一种可调式石墨坩埚的制作方法

本实用新型涉及一种坩埚，尤其是一种可调式石墨坩埚。

背景技术：

石墨坩埚应用在多晶硅定向凝固设备的热场中，对圆形石英坩埚进行支撑防护。石墨坩埚的作用是支撑石英坩埚在高温软化时变形量不超过设定值。由于圆形石英坩埚成型时有拔模斜度，导致石英坩埚开口直径大，底部直径小，如果使用直筒型的石墨坩埚，则石英坩埚底部不能得到石墨坩埚的有效支撑。

目前，多晶硅行业定向凝固中主要采用两种石墨坩埚。第一种是采用整体石墨环式坩埚，此类石墨坩埚的不足之处是：(1)安装不方便；(2)使用成本较高；(3)环状石墨在感应炉内会受到电磁场的感应，感应生热，使热场发生较大变化。第二种是采用分瓣石墨板式坩埚，此类石墨坩埚的不足之处是：(1)石墨护板之间有缝隙，相邻护板无法相互支撑，坩埚破裂时会发生危险；(2)安装不方便，石墨护板之间有间隙要求，调整不方便；(3)分瓣式石墨坩埚在感应炉内也会受到电磁场的感应，相邻护板间产生电火花，对石英坩埚有一定危害。上述两种石墨坩埚存在的共性不足之处是：石墨坩埚与石英坩埚之间存在间隙，无法紧密贴合对石英坩埚进行有效支撑。

技术实现要素：

本实用新型旨在提供一种可调式石墨坩埚，它有效解决了整体式石墨坩埚受感应发热的问题、不方便拆卸的问题及分瓣式石墨坩埚护板存在的相邻护板无法相互支撑、护板间隙不方便调整、易产生电火花的问题，以及石墨坩埚与石英坩埚之间存在间隙，无法紧密贴合对石英坩埚进行有效支撑的问题，其采用的技术方案如下：

一种可调式石墨坩埚，其特征在于，包括：环形石墨卡箍、筒体和石墨底板，所述石墨底板的顶面开设有环形卡槽，所述筒体为中空的顶部直径大底部直径小的圆台形，所述筒体由若干块石墨护板依次拼合组成，所述石墨护板底部放置于环形卡槽中，所述筒体的内壁面与具有拔模斜度的石英坩埚的外壁面紧密贴合，所述石墨卡箍箍于筒体顶部。

圆台的定义为：用一个平行于圆锥底面的平面去截圆锥，底面与截面之间的部分叫做圆台或以直角梯形垂直于底边的腰所在直线为旋转轴，其余各边旋转而形成的曲面所围成的几何体叫做圆台。

在上述技术方案基础上，相邻石墨护板之间紧密贴合。

本实用新型具有如下优点：有效解决了整体式石墨坩埚受感应发热的问题、不方便拆卸的问题及分瓣式石墨坩埚护板存在的相邻护板无法相互支撑、护板间隙不方便调整、易产生电火花的问题，以及石墨坩埚与石英坩埚之间存在间隙，无法紧密贴合对石英坩埚进行有效支撑的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。

图1是本实用新型的立体结构示意图。

图2是本实用新型的剖面结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实例对本实用新型作进一步说明：

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

如图1和图2所示，一种可调式石墨坩埚，其特征在于，包括：环形石墨卡箍1、筒体2和石墨底板3，所述石墨底板3的顶面开设有环形卡槽30，所述筒体2为中空的顶部直径大底部直径小的圆台形，所述筒体2由若干块石墨护板20依次拼合组成，所述石墨护板20底部放置于环形卡槽30中，所述筒体2的内壁面与具有拔模斜度的石英坩埚4的外壁面紧密贴合，所述石墨卡箍1箍于筒体2顶部。

在上述技术方案基础上，优选相邻石墨护板20之间紧密贴合。

所述石墨护板20可为四块。

使用时组装顺序为：将石英坩埚放置在石墨底板上，然后将石墨护板围绕石英坩埚并安装在石墨底板的卡槽里，再将石墨卡箍安装到石墨护板上，将所有的石墨护板固定，组装完成。

石墨坩埚组装好后，将需要熔炼的多晶硅块料放入石英坩埚内，整体置入定向提纯炉内，开始熔炼。

上面以举例方式对本实用新型进行了说明，但本实用新型不限于上述具体实施例，凡基于本实用新型所做的任何改动或变型均属于本实用新型要求保护的范围。

需要指出的是，权利要求书中记载的附图符号单纯用于辅助实用新型的理解，不对权利范围的解释产生影响，不得根据记载的附图符号缩窄解释权利范围。