请参阅图3至图4，所述角度调整装置适用于高密度等离子体沉积设备，所述高密度等离子体沉积设备包括腔体20，所述腔体20内设有静电卡盘21、第一喷嘴22和第二喷嘴23，所述角度调整装置包括:定位底盘24、角度仪25和校准杆26 ;其中，所述定位底盘24置于所述静电卡盘21上，包括本体241和支柱242 ;所述支柱242位于所述本体241上表面的中心，且所述支柱242的轴向中心线、所述本体241的轴向中心线与所述静电卡盘21的轴向中心线三者相重合；所述角度仪25的形状为碗形，所述角度仪25的底部设有插入孔251，所述角度仪25通过所述插入孔251套置于所述支柱242上；所述角度仪25的侧壁上设有若干个第一校准孔252和若干个第二校准孔253，且各个所述第一校准孔252的中心线及各个所述第二校准孔253的中心线均分别相交于所述支柱242轴向中心线上的同一点；所述校准杆26包括第一校准杆261和第二校准杆262 ;所述第一校准杆261可以插入所述第一校准孔252，所述第二校准杆可以插入所述第二校准孔 253。
[0045]具体的，所述本体241的底部设有与所述静电卡盘21外形相匹配的凹槽，适于将所述定位底盘24套置于所述静电卡盘21上。
[0046]具体的，所述凹槽的底部还可以设有一层橡胶层27。在使用的过程中，将所述定位底盘24固定于所述静电卡盘21的过程中，所述橡胶层27可以起到缓冲作用，可以有效地防止所述定位底盘24对所示静电卡盘21造成碰撞。
[0047]具体的，所述支柱242可以设计为具有不同横向尺寸的上下两部分，其中远离所述本体241的上部的形状和尺寸与所述插入孔251的形状和尺寸相同。这样可以确保在所述角度仪25通过所述插入孔251套置于所述支柱242上时，所述角度仪25被所述支柱242的具有较大尺寸的下部所支撑，使得所述角度仪25的底部与所述定位底盘24之间具有一定的间隙，防止在安装和拆卸的过程中所述角度仪25与所述定位底盘24之间发生碰撞损坏。
[0048]具体的，所述角度调整装置还包括若干个定位针28，且所述本体241上及所述静电卡盘21的上表面设有与所述定位针28数量相同的定位孔，所述定位针28通过所述定位孔将所述定位底盘24固定在所述静电卡盘21上。需要说明的是，将所述定位底盘24固定于所述静电卡盘21上的方法不只限于这一种，其他任何可以实现该目的的方法均可适用于此。
[0049]具体的，所述第一喷嘴22与所述第二喷嘴23固定于所述腔体20的内壁上.在将所述角度调整装置置于所述静电卡盘21上以后，所述第一喷嘴22的固定点应位于与其相对应的所述第一校准孔252的中心线上，所述第二喷嘴23的固定点应位于与其相对应的所述第二校准孔253的中心线上。这样的设计结构可以确保在将所述角度调整装置置于所述静电卡盘21上以后，所述校准杆26经由所述校准孔以后，可以顺利的插入相应的喷嘴内对其进行调整。
[0050]具体的，所述第一校准孔252与所述第二校准孔253均在所述角度仪25的侧壁上沿周向均勾分布。
[0051]具体的，所述第一校准孔252为45°校准孔，所述第二校准孔253为60°校准孔。即所述第一校准孔252的中心线与所述静电卡盘21的径向中心线的夹角为45°，所述第二校准孔253的中心线与所述静电卡盘21的径向中心线的夹角为60°。
[0052]具体的，所述第一校准孔242的数目与所述第一喷嘴22的数目相同，所述第二校准孔253的数目与所述第二喷嘴23的数目相同。优选地，本实施例中，所述第一校准孔252的数目为8个，所述第二校准孔253的数目为2个。
[0053]具体的，所述第一校准杆261的横截面形状和尺寸与所述第一校准孔252的形状和尺寸相同，所述第二校准杆262的横截面形状和尺寸与所述第二校准孔253的形状和尺寸相同。优选地，本实施例中，所述第一校准杆261的横截面形状、所述第一校准孔252的形状、所述第二校准杆262和所述第二校准孔253的形状均为圆形；所述第一校准杆261的直径为0.7mm，所述第二校准杆262的直径为0.8mm。将所述校准杆与相应的校准孔的形状和尺寸设计为相同，可以保证在所述校准杆插入到所述校准孔以后可以卡紧，不会在所述校准孔内晃动，保证了调整角度的精确性。
[0054]所述角度调整装置的使用方法为:首先，将所述定位底盘24置于所述静电卡盘21的上表面，并使用所述定位针28固定；其次，将所述角度仪25套置于所述定位底盘24的所述支柱242上，并旋转所述角度仪25使得所述角度仪25上的所述校准孔与相应的喷嘴相对应；然后，将所述校准杆逐一插入相应的校准孔内，调整所述喷嘴的角度，使得所述校准孔插入相应的喷嘴内，将所述喷嘴固定锁紧；最后，将所述校准杆拔出，将所述角度仪25和所述定位卡盘24依次卸下即可。
[0055]由于所述支柱242的轴向中心线、所述本体241的轴向中心线与所述静电卡盘21的轴向中心线三者相重合；且各个所述第一校准孔252的中心线与各个所述第二校准孔253的中心线均分别相交于所述支柱242轴向中心线上的同一点，因此，在使用所述角度调整装置调整以后，各个所述第一喷嘴22或各个所述第二喷嘴23喷射的气体必定在所述腔体20的中心相遇，不会出现偏向一边或者错位的情况，可以使得沉积的薄膜厚度比较均匀或者清洗的效果达到最佳，进而有效地减少缺陷的产生，提高产品的品质和良率。
[0056]综上所述，本实用新型提供一种角度调整装置，所述角度调整装置能够在每次更换喷嘴或需要对喷嘴喷射方向进行校准时，提供精确的校准，确保喷嘴方向的一致性，提高腔体内部气体分布的均匀度，提升清洗效果和沉积薄膜的表面均匀度，减少缺陷的产生，进而提尚广品的品质和良率。
[0057]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【主权项】
1.一种角度调整装置，适用于高密度等离子体沉积设备，所述高密度等离子体沉积设备包括静电卡盘、第一喷嘴和第二喷嘴，其特征在于，所述角度调整装置包括:定位底盘、角度仪和校准杆； 其中，所述定位底盘置于所述静电卡盘上，包括本体和支柱；所述支柱位于所述本体上表面的中心，且所述支柱的轴向中心线、所述本体的轴向中心线与所述静电卡盘的轴向中心线三者相重合； 所述角度仪的形状为碗形，所述角度仪的底部设有插入孔，所述角度仪通过所述插入孔套置于所述支柱上；所述角度仪的侧壁上设有若干个第一校准孔和若干个第二校准孔，且各个所述第一校准孔的中心线及各个所述第二校准孔的中心线均分别相交于所述支柱轴向中心线上的同一点； 所述校准杆包括第一校准杆和第二校准杆；所述第一校准杆适于插入所述第一校准孔，所述第二校准杆适于插入所述第二校准孔。
2.根据权利要求1所述的角度调整装置，其特征在于:所述本体的底部设有与所述静电卡盘外形相匹配的凹槽，适于将所述定位底盘套置于所述静电卡盘上。
3.根据权利要求2所述的角度调整装置，其特征在于:所述凹槽底部还设有一橡胶层。
4.根据权利要求1所述的角度调整装置，其特征在于:所述角度调整装置还包括若干个定位针，且所述本体上设有与所述定位针数量相同的定位孔，所述定位针通过所述定位孔将所述定位底盘固定在所述静电卡盘上。
5.根据权利要求1所述的角度调整装置，其特征在于:所述第一喷嘴的固定点位于与其相对应的所述第一校准孔的中心线上，所述第二喷嘴的固定点位于与其相对应的所述第二校准孔的中心线上。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的角度调整装置，其特征在于:所述第一校准孔与所述第二校准孔均在所述角度仪的侧壁上沿周向均匀分布。
7.根据权利要求6所述的角度调整装置，其特征在于:所述第一校准孔为45°校准孔，所述第二校准孔为60°校准孔。
8.根据权利要求7所述的角度调整装置，其特征在于:所述第一校准孔的数目与所述第一喷嘴的数目相同，所述第二校准孔的数目与所述第二喷嘴的数目相同。
9.根据权利要求8所述的角度调整装置，其特征在于:所述第一校准孔的数目为8个，所述第二校准孔的数目为2个。
【专利摘要】本实用新型提供一种角度调整装置，包括定位底盘、角度仪和校准杆。所述角度调整装置能够在每次更换喷嘴或需要对喷嘴喷射方向进行校准时，提供精确的校准，确保喷嘴方向的一致性，提高腔体内部气体分布的均匀度，提升清洗效果和沉积薄膜的表面均匀度，减少缺陷的产生，进而提高产品的品质和良率。
【IPC分类】C23C16-513
【公开号】CN204265846
【申请号】CN201420762248
【发明人】年福玉, 叶王清, 吴新江
【申请人】中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
【公开日】2015年4月15日
【申请日】2014年12月5日