用于制备多晶硅的热载体和多晶硅反应炉的制作方法

文档序号:14408927阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种用于制备多晶硅的热载体,所述热载体包括钨丝以及与所述钨丝连接的金属管,所述金属管的材质包括钽、钼和钛中的至少一种。本发明提供的用于制备多晶硅的热载体,替代了以往的使用的硅芯,所述热载体使用常规工厂用电就可为反应器内提供热源,不再需要高电压击穿及预加热器击穿硅芯的工艺方式,优化了运行前的反应器准备时间,提高了多晶硅的生产效率,降低了电气控制系统的复杂性及故障率。本发明还提供一种多晶硅反应炉,包括热载体,所述热载体包括钨丝和与所述钨丝连接的金属管,所述金属管的材质包括钽、钼和钛中的至少一种。

技术研发人员:王建鑫;郭晓刚;吴一兵
受保护的技术使用者:江西赛维LDK光伏硅科技有限公司
技术研发日:2017.12.12
技术公布日:2018.05.11
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