用于处理多晶硅副产渣浆的装置的制作方法

文档序号:11039847阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于处理多晶硅副产渣浆的装置,其特征在于,包括浆态床反应器(2),所述的浆态床反应器(2)外壁设置有渣浆进料口和HCl原料进料口,所述浆态床反应器(2)底部通过管道连通废料罐(9),所述的浆态床反应器(2)顶部通过管道与带有第一换热器的第一储罐(5)连通,所述浆态床反应器(2)外部设有换热装置(10)。

2.根据权利要求1所述的用于处理多晶硅副产渣浆的装置,其特征在于,所述的浆态床反应器(2)内部靠顶端位置设有除沫器(7);所述换热装置(10)为夹套或盘管。

3.根据权利要求1所述的用于处理多晶硅副产渣浆的装置,其特征在于,所述的渣浆进料口为1~5个,所述的HCl原料进料口为1~5个,且保证至少有一个渣浆进料口位于其它渣浆进料口和所有HCl原料进料口的上端,同时保证至少有一个HCl原料进料口位于其它HCl进料口和所有渣浆进料口的下端。

4.根据权利要求3所述的用于处理多晶硅副产渣浆的装置,其特征在于,至少有一个HCl原料进料口设置在所述浆态床反应器(2)底部。

5.根据权利要求1所述的用于处理多晶硅副产渣浆的装置,其特征在于,所述的带有第一换热器的第一储罐(5),其第一换热器顶部通过管道连接尾气处理装置。

6.根据权利要求5所述的用于处理多晶硅副产渣浆的装置,其特征在于,所述的带有第一换热器的第一储罐(5),其第一换热器顶部通过管道与压缩机(8)连通再回流至HCl原料进料口。

7.根据权利要求1或5或6所述的用于处理多晶硅副产渣浆的装置,其特征在于,所述的带有第一换热器的第一储罐(5)前置第二换热器(6)。

8.根据权利要求1或3所述的用于处理多晶硅副产渣浆的装置,其特征在于,至少有一个渣浆进料口通过管道与闪蒸塔(1)底部连通,闪蒸塔(1)顶部通过管道与带有第三换热器的第二储罐(3)连通,其第三换热器顶部通过管道与尾气处理装置连通,闪蒸塔(1)上方通过管道收集氯硅烷液体,闪蒸塔(1)下方设有原料进料口。

9.根据权利要求8所述的用于处理多晶硅副产渣浆的装置,其特征在于,所述的闪蒸塔(1)用闪蒸罐替换;所述的带有第三换热器的第二储罐(3)前置第四换热器(4)。

10.根据权利要求1或3所述的用于处理多晶硅副产渣浆的装置,其特征在于,至少有一个渣浆进料口通过管道与蒸发器或转鼓过滤器连通。

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