一种多晶硅铸锭炉加热器的制作方法

文档序号:11975063阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多晶硅铸锭炉加热器,包括顶加热器和位于所述顶加热器四周的下部的侧加热器,所述顶加热器利用至少二个吊装板与所述侧加热器连接,其特征在于,所述侧加热器包括四个形状相同且对称的首尾相接的加热器单体,每个所述加热器单体包括至少二个互连的U型加热部,且所述U型加热部的位于两侧的一边与相邻的另一个加热器单体的U型加热部的一边无缝连接。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉加热器,其特征在于,所述加热器单体具有预设纵向高度,所述预设纵向高度与多晶硅铸锭的高度相同。

3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭炉加热器,其特征在于,所述加热器单体的高度为350毫米至380毫米。

4.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉加热器,其特征在于,所述加热器单体包括三个所述U型加热部,且位于两侧的所述U型加热部的边均为平直形状。

5.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉加热器,其特征在于,相邻的所述加热器单体之间利用螺杆和螺母进行可拆卸式的连接。

6.根据权利要求1-5任一项所述的多晶硅铸锭炉加热器,其特征在于,所述加热器单体的厚度范围为20毫米至39毫米。

7.根据权利要求6所述的多晶硅铸锭炉加热器,其特征在于,所述加热器单体的长度范围为1024毫米至1062毫米。

8.根据权利要求7所述的多晶硅铸锭炉加热器,其特征在于,所述顶加热器利用三个吊装板与所述侧加热器连接。

9.根据权利要求8所述的多晶硅铸锭炉加热器,其特征在于,所述加热器单体为高纯等静压石墨加热器单体。

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