专利名称：一种生产多晶硅的还原炉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及生产多晶硅的还原炉。
技术背景生产多晶硅是一个高耗能的行业，其中用于生产多晶硅的还原炉是耗能的关键环节。还原炉的能耗主要体现在炉内热量的损失。还原炉的炉壁一般为水夹套或油夹套结构，炉壁损失掉炉内很大一部分热量。在运行或停炉过程中，经常发生的硅棒倒棒会冲击炉体，缩短还原炉使用寿命。在生产中还会在炉体内壁产生无用的物质或污垢，需要经常清理，费时费力。清洗还原炉经常会用到一些化学液体，对炉体内壁有一定腐蚀作用，又降低了还原炉的使用寿命。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种能耗低、使用寿命长，内壁清洁的生产多晶硅的还原炉。本实用新型生产多晶硅的还原炉，炉体包括炉筒、底盘，底盘上具有电极，所述炉筒内壁上固定有阻辐射抗力冲击屏，所述的屏与炉筒内壁间具有间隙。所述底盘上固定有阻辐射抗力冲击屏，所述的屏与所述底盘间具有间隙。所述的屏分块固定在炉筒 内壁或底盘上。所述的炉筒设有氢气注入孔。所述的氢气注入孔设在炉筒的下部。所述的屏材质为氮化硅或碳化硅。所述的屏通过螺栓固定在炉筒内壁或底盘上。所述螺栓材质为钥。螺栓外端面相对于阻辐射抗力冲击屏的表面呈嵌入式。本实用新型在炉筒和底盘上设了阻辐射抗力冲击屏，所述的屏为分块布置，屏与炉筒内壁间具有间隙，屏的材质选用了耐高温、耐腐蚀、抗强力冲击的材料氮化硅或碳化硅，阻辐射抗力冲击屏阻止了热量向炉筒壁的辐射，避免了通过水夹套或油夹套炉筒散失的大量热量，达到了节能降耗的目的。硅棒倒棒时阻辐射抗力冲击屏承接了硅棒的冲击，避免了对炉筒的损坏，延长了还原炉使用寿命。阻辐射抗力冲击屏分块安装，可以随时更换损坏的屏，节约了成本，经济方便。运行中阻辐射抗力冲击屏处于相对高温状态，不会在屏的表面产生污垢和废物，而会形成一层多晶硅膜，大大降低了还原炉的清洁次数，减轻劳动强度，提高生产效率。炉筒设有氢气注入孔，由此持续注入高纯度氢气，氢气在炉筒内壁与阻辐射抗力冲击屏之间缓慢流动，阻止炉内反应气体接触炉筒内壁与阻辐射抗力冲击屏的背侦牝更好地避免了产生污垢与废物，进一步保证了还原炉的清洁。钥螺栓抗高温、抗腐蚀，在炉内环境中起到很好的连接固定作用。螺栓外端面相对于屏的表面呈嵌入式，使得螺栓端面相对于屏表面呈现为一个凹坑，降低了螺栓端面产生多晶硅膜的机率，使得拆取螺栓比较方便。本实用新型结构简单，大大降低生产多晶硅的能耗，炉体使用寿命长，不需要经常清洗炉壁，工作效率高，运行成本低。
图1为本实用新型结构示意图。图2为阻辐射抗力冲击屏与炉筒通过螺栓固定的结构示意图。图3为本实用新型炉顶结构示意图。图4为本实用新型底盘结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步说明。图中1-炉筒，2-底盘，3-阻辐射抗力冲击屏，4-螺栓，5-氢气注入孔。如图1、图3、图4所示，阻辐射抗力冲击屏3通过螺栓4固定在包括炉顶的炉筒I及底盘2上，阻辐射抗力冲击屏3与炉筒及底盘问具有一定的间隙，如图2所示。如图1所示，炉筒下部设有氢气注入孔5，注入的氢气在阻辐射抗力冲击屏3与炉筒或底盘的间隙中缓慢流动。阻辐射抗力冲击屏3为分块结构便于更换损坏的屏。阻辐射抗力冲击屏3材质选用抗高温、抗腐蚀、抗强力冲击的材料，如采用氮化硅或碳化硅等。螺栓采用钥质螺栓是优选方案。如图2所示，钥螺栓把阻辐射抗力冲击屏3与炉筒或底盘固定好后，钥螺栓的外端面较阻辐射抗力冲击屏3的表面呈嵌入式。
权利要求1.一种生产多晶硅的还原炉，炉体包括炉筒、底盘，底盘上具有电极，其特征在于所述炉筒内壁上固定有阻辐射抗力冲击屏，所述的屏与炉筒内壁间具有间隙。
2.如权利要求1所述的生产多晶硅的还原炉，其特征在于所述底盘上固定有阻辐射抗力冲击屏，所述的屏与所述底盘间具有间隙。
3.如权利要求1或2所述的生产多晶硅的还原炉，其特征在于所述的屏分块固定在炉筒内壁或底盘上。
4.如权利要求3所述的生产多晶硅的还原炉，其特征在于所述的炉筒设有氢气注入孔。
5.如权利要求4所述的生产多晶硅的还原炉，其特征在于所述的氢气注入孔设在炉筒的下部。
6.如权利要求3所述的生产多晶硅的还原炉，其特征在于所述的屏材质为氮化硅或碳化娃。
7.如权利要求3所述的生产多晶硅的还原炉，其特征在于所述的屏通过螺栓固定在炉筒内壁或底盘上。
8.如权利要求7所述的生产多晶硅的还原炉，其特征在于所述螺栓材质为钥。
9.如权利要求7所述的生产多晶硅的还原炉，其特征在于所述螺栓外端面相对于阻辐射抗力冲击屏的表面呈嵌入式。
专利摘要本实用新型公开了一种生产多晶硅的还原炉，炉体包括炉筒、底盘，底盘上具有电极，炉筒内壁和或底盘上固定有阻辐射抗力冲击屏，屏与炉筒内壁间具有间隙，屏分块固定在炉筒内壁或底盘上，炉筒设有氢气注入孔，屏材质为氮化硅或碳化硅，屏通过钼螺栓固定在炉筒内壁或底盘上。本实用新型阻辐射抗力冲击屏阻止了热量向炉筒壁的辐射，减少了热量损失，避免硅棒倒棒对炉筒的损坏，并能随时更换损坏的屏。本实用新型结构简单，大大降低生产多晶硅的能耗，炉体使用寿命长，不需要经常清洗炉壁，工作效率高，运行成本低。
文档编号C01B33/035GK202864932SQ201220637109
公开日2013年4月10日 申请日期2012年11月4日 优先权日2012年11月4日
发明者张海锋 申请人:张海锋