一种乙硅烷的制造方法与流程

技术总结
本发明揭示了一种乙硅烷的制造方法，其特征在于，以硅化镁与氯化氨为原料进行反应，在液氨及催化剂存在下生成乙硅烷气体，反应温度为‑10℃‑‑50℃，反应压力为0.2‑1MPa，所述硅化镁与氯化氨的摩尔比为1:2‑5，所述催化剂为锌的配合物；反应产物经过纯化装置进行提纯，所述纯化装置内设置铜系催化剂。

技术研发人员：黄晓东
受保护的技术使用者：浙江迅鼎半导体材料科技有限公司
文档号码：201610621565
技术研发日：2016.08.02
技术公布日：2016.12.07