技术总结
本发明公开了一种可有效防止炉内污染的提拉法晶体生长炉，包括炉架和炉体，所述炉体上设置测温装置，所述炉体底部密封设置炉体座，炉体座固定设置于炉架上，所述炉体座上设置有熔融锅支撑杆，熔融锅支撑杆上设置熔融锅；所述炉体顶部密封设置的炉体盖上，设置有与熔融锅支撑杆相对且同轴的提晶杆，所述提晶杆下端设置籽晶夹持装置；炉体外部对应于熔融锅区域设置加热炉套，加热炉套上方设置保温套，保温套外部设置绝热套。本发明通过外移加热与控温组件、水冷炉体部件，大大降低了高温下炉体内挥发物产生而导致的炉内污染问题，有利于改善并掌控炉内长晶工况环境，提高并稳定晶体品质。
技术研发人员：李照存
受保护的技术使用者：昆明沃特尔机电设备有限公司
文档号码：201611210632
技术研发日：2016.12.24
技术公布日：2017.05.31