一种多晶硅铸锭炉的制作方法

文档序号:11975060阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉,该铸锭炉包括一个进气结构,该进气结构设置在坩埚的侧壁,包括进气管以及将从进气管进来的气体进行分流的分流组件,分流组件与进气管垂直连接,分流组件包括一个与进气管呈丁字连接的容纳气体的空腔和一个进气通道。通过该进气结构,不仅可以避免坩埚外部的杂质进入硅熔体,还能将硅熔体中产生的杂质带出炉体。另外,分流组件能够将气流分散,从而可以减弱气流对硅熔体表面的冲击,分散的气流不容易在铸锭炉内形成循环气流,因此还能够减少气体在坩埚、护板及盖板组成的空间中的停留时间,避免携带碳杂质的气体流经硅液表面时被吸附,降低硅锭中的碳含量。

技术研发人员:何亮;李松林;雷琦;胡动力
受保护的技术使用者:江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
文档号码:201620423065
技术研发日:2016.05.11
技术公布日:2016.12.07

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