技术总结
本发明涉及半导体制造领域，旨在提供一种具有双电源加热的区熔炉热场及保温方法。该区熔炉热场包括主加热线圈和辅助加热器，辅助加热器的外形呈上下方向往复弯折的波浪状且在水平方向上围绕成圆环状，其两个端部设接口并通过电缆与辅助加热电源相连。辅助加热电源通过信号线依次连接数据分析模块和红外测温仪。本发明可解决6.5英寸以上的区熔硅单晶生长中面临的因热场分布不合理、热应力过大造成的单晶棒开裂问题，也可改善3‑6英寸区熔硅单晶生长的热场分布。
技术研发人员：曹建伟;欧阳鹏根;王丹涛;傅林坚;陈明杰;石刚;邱敏秀
受保护的技术使用者：浙江晶盛机电股份有限公司
文档号码：201310176107
技术研发日：2013.05.11
技术公布日：2016.12.28