一种多晶硅铸锭炉的制作方法

文档序号:11975060阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多晶硅铸锭炉,所述铸锭炉内设置有坩埚、护板、底板、盖板,坩埚放置在底板上,护板设置在坩埚外侧,盖板设置在坩埚上方;所述铸锭炉内还包括进气结构,其特征在于:所述的进气结构设置在坩埚侧壁,包括进气管以及将从进气管进来的气体进行分流的分流组件,所述的分流组件与所述进气管垂直连接。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述的分流组件包括一个与所述进气管呈丁字连接的容纳气体的空腔和一个进气通道。

3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述的进气通道为口径小于所述进气管口径并与所述空腔垂直连接的分支进气管。

4.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述的分支进气管的数量为2-6个。

5.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述的进气通道为设置在所述空腔上的横截面小于所述进气管口径的凹槽。

6.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述的进气通道为设置在所述空腔上的孔径小于所述进气管口径的小孔。

7.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述进气通道一侧及相对一侧的所述护板设有开口,所述开口呈凹形。

8.根据权利要求7所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述护板开口顶端低于所述坩埚侧壁顶端的距离为2厘米以上。

9.根据权利要求7所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述护板开口顶端低于所述坩埚侧壁顶端的距离为3-8厘米。

10.根据权利要求1-9任意一项权利要求所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述铸锭炉内还设置有出气通道,所述出气通道设置在与所述进气通道相对一侧的所述护板开口处。

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