一种硅锭研磨装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种研磨装置，具体涉及一种硅锭研磨装置，属于机械技术领域。
【背景技术】
[0002]目前在半导体镀膜、太阳能镀膜生产中，会用到大量的多晶硅靶材，多晶硅靶材主要由多晶硅片拼接绑定而成。多晶硅片一般由提拉硅或压铸硅来加工，提拉硅或压铸硅原料一般会加工成方形的的锭状，但由开方机切出来的锭状表面粗糙度达不到产品的要求，需要通过研磨后获得。目前的方法多采用铣磨机或加工中心类似的设备安装金刚石砂轮进行铣磨，这种方法均要通过相应的工装进行装夹后才能进行，同时还要有专用的冷却液进行冷却加工。这种方法设备投资小，效率高，成本低。
[0003]在公告号为CN201998067U的中国专利文献中提出了一种单晶硅片研磨机的研磨盘，如图1所不，该研磨盘包括包括基盘6，基盘6与动力输出设备9相连接，基盘6的下方设置有球墨铸铁研磨层7，整个研磨盘的下面是与之相适配的底盘8，单晶硅片就放在底盘8上，动力输出设备9驱动整个研磨盘转动，研磨单晶硅片。该技术方案虽然会使得研磨精度高，不造成原料浪费。但是该技术方案将磨盘置于硅片的上方研磨，因磨盘体积大且沉，会占据大量空间，在研磨过程中将产生很大的振动和噪声，同时容易造成支撑支架的损坏，影响设备的使用。
【实用新型内容】
[0004]为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种硅锭研磨装置，该硅锭研磨装置能够节省设备占用的空间和材料损耗，并且能够减少在研磨过程中产生的振动和噪声，操作简单，研磨效果好。
[0005]本实用新型的技术方案如下:
[0006]—种硅锭研磨装置，包括重力调节装置、硅锭固定装置、导轮架和研磨盘构成；所述重力调节装置设置于硅锭固定装置的上方，所述导轮架设置于硅锭固定装置的边缘位置，所述研磨盘设置于硅锭固定装置的下方。
[0007]其中，所述重力调节装置为一压块。
[0008]其中，所述硅锭固定装置为一圆形底板，所述硅锭固定装置中部设置有一方形通孔，所述方形通孔的四周分别设置有挡板，所述硅锭固定装置上表面上设置有螺孔，所述挡板为立式L型板，在其水平面上设置有一第一腰形孔，螺钉穿过所述螺孔和第一腰形孔以固定住挡板，从而将硅锭固定在硅锭固定装置的中间位置。
[0009]其中，所述导轮架包括固定板和两导轮，所述固定板为一直角三角形板，所述直角三角形板的斜边为内凹弧形边，所述两个导轮轴向分别固定在弧形边两端，在所述固定板上靠近直角的位置设置有一第二腰形孔，所述固定板可通过第二腰形孔调节与硅锭固定装置间距离。
[0010]其中，所述导轮架的数量为三个。
[0011]其中，所述研磨盘为一圆形磨盘，所述研磨盘上设置有纵横交错的槽。
[0012]本实用新型具有如下有益效果:
[0013]1、本实用新型成本低、安装简便、使用简单、易操作；
[0014]2、本实用新型的导轮架可以根据需要在研磨盘圆周上设置若干个，能够更好地起到固定效果，以至于研磨时不会承受过大的磨削力而导致硅锭表面破碎；
[0015]3、本实用新型当需要增加研磨速度时，可通过重力调节装置在硅锭上调节来实现，从而使硅锭和研磨盘达到最佳贴合状态，提高研磨效率；
[0016]4、本实用新型研磨盘设置在下方，能够节省设备占用的空间和材料损耗，并且能够减少在研磨过程中产生的振动和噪声，提高研磨质量。
【附图说明】
[0017]图1为现有技术一种单晶硅片研磨机的研磨盘的结构示意图；
[0018]图2是本实用新型娃锭研磨装置的整体结构示意图；
[0019]图3是本实用新型硅锭研磨装置的硅锭固定装置结构示意图；
[0020]图4是本实用新型娃锭研磨装置的导轮架结构示意图。
[0021]图中附图标记表示为:
[0022]1-重力调节装置、2-硅锭、3-硅锭固定装置、31-方形通孔、32-挡板、321-第一腰形孔、4-导轮架、41-固定板、42-导轮、43-第二腰形孔、5-研磨盘、6-基盘、7-球墨铸铁研磨层、8-底盘、9-动力输出设备。
具体实施例
[0023]下面结合附图和具体实施例来对本实用新型进行详细的说明。
[0024]参见图1、图2、图3，一种硅锭研磨装置，包括重力调节装置1、硅锭固定装置3、导轮架4和研磨盘5构成;所述重力调节装置I设置于硅锭固定装置3的上方，所述导轮架4设置于硅锭固定装置3的边缘位置，所述研磨盘5设置于硅锭固定装置3的下方。
[0025]所述重力调节装置I为一压块;所述硅锭固定装置3为一圆形底板，所述硅锭固定装置3中部设置有一方形通孔31，所述方形通孔31的四周分别设置有挡板32，所述硅锭固定装置3上表面上设置有螺孔，所述挡板32为立式L型板，在其水平面上设置有一第一腰形孔321，当不同规格的硅锭2放入方形通孔31时，可通过调节挡板32，使用螺钉穿过所述螺孔和第一腰形孔321以固定住挡板32，从而将硅锭2固定在硅锭固定装置3的中间位置，再向硅锭2上方放置所述压块;所述导轮架4包括固定板41和两导轮42，所述固定板41为一直角三角形板，所述直角三角形板的斜边为内凹弧形边，所述两个导轮42轴向分别固定在弧形边两端，在所述固定板41上靠近直角的位置设置有一第二腰形孔43，所述固定板41可通过第二腰形孔43调节与硅锭固定装置3间距离，所述导轮架4的数量优选为三个;所述研磨盘5为一圆形磨盘，所述研磨盘5上设置有纵横交错的槽。
[0026]本实用新型的工作原理:当研磨盘5按一个方向转动后，会带动娃锭固定装置3—起转，硅锭固定装置3在遇到导轮架4的导轮42后会固定在两导轮42之间，同时由于离心力的作用，硅锭固定装置3会通过导轮42转动起来。硅锭2被固定在硅锭固定装置3中间并随硅锭固定装置3—起转动，从而实现研磨。
[0027]以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种硅锭研磨装置，其特征在于:包括重力调节装置(1)、硅锭固定装置(3)、导轮架(4)和研磨盘(5)构成;所述重力调节装置(I)设置于硅锭固定装置(3)的上方，所述导轮架(4)设置于硅锭固定装置(3)的边缘位置，所述研磨盘(5)设置于硅锭固定装置(3)的下方。2.根据权利要求1所述的一种硅锭研磨装置，其特征在于:所述重力调节装置(I)为一压块。3.根据权利要求1所述的一种硅锭研磨装置，其特征在于:所述硅锭固定装置(3)为一圆形底板，所述硅锭固定装置(3)中部设置有一方形通孔(31)，所述方形通孔(31)的四周分别设置有挡板(32)，所述硅锭固定装置(3)上表面上设置有螺孔，所述挡板(32)为立式L型板，在其水平面上设置有一第一腰形孔(321)，螺钉穿过所述螺孔和第一腰形孔(321)以固定住挡板(32)，从而将硅锭(2)固定在硅锭固定装置(3)的中间位置。4.根据权利要求1所述的一种硅锭研磨装置，其特征在于:所述导轮架(4)包括固定板(41)和两导轮(42)，所述固定板(41)为一直角三角形板，所述直角三角形板的斜边为内凹弧形边，所述两个导轮(42)轴向分别固定在弧形边两端，在所述固定板(41)上靠近直角的位置设置有一第二腰形孔(43)，所述固定板(41)可通过第二腰形孔(43)调节与硅锭固定装置(3)间距离。5.根据权利要求4所述的一种硅锭研磨装置，其特征在于:所述导轮架(4)的数量为三个。6.根据权利要求1所述的一种硅锭研磨装置，其特征在于:所述研磨盘(5)为一圆形磨盘，所述研磨盘(5)上设置有纵横交错的槽。
【专利摘要】本实用新型涉及一种研磨装置，具体涉及一种硅锭研磨装置，属于机械技术领域。一种硅锭研磨装置，包括重力调节装置、硅锭固定装置、导轮架和研磨盘构成；所述重力调节装置设置于硅锭固定装置的上方，所述导轮架设置于硅锭固定装置的边缘位置，所述研磨盘设置于硅锭固定装置的下方。该硅锭研磨装置能够节省设备占用的空间和材料损耗，并且能够减少在研磨过程中产生的振动和噪声，操作简单，研磨效果好。
【IPC分类】B24B37/34, B24B37/10, B24B37/30, B24B37/32
【公开号】CN205271692
【申请号】CN201521124662
【发明人】陈钦忠, 邓全清
【申请人】福建阿石创新材料股份有限公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2015年12月31日