例的连续式真空炉纵截面结构示意图；
【具体实施方式】
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[0027]下面结合附图，对本发明的【具体实施方式】进行详细描述，但应当理解本发明的保护范围并不受【具体实施方式】的限制。
[0028]本发明实施例，披露了一种双腔或多腔真空炉，包括炉体、真空系统和控制系统，炉体内含有两个及以上独立的真空腔，每个真空腔的气压不同，从内到外气压依次升高。真空系统用于调节腔内真空度或气压。设置一个或以上的内腔可以使真空腔的真空度依次变化，更容易达到很高的真空度，如设置外、中、内三腔，外腔用机械泵、真空度可达l-100Pa，中腔用机械泵+罗茨泵机组、真空度可达0.01-0.1Pa,内腔用机械泵+罗茨泵+扩散泵机组、真空度可达10_5Pa左右，每个腔与不同的真空泵(机组)相匹配，使内腔以最低的成本实现最高的真空度，一般设置2-3个腔即可。各腔的气压与所使用的真空泵(机组)相关联。
[0029]如图1所示，为根据本发明实施例的真空炉横截面结构示意图。真空炉的炉体由外腔I和内腔2组成；真空系统由真空管和真空泵机组组成。
[0030]其中，内腔2位于外腔I的内部，两个腔体相互独立。外腔I和内腔2通过支架通过焊接或螺丝连接等方式固定在底座上。外腔I和内腔2分别通过各自的真空管5与真空泵机组6连接，真空泵机组可以根据控制信号的要求工作，使得腔内达到设定的真空度(或气压)。外腔和内腔内的气压根据实际需求调整，外腔I内的气压优选为100Pa-0.1Pa,内腔2内的气压优选为0.1Pa-0.0OOlPao
[0031]所述外腔和内腔的中心轴可以重合设置，也可以不互相重合。真空炉可以在保持内腔真空度不变的情况下通过调整外腔的气压达到保温或降温的目的，即当外腔的气压小于0.2Pa时，腔内的空气的传导传热和对流传热可以忽略不计，外腔内部有很好的保温效果；当外腔的气压大于IPa时，此时空气的传导传热和对流传热明显，外腔内部有很好的降温效果。
[0032]内