技术总结
本实用新型公开了一种长晶炉，属于碳化硅生产设备技术领域。一种长晶炉，包括炉体(1)、籽晶轴(2)，其特征在于：所述炉体(1)的内侧壁上设有一环形的垫板(4)，所述垫板(4)上设置有一直径与所述炉体(1)的内径相当的挡板(5)，所述挡板(5)将炉体(1)内部分为上下两部分空间，所述挡板(5)上有供籽晶轴(2)穿过的轴孔，所述挡板(5)的上部为平面，其下部为向上凸起的曲面(6)，其靠近籽晶轴(2)部分的厚度大于远离籽晶轴(2)部分的厚度。本实用新型结构简单，其能使籽晶附近区域以外的周边区域的温度均匀，能够提高晶体生长质量。
技术研发人员：赵吉强;宗艳民;高超;张红岩
受保护的技术使用者：山东天岳先进材料科技有限公司
文档号码：201621444673
技术研发日：2016.12.27
技术公布日：2017.08.01