一种双面抛光机的上盘万向调心加载机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及研磨/抛光机的结构领域，具体涉及一种双面抛光机的上盘万向调心加载机构。
【背景技术】
[0002]双面研磨抛光设备是通过上下两工面反向的绕中心作回转运动利用磨料介质对工件表面进行双面的磨削加工，压力控制方面，传统的均采用多段压力，压力段由用户自定义，但这样存在压力切换时产生冲击，从而产生工件受力的突变现象，另一方面，由于系统压力的不稳定，使加工工艺参数(压力、时间、速度以及研磨液粒度、浓度、流量)和加工效率有所改变。同时目前此类设备已趋向高效，高精密或超高精密方向发展，而设备上下工作面的贴合吻合度对加工产品品质影响很重要，若采用两工作面刚性直接接触贴合，其两工作面吻合度和平行度无法保证，且两工作面接触时易损裂加工工件，因此必须采用一种上盘具有自动调心带压力缓冲和压力反馈互补闭环控制功能的结构，以便保证两工作面的柔性接触，达到两工作面贴合吻合度、平行度和压力精确控制的目的。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于克服现有技术存在的问题，提供一种双面抛光机的上盘万向调心加载机构。以实现两工作面的柔性接触，做到两工作面贴合吻合度、平行度和压力精确控制。
[0004]为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现:
[0005]一种双面抛光机的上盘万向调心加载机构，包括作为正压和反压源的主气缸，所述主气缸通过气缸安装板与机架横梁固接，主气缸下方连接有副气缸，副气缸下端面固接有导向杆支板，所述副气缸的活塞杆通过拉力传感器连接下方的连接杆，所述连接杆上固定有关节轴承，所述关节轴承中贯穿有万向杆，所述万向杆与轴承座固接，所述轴承座外侧设有外支撑套，所述外支撑套与下方的承载盘固接，所述承载盘通过支杆与上方的支撑环固接，并且所述承载盘还通过支杆与下方的上盘固接。
[0006]进一步的，所述万向杆两端通过杆端套和杆端套定位。
[0007]进一步的，所述轴承座与外支撑套之间设有推力轴承和推力轴承。
[0008]进一步的，所述连接杆上方设有用于定位、限位的螺钉、螺母和胶垫。
[0009]进一步的，所述外支撑套上方设有调整螺母和螺母支架。
[0010]进一步的，所述外支撑套下方和调整螺母上方设有密封圈，用于隔液密封。
[0011]进一步的，所述外支撑套外圆侧面上设有旋转接套，用于进一步密封外支撑套以及保护水路进、出循环。
[0012]进一步的，所述轴承座下方设有挡圈，用于防止关节轴承与外界的接触。
[0013]进一步的，所述上盘上方设有用于与下盘结合时紧密定位的连接盘。
[0014]本实用新型的有益效果是:
[0015]本实用新型的上盘系统通过气缸施加的压力，连接杆与轴承座之间设有万向调心关节轴承，其可以自调心，可以承受径向负荷、轴向负荷或径向、轴向同时存在的联合负荷，从而很好的保证了上盘系统的调心和受力，保证了上盘工作面和下盘工作面柔性的完全贴合，防止两工作面的搓合，进而保证了加工零件的平面度等品质问题。承载盘通过支杆直接与上盘连接，为上盘水冷流液预留了安装空间，也避免采用两盘直接连接工作时，抛光液渗入两盘面之间滞留形成杂质，保护了较洁净的工作环境。同时主气缸下接有副气缸，进行压力的缓冲，保证了上盘与下盘结合时压力惯量的缓冲卸荷，进而保护了加工零件在两盘结合的瞬间不宜破裂。
【附图说明】
[0016]图1为本实用新型的结构示意图；
[0017]图2为图1中万向调心部分结构图。
[0018]图中标号说明:1、主气缸，2、气缸安装板，3、副气缸，4、导向杆支板，5、拉力传感器，6、螺钉，7、螺母，8、胶垫，9、外支撑套，10、连接杆，11、旋转接套，12、支撑环，13、支杆，14、承载盘，15、上盘，16、支杆，17、连接盘，18、轴承座，19、轴承，20、螺母支架，21、调整螺母，22、轴承，23、密封圈，24、杆端套，25、万向杆，26、轴承支撑座，27、关节轴承，28、轴承支撑座，29、挡圈，30、杆端套。
【具体实施方式】
[0019]下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本实用新型。
[0020]参照图1和图2所示，一种双面抛光机的上盘万向调心加载机构，包括作为正压和反压源的主气缸1，所述主气缸I通过气缸安装板2与机架横梁固接，主气缸I下方连接有副气缸3，有效的保证了上盘与下盘结合时压力惯量的缓冲卸荷，进而保护了加工零件在两盘结合的瞬间不宜破裂，副气缸下端面固接有导向杆支板4，所述副气缸3的活塞杆通过拉力传感器5连接下方的连接杆10，保证能时刻检测工件受力，且压力面板直观显示，并将信号反馈给控制单元构成压力的闭环控制，自动消除上盘系统压力不稳定现象，从而保证了在同样加工工艺参数的前提下，工作性能的稳定性，所述连接杆10上固定有关节轴承27，所述关节轴承27中贯穿有万向杆25，保证下降时的自动调心和受力，所述万向杆25与轴承座18固接，所述轴承座18外侧设有外支撑套9，所述外支撑套9与下方的承载盘14固接，所述承载盘14通过支杆13与上方的支撑环12固接，并且所述承载盘14还通过支杆16与下方的上盘15固接。
[0021]所述万向杆25两端通过杆端套24和杆端套30定位，在本实施例中，连接杆10和万向杆25之间还设有轴承支撑座26和轴承支撑座28，有效的对调心关节轴承27进行固定和定位。
[0022]所述轴承座18与外支撑套9之间设有推力轴承19和推力轴承22，保证上盘系统随下盘进行被动运作时的绕中心轴回转运动。
[0023]所述连接杆10上方设有用于定位、限位的螺钉6、螺母7和胶垫8。
[0024]所述外支撑套9上方设有调整螺母21和螺母支架20。
[0025]所述外支撑套9下方和调整螺母21上方设有密封圈23，用于隔液密封，保护轴承。
[0026]所述外支撑套9外圆侧面上设有旋转接套11，用于进一步密封外支撑套9以及保护水路进、出循环。
[0027]所述轴承座18下方设有挡圈29，用于保护关节轴承27防止与外界的接触，和与密封圈23形成双重防护，保证轴承的较好工作环境。
[0028]所述上盘15上方设有用于与下盘结合时紧密定位的连接盘17。
[0029]另外，在本实施例中，承载盘14与上盘15由六个支杆16固连，支撑环12与承载盘14由八个支杆13固连。
[0030]本实用新型上盘采用调心关节轴承具有自动调心功能的原理，通过上盘气缸压力作用使上盘系统向下运动，确保上盘工作面和下盘工作面自动柔性的完全贴合，同时调心关节轴承可以承受径向负荷、轴向负荷或径向、轴向同时存在的联合负荷，确保上盘系统工作使承受的各种变相载荷。且压力为闭环控制，自动消除上盘系统压力不稳定现象。同时设有副气缸，进行压力的缓冲，保护了加工零件在两盘结合的瞬间不宜破裂。
[0031]以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种双面抛光机的上盘万向调心加载机构，包括作为正压和反压源的主气缸(1)，其特征在于，所述主气缸(I)通过气缸安装板(2)与机架横梁固接，主气缸(I)下方连接有副气缸(3 )，副气缸下端面固接有导向杆支板(4)，所述副气缸(3 )的活塞杆通过拉力传感器(5)连接下方的连接杆(10)，所述连接杆(10)上固定有关节轴承(27)，所述关节轴承(27)中贯穿有万向杆(25)，所述万向杆(25)与轴承座(18)固接，所述轴承座(18)外侧设有外支持套(9)，所述外支撑套(9)与下方的承载盘(14)固接，所述承载盘(14)通过支杆(13)与上方的支撑环(12)固接，并且所述承载盘(14)还通过支杆(16)与下方的上盘(15)固接。
2.根据权利要求1所述的双面抛光机的上盘万向调心加载机构，其特征在于，所述万向杆(25)两端通过杆端套(24)和杆端套(30)定位。
3.根据权利要求1所述的双面抛光机的上盘万向调心加载机构，其特征在于，所述轴承座(18)与外支撑套(9)之间设有推力轴承(19)和推力轴承(22)。
4.根据权利要求1所述的双面抛光机的上盘万向调心加载机构，其特征在于，所述连接杆(10 )上方设有用于定位、限位的螺钉(6 )、螺母(7 )和胶垫(8 )。
5.根据权利要求1所述的双面抛光机的上盘万向调心加载机构，其特征在于，所述外支撑套(9 )上方设有调整螺母(21)和螺母支架(20 )。
6.根据权利要求5所述的双面抛光机的上盘万向调心加载机构，其特征在于，所述外支撑套(9)下方和调整螺母(21)上方设有密封圈(23)，用于隔液密封。
7.根据权利要求6所述的双面抛光机的上盘万向调心加载机构，其特征在于，所述外支撑套(9 )外圆侧面上设有旋转接套(11)，用于进一步密封外支撑套(9 )以及保护水路进、出循环。
8.根据权利要求1所述的双面抛光机的上盘万向调心加载机构，其特征在于，所述轴承座(18)下方设有挡圈(29)，用于防止关节轴承(27)与外界的接触。
9.根据权利要求1所述的双面抛光机的上盘万向调心加载机构，其特征在于，所述上盘(15)上方设有用于与下盘结合时紧密定位的连接盘(17)。
【专利摘要】本实用新型是一种双面抛光机的上盘万向调心加载机构，包括作为正压和反压源的主气缸，所述主气缸通过气缸安装板与机架横梁固接，主气缸下方连接有副气缸，副气缸下端面固接有导向杆支板，所述副气缸的活塞杆通过拉力传感器连接下方的连接杆，所述连接杆上固定有关节轴承，所述关节轴承中贯穿有万向杆，所述万向杆与轴承座固接，所述轴承座外侧设有外支撑套，所述外支撑套与下方的承载盘固接，所述承载盘通过支杆与上方的支撑环固接，并且所述承载盘还通过支杆与下方的上盘固接。本实用新型的调心加载机构实现两工作面的柔性接触，做到两工作面贴合吻合度、平行度和压力精确控制。
【IPC分类】B24B55-00
【公开号】CN204565906
【申请号】CN201520176385
【发明人】金万斌, 李方俊, 王正东
【申请人】苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2015年3月27日