技术总结
本实用新型公开了一种新型液封提拉法晶体生长装置，包括炉体，设置在炉体内的石墨坩埚、石墨埚托、石英坩埚、石英埚托，设置在炉体顶部插进石英坩埚的籽晶轴、设置在石墨埚托外的液封流体导入装置，还包括至少一个温度感测器、液体厚度感测器、微控制器、显示与控制终端，温度感测器和液体厚度感测器设置在石英坩埚内，并与微控制器电连接，微控制器与显示与控制终端电连接，温度感测器和液体厚度感测器将获得的信号传输给微控制器，微控制器将信号处理后传输给显示与控制终端。可以实现液封层厚度与液液界面温度超过液封层厚度曲线与温度曲线之后的观察，可达到监控液封层与熔体层径深比的最终目的。
技术研发人员：莫东鸣
受保护的技术使用者：重庆工业职业技术学院
文档号码：201620896167
技术研发日：2016.08.17
技术公布日：2017.03.22