蒸镀用坩埚的制作方法

本发明涉及显示技术领域，具体地，涉及一种蒸镀用坩埚。

背景技术：

采用蒸镀方法制作OLED产品是目前的主流方式。为了实现量产，提高生产效率，就需要增大坩埚的体积，但是这会存在以下问题：在使用蒸镀设备加热蒸镀材料的过程中，当蒸镀材料是升华型材料时，由于升华型材料的导热性不好，往往会造成坩埚内不同位置处的蒸镀材料使用量不同，或者蒸镀材料的密度分布不均匀，从而造成坩埚内蒸镀材料的蒸发速率失控。

如图1所示，为在加热前，坩埚内蒸镀材料的剖视图。此时坩埚内不同位置处的蒸镀材料基本呈均匀分布，即，蒸镀材料的表面平整，且密度分布均匀。当开始加热之后，坩埚内的蒸镀材料开始不断的挥发，由于升华型材料的导热性不好，材料挥发不均匀，容易出现如图2和图3中所示的现象：靠近坩埚内壁的材料的蒸发速率较快，而中间的材料的蒸发速率较慢，从而导致造成坩埚的蒸发速率失控。或者，蒸镀材料的密度分布不均匀，其内部出现裂纹的现象。

技术实现要素：

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种蒸镀用坩埚，其可以避免蒸镀材料的蒸发速率失控，从而可以提高工艺的稳定性。

为实现本发明的目的而提供一种蒸镀用坩埚，包括加热腔和设置在所述加热腔顶部的顶盖，还包括材料清理装置，所述材料清理装置可升降的设置在所述加热腔内的顶部，且能够通过下落压实所述加热腔内的蒸镀材料。

可选的，所述材料清理装置包括：

压实部件，用于压实所述加热腔内的蒸镀材料；

升降机构，用于驱动所述压实部件上升或者下降。

优选的，所述压实部件的外周壁与所述加热腔的内周壁可滑动的配合。

优选的，分别对应地在所述压实部件的外周壁与所述加热腔的内周壁上设置有凹槽和滑块，其中，

所述凹槽沿竖直方向设置；

所述滑块位于所述凹槽内，且在所述压实部件上升或者下降时，沿所述凹槽滑动。

优选的，所述凹槽的开口宽度小于所述凹槽的底面宽度；

所述滑块的横截面形状与所述凹槽的横截面形状相对应。

优选的，在所述顶盖上设置有第一材料发射孔，在所述压实部件上设置有第二材料发射孔，所述第一材料发射孔和所述第二材料发射孔的直径相同，且同轴设置，用以排出所述加热腔内的气体。

优选的，所述升降机构包括：

牵引马达，设置在所述加热腔的外部；

牵引线，所述牵引线的一端与所述牵引马达连接，所述牵引线的另一端竖直贯穿所述顶盖，并与所述压实部件连接。

优选的，所述升降机构还包括滑轮，所述滑轮设置在所述顶盖的顶部，所述牵引线伸出所述顶盖的部分绕过所述滑轮，且沿水平方向或者倾斜向上或者倾斜向下延伸，并与所述牵引马达连接。

优选的，所述升降机构包括至少两套，所述至少两套升降机构相对于所述顶盖竖直方向上的中心轴对称分布。

优选的，所述压实部件所采用的材料包括陶瓷或金属。

优选的，当所述压实部件位于所述加热腔内的顶部时，所述压实部件的顶部高度比所述加热腔的顶部高度低第一预设距离；所述第一预设距离是所述加热腔竖直方向上的总长度的十分之一；

所述压实部件的底部高度比所述加热腔的底部高度高第二预设距离；所述第二预设距离是所述加热腔竖直方向上的总长度的二十分之一。

优选的，还包括：

上加热丝，环绕设置在所述加热腔的周围，且位于所述加热腔顶部，用以加热所述加热腔内、所述材料清理装置所在区域；

下加热丝，环绕设置在所述加热腔的周围，且位于所述加热腔的底部，用以加热所述加热腔内、所述蒸镀材料所在区域。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供的蒸镀用坩埚，其通过在其加热腔内的顶部设置材料清理装置，该材料清理装置是可升降的，且能够通过下落压实加热腔内的蒸镀材料，从而可以使坩埚内蒸镀材料的表面平整，且在不同位置处的密度分布均匀，进而可以避免蒸镀材料的蒸发速率失控，提高工艺的稳定性。

附图说明

图1为加热前坩埚内蒸镀材料的示意图；

图2为蒸镀材料蒸镀速率不均的示意图；

图3为蒸镀材料密度分布不均的示意图；

图4A为本发明第一实施例提供的蒸镀用坩埚的剖视图；

图4B为图4A中沿A-A线的剖视图；

图5为本发明第一实施例提供的蒸镀用坩埚在材料清洗装置工作时的剖视图；以及

图6为本发明第二实施例提供的蒸镀用坩埚的剖视图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的蒸镀用坩埚进行详细描述。

图4A为本发明第一实施例提供的蒸镀用坩埚的剖视图。图4B为图4A中沿A-A线的剖视图。图5为本发明第一实施例提供的蒸镀用坩埚在材料清洗装置工作时的剖视图。请一并参阅图4A、图4B和图5，蒸镀用坩埚包括加热腔10、设置在该加热腔10顶部的顶盖11以及材料清理装置。其中，加热腔10用于对盛放在其内部的蒸镀材料进行加热。加热腔10和顶盖11密封连接，以使加热腔10的内部能够形成真空环境。

材料清理装置可升降的设置在加热腔10内的顶部，且能够通过下落压实加热腔10内的蒸镀材料。所谓压实，是指材料清理装置通过自身的重力作用或者加速度作用，下落至蒸镀材料上，以向该蒸镀材料施加向下的压力，该压力能够使该蒸镀材料的表面平整，且在不同位置处的密度分布均匀。

材料清理装置包括压实部件12和升降机构。其中，压实部件12用于压实加热腔10内的蒸镀材料，其可以采用诸如陶瓷或金属等的耐高温材料制作。升降机构用于驱动压实部件12上升或者下降。在对蒸镀材料进行加热时，可以通过升降机构驱动压实部件12上升至图4A中的位置，即，加热腔10内的顶部。在需要对蒸镀材料进行清理时，例如在加热过程中若发现加热腔10内的温度出现波动，则可以暂停加热，并通过升降机构驱动压实部件12下落至图5中的位置，即，下落至蒸镀材料上，从而实现对蒸镀材料的清理。

具体地，在本实施例中，加热腔10为圆柱形环体，与之相对应的，压实部件12为圆柱体，并且加热腔10的内径与压实部件12的外径相适配，以实现压实部件12的外周壁与加热腔10的内周壁能够可滑动的配合，从而在压实部件12下落至蒸镀材料上时，压实部件12的下表面能够完全覆盖蒸镀材料的上表面，从而可以均匀地压实蒸镀材料。当然，在实际应用中，加热腔10和压实不仅12还可以采用其他任意结构，只要能够实现压实部件12的外周壁与加热腔10的内周壁可滑动的配合即可。

优选的，如图4B所示，分别对应地在压实部件12的外周壁与加热腔10的内周壁上设置有凹槽121和滑块101，其中，凹槽121沿竖直方向设置，滑块101位于该凹槽121内，且在压实部件12上升或者下降时，沿该凹槽121滑动。借助凹槽121和滑块101，可以在压实部件12上升或者下降时，对压实部件12起到导向作用，限制压实部件12扭转或倾斜。

进一步优选的，上述凹槽121的开口宽度小于凹槽121的底面宽度，如图4B所示，凹槽121的横截面形状类似“燕尾槽”的横截面形状。而且，滑块101的横截面形状与凹槽121的横截面形状相对应，也为类似“燕尾槽”的横截面形状。通过使凹槽121的开口宽度小于凹槽121的底面宽度，可以使凹槽121限制滑块101在压实部件12的径向上的移动自由度，从而可以避免滑块101脱离凹槽121，以提高结构的稳定性。

在本实施例中，在顶盖11上设置有第一材料发射孔112，在压实部件12上设置有第二材料发射孔122，第一材料发射孔112和第二材料发射孔122的直径相同，且同轴设置。在对蒸镀材料进行加热时，压实部件12位于图4A中的位置，蒸镀材料蒸发出的气体由下而上依次通过第二材料发射孔122和第一材料发射孔112排出加热腔10。而且，通过使第一材料发射孔112和第二材料发射孔122的直径相同，且同轴设置，可以保持气流的稳定性，从而可以确保成膜的均匀性。

优选的，当压实部件12位于图4A中的位置时，压实部件12的顶部高度比加热腔10的顶部高度低第一预设距离，该第一预设距离是加热腔10竖直方向上的总长度的十分之一。也就是说，当压实部件12位于图4A中的位置时，压实部件12的上表面与加热腔10的上端之间的竖直间距是加热腔10竖直方向上的总长度的十分之一。同时，压实部件12的底部高度比加热腔10的底部高度高第二预设距离，该第二预设距离是加热腔10竖直方向上的总长度的二十分之一。也就是说，当压实部件12位于图4A中的位置时，压实部件12的上表面与加热腔10的下端之间的竖直间距是加热腔10竖直方向上的总长度的二十分之一。通过实验验证，在加热蒸镀材料时，这样的设置方式不仅可以起到稳定加热腔10顶部的温度的作用，从而避免蒸镀材料聚集，而且还可以避免加热腔10底部的温度过高。

在本实施例中，升降机构包括牵引马达14、牵引线13和滑轮15。其中，牵引马达14设置在顶盖11的上方，且位于其外围，以避免干扰自第一材料发射孔112排出的气体的流动方向。而且，在顶盖11上，且位于第一材料发射孔112的外围还设置有牵引孔111，牵引线13的一端与牵引马达14连接，牵引线13的另一端通过牵引孔111竖直穿过顶盖11，并与压实部件12连接。滑轮15设置在顶盖11的顶部，牵引线13伸出顶盖11的部分绕过滑轮15，且沿水平方向延伸，并与牵引马达14连接。

在需要对蒸镀材料进行清理时，牵引马达14通过正向旋转放出牵引线13，使压实部件12下落。然后，牵引马达14通过反向旋转回收牵引线13，以使压实部件12重新回升至加热腔10内的顶部。

借助滑轮15，可以在不磨损牵引线13的前提下，改变牵引线13伸出顶盖11的部分的方向，从而可以实现将牵引马达14设置在顶盖11的外围，以避免干扰自第一材料发射孔112排出的气体的流动方向。

另外，在实际应用中，根据牵引马达14相对于顶盖11的高度不同，牵引线13伸出顶盖11的部分在绕过滑轮15之后，还可以沿倾斜向上或者倾斜向下的方向延伸，并与牵引马达14连接。

在本实施例中，上述升降机构包括两套，两套升降机构相对于顶盖11竖直方向上的中心轴对称分布，以使压实部件12的受力均匀。当然，在实际应用中，升降机构还可以包括三套或者四套以上，且相对于顶盖11竖直方向上的中心轴对称分布。

综上所述，本发明实施例提供的蒸镀用坩埚，其通过在其加热腔内的顶部设置材料清理装置，该材料清理装置是可升降的，且能够通过下落压实加热腔内的蒸镀材料，从而可以使坩埚内蒸镀材料的表面平整，且在不同位置处的密度分布均匀，进而可以避免蒸镀材料的蒸发速率失控，提高工艺的稳定性。

图6为本发明第二实施例提供的蒸镀用坩埚的剖视图。请参阅图6，在上述第一实施例的基础上，本实施例提供的蒸镀用坩埚还包括上加热丝16和下加热丝17。其中，上加热丝16环绕设置在加热腔10内部空间的周围，且位于加热腔10顶部，用以加热加热腔10内、材料清理装置所在区域。下加热丝17环绕设置在加热腔10内部空间的周围，且位于加热腔10的底部，用以加热加热腔10内、蒸镀材料所在区域。

在对蒸镀材料进行加热时，可以通过升降机构驱动压实部件12上升至图4A中的位置，即，加热腔10内的顶部，然后接通下加热丝17，对蒸镀材料进行加热。在需要对蒸镀材料进行清理时，则暂停加热，并通过升降机构驱动压实部件12下落至图5中的位置，即，下落至蒸镀材料上，从而实现对蒸镀材料的清理。然后，通过升降机构驱动压实部件12重新回升至加热腔10内的顶部，并接通上加热丝16，对压实部件12进行加热，以使粘附在其上的材料挥发。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。