技术特征：
技术总结
本发明提供用于保管及管理单晶提拉装置中使用的再装填管的再装填管储料器，其特征在于，具有：进行再装填管向再装填管储料器内入库及再装填管从再装填管储料器内出库的入出库部；对再装填管进行保管的保管手段；将原料填充于再装填管内的原料填充手段；对已填充于再装填管内的原料的重量进行秤量的秤量手段；可将从入出库部入库的再装填管在入出库部、原料填充手段及保管手段之间搬送的搬送手段；以及，对利用保管手段进行保管的再装填管的保管信息一并进行管理的管理手段。由此，可提供一种再装填管储料器，其能够以节省空间的方式对再装填管进行保管及管理，能够防止所需的再装填管的搜索需要时间、或者发生再装填管的错取。
技术研发人员：矢岛涉
受保护的技术使用者：信越半导体株式会社
技术研发日：2016.12.12
技术公布日：2018.08.21