技术总结
本发明公开了一种激光准同步扫描方法，包括：步骤1：初始化激光准同步装置，并设定工艺参数，该工艺参数包括封装温度、扫描圈数、激光扫描速度、扫描轨迹、封装功率和延迟参数；步骤2：将激光准同步装置的扫描振镜移动至玻璃基板的一个封装单元中心位置；步骤3：运行扫描振镜，接着，启动激光器和高温计；步骤4：对玻璃基板的封装单元进行多圈扫描封装，直至扫描圈数达到预设值，关闭激光器和高温计；步骤5：扫描振镜移动至玻璃基板的下一个封装单元中心位置，重复步骤3-4。本发明通过多圈扫描封装，可以提高玻璃基板的封装均匀性。
技术研发人员：戈亚萍;蓝科
受保护的技术使用者：上海微电子装备有限公司
文档号码：201510279970
技术研发日：2015.05.24
技术公布日：2017.01.04