在金属螺钉上制备纯铝涂层的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种在金属螺钉表面镀纯铝的方法，特别是涉及一种IC装备(半导体器件、集成电路芯片和平板显示器的专用生产设备)用不锈钢螺钉表面镀纯铝的制备方法。
【背景技术】
[0002]在IC装备中不锈钢螺钉镀纯铝方法一直使用的是电化学方法，该制备方法中使用的电解液剧毒，对人体及环境危害较大，成本较高且涂层结合力、致密性、均匀性较差。
【发明内容】
[0003]针对上述存在的技术问题，本发明的目的是为了解决使用电化学方法镀纯铝对人体及环境危害较大，成本较高且涂层结合力、致密性、均匀性较差的问题，提供一种在金属螺钉上制备纯铝涂层的方法，该方法采用多弧离子镀在不锈钢螺钉表面镀纯铝的方法不但对人体及环境无危害，且降低了成本，提高了涂层的结合力、致密性及均匀性。
[0004]本发明的目的是通过如下技术方案实现的:
[0005]本发明一种在金属螺钉上制备纯铝涂层的方法，包括如下步骤:
[0006](I)螺钉的前处理:将所述螺钉表面先进行喷砂-电解抛光或喷砂-化学抛光处理；
[0007](2)将所述螺钉放置于专用夹具上；
[0008](3)表面沉积:采用PVD技术制备纯铝涂层。
[0009]进一步地，所述螺钉沉积纯销涂层的厚度在5 μ m-50 μ m范围内。
[0010]进一步地，所述第(3)步采用多弧离子镀沉积纯铝，具体工艺参数如下:弧源电流:10?100A，基体清洗负偏压:-400V?-1000V，基体工作负偏压:_100V?-300V，工作温度:200°C~ 400°C，真空度:KT3Pa?5Pa，工作电压:20?50V靶材:99.99%纯铝。
[0011]本发明的有益效果是:
[0012]本发明采用的多弧离子镀在不锈钢螺钉表面镀纯铝的方法，不但对人体及环境无危害，且降低了成本，提高了涂层的结合力、致密性及均匀性。
【具体实施方式】
[0013]下面结合实施例对本发明进行详细描述。
[0014]实施例:本发明不锈钢螺钉上制备纯铝涂层的方法，具体包括如下步骤:
[0015](I)螺钉的前处理:将所述螺钉表面先进行喷砂-电解抛光或喷砂-化学抛光处理；
[0016](2)将所述螺钉放置于专用夹具上；
[0017](3)喷涂:采用多弧离子镀制备纯铝涂层。
[0018]所述不锈钢螺钉镀纯销涂层的厚度在5 μ m-10 μ m范围内。
[0019]本发明适用于所有型号的不锈钢材质螺钉镀纯铝。
[0020]所述放置螺钉的专用夹具:为现有结构。所述不锈钢螺钉放在既能公转又能自转的专业夹具上镀纯铝。
[0021]所述第(3)步骤进行多弧离子镀镀纯铝涂层的工艺参数如下:弧源电流:10?100A，基体清洗负偏压:-400V?-500V，基体工作负偏压:-100V?-300V，工作温度:200°C~ 400°C，真空度:10_3Pa?5Pa，工作电压:20?50V靶材:99.99%纯铝。
【主权项】
1.一种在金属螺钉上制备纯铝涂层的方法，其特征在于:包括如下步骤: (1)螺钉的前处理:将所述螺钉表面先进行喷砂-电解抛光或喷砂-化学抛光处理； (2)将所述螺钉放置于专用夹具上； (3)表面沉积:采用PVD技术制备纯铝涂层。2.按照权利要求1所述的在金属螺钉上制备纯铝涂层的方法，其特征在于:所述螺钉沉积纯铝涂层的厚度在5 μ m-50 μ m范围内。3.按照权利要求1所述的在金属螺钉上制备纯铝涂层的方法，其特征在于:所述第(3)步采用多弧离子镀沉积纯铝，具体工艺参数如下:弧源电流:10?100A，基体清洗负偏压:-400V?-1000V，基体工作负偏压:-100V?-300V，工作温度:200°C?400°C，真空度:KT3Pa?5Pa，工作电压:20?50V靶材:99.99%纯铝。
【专利摘要】一种在金属螺钉上制备纯铝涂层的方法，属于不锈钢零件表面处理技术领域。包括如下步骤：（1）螺钉的前处理：将所述螺钉表面先进行喷砂-电解抛光或喷砂-化学抛光处理；（2）将所述螺钉放置于专用夹具上；（3）表面沉积：采用PVD技术制备纯铝涂层。本发明采用的多弧离子镀在不锈钢螺钉表面镀纯铝的方法，不但对人体及环境无危害，且降低了成本，提高了涂层的结合力、致密性及均匀性。
【IPC分类】C23C14/02, C23C14/32, C23C14/16
【公开号】CN104911543
【申请号】CN201510243450
【发明人】侯涛, 刘欢, 吴敏杰, 唐伟东, 张向阳, 童文华
【申请人】沈阳富创精密设备有限公司
【公开日】2015年9月16日
【申请日】2015年5月13日