一种长晶炉的制作方法

文档序号:11614775阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种长晶炉,包括炉体(1)、籽晶轴(2),其特征是:所述炉体(1)的内侧壁上设有一环形的垫板(4),所述垫板(4)上设置有一直径与所述炉体(1)的内径相当的挡板(5),所述挡板(5)将炉体(1)内部分为上下两部分空间,所述挡板(5)上有供籽晶轴(2)穿过的轴孔,所述挡板(5)的上部为平面,其下部为向上凸起的曲面(6),其靠近籽晶轴(2)部分的厚度大于远离籽晶轴(2)部分的厚度。

2.根据权利要求1所述的长晶炉,其特征是:所述垫板(4)在炉体内的上下位置可调。

3.根据权利要求2所述的长晶炉,其特征是:所述炉体(1)的内侧壁上沿其高度方向设有至少两个环形台阶(7),所述垫板(4)设置于所述环形台阶上。

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