划片设备的制作方法

本发明涉及一种划片设备，用于在基板上形成划线，以便切割基板。

背景技术：

通常，用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示器面板、无机电致发光显示器面板、透射投影基板、反射投影基板等使用单元玻璃面板(以下称为“单元基板”)，所述单元玻璃面板是通过将如玻璃等脆性母体玻璃面板(以下称为“基板”)切割成预定尺寸而获得。

切割基板的工序包括：划片工序和裂片工序，所述划片工序是沿着欲切割基板的预定线按压并移动由如钻石等材料制成的划片轮来形成划线，而所述裂片工序是通过沿着划线按压基板来切割基板以获得单元基板。

以往技术相关的划片设备沿着水平方向一列地配置了用于执行供给基板的工序、决定所供给的基板的位置的工序、将决定了位置的基板移送到划片工序的工序、以及划片工序的装置，由此，增加了装置的设置空间，因此，存在用于执行划片工序的费用增加的问题。

【现有技术文献】

【专利文献】

韩国公开专利第10-2007-0070824号(2007.07.04)。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种划片设备，其能够缩短移送基板以及决定位置所需的时间以及空间。

为了达成上述目的，本发明实施例的划片设备包括加载台以及基板支撑部，所述基板支撑部配置在加载台的上部并包括支撑基板的支撑件和移动单元，所述移动单元使支撑件移动，以形成供基板通过的开口，以便将基板传递到加载台，移动单元包括第一移动模块以及第二移动模块，第一移动模块与支撑件连接，使支撑件移动，第二移动模块与第一移动模块连接，使第一移动模块移动。

第一移动模块相比于第二移动模块可以低速进行运转。

第一移动模块相比于第二移动模块可以高精密度进行运转。

支撑件可以包括挡件(stopper)，基板向支撑件移送之际，所述挡件与基板的先行端接触。

支撑件由可以向相互邻接或相互远离的方向移动的一对支撑件构成。第一移动模块由分别与一对支撑件连接的一对第一移动模块构成，一对第一移动模块可以使一对支撑件以相同方向以及相同速度进行移动。

支撑件由可以向相互邻接或相互远离的方向移动的一对支撑件构成。第二移动模块由分别与一对支撑件连接的一对第二移动模块构成，一对第二移动模块可以使一对支撑件以相互邻接的方向以及相互远离的方向移动。

支撑件的挡件被设置在沿基板被移送至所述支撑件的移送方向的支撑件的远端，用以确定基板在移送方向上的位置。

划片设备还包括：位置测定部，位于支撑件的上方，用于测定设置于支撑件上的基板的至少一部分的位置，移动单元根据位置测定部测定的基板的至少一部分的位置，来调整被支撑件支撑的基板在垂直于基板被移送至支撑件的移送方向的方向上的位置。

划片设备还包括：将基板从基板支撑部传递至加载台的基板传递部，基板传递部包括：旋转单元，其根据位置测定部测定的基板的至少一部分的位置，来调整支撑件上的基板的旋转位置。

划片设备包括：将基板从基板支撑部传递至加载台的基板传递部，位置测定部一体地安装于基板传递部，或者安装在与基板传递部分离的独立的位置。

发明效果

根据本发明实施例的划片设备，基板供给至基板支撑部的支撑件的时候，通过挡件决定基板在移送方向的位置，通过基板支撑部的支撑件进行移动，可以决定基板在与移送方向直交的方向上的位置，具有能够缩短移送基板以及决定位置所需的时间以及空间的效果。

根据本发明实施例所述的划片设备，基板支撑部与加载台配置在相同的垂直(竖直)线上，基板传递部能够将基板直接传递到加载台，能够缩短移送基板以及决定位置所需的时间，能够提高划片设备的空间活用度。

附图说明

图1是概略表示本发明实施例的划片设备的侧视图。

图2是概略表示图1所示划片设备的俯视图。

图3以及图4是概略表示图1所示划片设备的基板支撑部的俯视图。

图5至图7是概略表示图1所示划片设备的基板支撑部的侧视图。

图8至图10是用于说明图1所示划片设备的动作的概略图。

其中，附图标记说明如下：

10:基板供给部20:基板支撑部

30:加载台40:卸载台

50:划线单元60:基板移送部

70:基板传递部80:位置测定部

具体实施方式

以下，参照附图对本发明实施例的划片设备进行说明。

如图1以及图2所示，本发明实施例所述划片设备从外部开始可以包括：供给基板s的基板供给部10、支撑由基板供给部10供给的基板s的基板支撑部20、配置在基板支撑部20下部的加载台30、配置在加载台30的一侧并在基板s上形成划线的划线单元50、将安装在加载台30的基板移送至划线单元50的基板移送部60、将搭载在基板支撑部20的基板s传递至加载台30的基板传递部70、以及测定搭载在基板支撑部20的基板s的位置的位置测定部80。

作为一例，如图1所示，基板供给部10由复数个传送带或者辊构成，利用带或者辊的旋转，将基板s供给至基板支撑部20。作为另一例，基板供给部10通过挟持或者真空吸附把持基板s后，将基板s供给至基板支撑部20。

作为一例，如图3所示，基板支撑部20可以包括支撑件22，支撑件22支撑由基板供给部10供给的基板s。支撑件22可以由一个以上的传送带、复数个辊、或者喷射空气来使基板s漂浮的气动工作台构成。

基板支撑部20可以形成有供基板s通过的开口21，以便基板传递部70将基板s传递至加载台30。

为此，如图4以及图5所示，支撑件22能够在与基板s向支撑件22移送的方向(y轴方向)直交的方向(x轴方向)上水平移动。

为了使支撑件22向x轴方向移动，支撑件22可以连接有使支撑件22向水平x轴方向移动的移动单元24。

如图3至图5所示，支撑件22可以形成有挡件25，当基板s从基板供给部10供给至基板支撑部20之际，挡件25与基板s的先行端接触。支撑件22可以包括复数个挡件25。挡件25可以形成为与基板s的先行端进行面接触。当从基板供给部10到基板支撑部20沿着y轴方向供给基板s之际，基板s的先行端与挡件25接触，来决定基板s在y轴方向的位置。

如此，通过基板s的先行端与挡件25进行接触，可以迅速、容易且稳定地决定基板s在y轴方向的位置。无需另外设置用于决定基板s在y轴方向的位置的装置，能够使决定基板s在y轴方向的位置所需的空间以及时间最小化。

如图3至图5所示，基板支撑部20可以包括一对支撑件22。由此，可以通过一对支撑件22相互邻接或者接触来形成支撑基板s的支撑面。另外，通过一对支撑件22相互远离，在一对支撑件22之间可以形成供基板s通过的开口21。

当基板支撑部20具备一对支撑件22之际，一对移动单元24可以分别与一对支撑件22连接。由此，一对支撑件22可以通过一对移动单元24向相互邻接的方向以及相互远离的方向移动。

另外，如图6以及图7所示，在基板s被一对支撑件22支撑的状态下，一对支撑件22可以向相同的方向即x轴方向移动。为此，一对移动单元24相互同期化(同步)，使一对支撑件22以相同方向以及相同速度移动。一对移动单元24以位置测定部80测定的基板s的位置为基准，使一对支撑件22以相同方向以及相同速度移动，来调整被一对支撑件22支撑的基板s在x轴方向的位置。

如此，可以使用移动单元24来调整基板s在x轴方向的位置，所述移动单元24使支撑件22移动来形成开口21，以便将基板s传递到加载台30。由此，无需设置用于决定基板s在x轴方向的位置的额外的装置，能够使决定基板s在x轴方向的位置所需的空间以及时间最小化。

另一方面，如图3至图7所示，移动单元24可以包括第一移动模块241和第二移动模块242，第一移动模块241与支撑件22连接来使支撑件22移动，第二移动模块242与第一移动模块241连接来使第一移动模块241移动。

第一移动模块241能够精密地移动支撑件22，由此能够精密地调整基板s在x轴方向的位置，第一移动模块241相比于第二移动模块242能够低速运转。第一移动模块241能够使支撑件22低速且精密地移动，因此相比于第二移动模块242需要较小的动力，其大小可以形成为较小。第一移动模块241用于调整基板s在x轴方向的位置，需要较高的精密度。第一移动模块241可以构成为滚珠螺杆结构或者线性马达。

第二移动模块242使支撑件22迅速移动，以迅速形成使基板s通过的开口21，相比于第一移动模块241，可以形成为高速运转。第二移动模块242用于使支撑件22迅速移动，相比于第一移动模块241，需要更大的动力，其大小可以形成为较大。第二移动模块242用于形成供基板s通过的开口21，无需高精密度。例如，第二移动模块242可以构成为通过气压或者油压运转的致动器或者皮带盘结构。

另一方面，本发明的移动单元24并不限于包括第一移动模块241以及第二移动模块242的两段结构，也可以构成为包括三个以上移动单元的多段结构。此时，复数个移动单元中至少一个移动单元可以低速且精密地移动支撑件22，以起到精密地调整基板s在x轴方向的位置的作用。

如此，用于移动支撑件22的移动单元24包括用于精密地移动支撑件22来精密地调整基板s在x轴方向的位置的第一移动模块241以及用于迅速地移动支撑件22来迅速地形成使基板s通过的开口21的第二移动模块242。由此，能够均最优化地实施基板s在x轴方向的位置的精密调整和使基板s通过的开口21的迅速形成。

另一方面，在形成使基板s通过的开口21的过程中，可以仅使第二移动模块242运转。作为另一例，为了形成使基板s通过的开口21，使第一移动模块241以及第二移动模块242一同运转，更迅速地移动支撑件22。由此，能够更加迅速地形成使基板s通过的开口21。

加载台30可以配置在与基板支撑部20相同的垂直线上。由此，基板传递部70从基板支撑部20下降，将基板s直接传递给加载台30。

加载台30提供基板s加载至划线单元50的领域。另一方面，以划线单元50为基准，在加载台30的相反侧，可以形成有卸载台40，所述卸载台40提供通过划线单元50形成有划线的基板s从划线单元50卸载的领域。

加载台30以及卸载台40可以分别包括复数个带32，42。复数个带32，42可以分别向x轴方向相互远离。各带32，42被复数个辊33，43所支撑，复数个辊33，43中的至少一个辊是提供使带32，42旋转的驱动力的驱动辊。

划线单元50可以包括沿着x轴方向延长的框架51以及在框架51上能够沿着x轴方向移动的划线头52。在框架51上沿着x轴方向可以具有复数个划线头52。

划线头52可以在基板s的上侧以及下侧相向地配置。但本发明并不限于此，划线头52也可以形成在基板s的上侧以及下侧中的任意侧。

各划线头52具有用于在基板s表面形成划线的划片轮53。例如，当一对划线头52在基板s的上侧以及下侧相对向地配置的情况，一对划片轮53可以在基板s的上侧以及下侧相对向地配置。由此，在一对划片轮53向基板s的上面以及下面加压的状态下，通过基板s的移动以及/或者划线头52的移动，即通过相对于划线头52的基板s的相对移动或者相对于基板s的划线头52的相对移动，可以分别在基板s的上面以及下面形成划线。

基板移送部60包括把持基板s的把持部件61，以及沿着y轴方向延长的导轨62。把持部件61和导轨62之间，可以配置有通过气压或者油压运转的致动器、通过电磁相互作用运转的线性马达、或者滚珠螺杆那样的直线移动机构。

由此，在把持部件61把持基板s的状态下，通过直线移动机构使把持部件61向y轴方向移动，由此将基板s向y轴方向移送。此时，与把持部件61的移动一起，带32旋转，能够稳定地支撑基板s的下面。

把持部件61可以是物理地加压并维持基板s的后行端的夹具。但是本发明并不限于此，把持部件61也可以构成为具有与真空源相连接的真空孔来吸附基板s的后行端。

导轨62可以配置在复数个带32之间。导轨62起到引导把持部件61在y轴方向的移动的作用。

基板传递部70可以包括：用于维持搭载在基板支撑部20的基板s的基板维持部件71、使基板维持部件71以z轴为中心进行旋转的旋转单元72、以及使基板维持部件71沿着垂直(竖直)方向移动的升降单元73。

基板维持部件71可以具有与真空源相连接的真空孔，来吸附基板s的上面。但本发明并不限于此，基板维持部件71也可以是物理地加压基板s来维持基板的夹具。

旋转单元72可以包括与基板维持部件71连接的旋转马达。

升降单元73可以是通过气压或者油压运转的致动器、通过电磁相互作用运转的线性马达、或者螺杆滚珠那样的直线移动机构。作为一例，升降单元73可以与旋转单元72连接，通过使旋转单元72垂直(竖直)移动，来使基板维持部件71垂直移动。作为另一例，升降单元73可以构成为与旋转单元72独立的部件，来使基板维持部件71垂直移动。通过升降单元73的运转，基板维持部件71可以垂直方向移动，由此可以使基板s向垂直方向移动。

位置测定部80可位于基板支撑部20的上部，以测定基板s上面的至少一部分的位置。位置测定部80可以一体地安装在基板传递部70，也可以安装在与基板传递部70分离的独立的位置。位置测定部80一体地安装在基板传递部70的情况下，位置测定部80可以与基板传递部70一同移动，无需进行相对于基板传递部70矫正位置测定部80的位置的过程。

作为一例，位置测定部80可以包括摄像单元，所述摄像单元对基板s进行拍照，从拍到的基板s的图像来判断基板s是否位于正位置。此时，摄像单元可以构成为能够摄像基板s上形成的各种图案、布线、回路、或者矫正标识。

作为另一例，位置测定部80可以包括光传感器，所述光传感器向基板s的至少一部分照射光后，判断是否接收到来自基板s的反射光，由此来判断基板s是否位于正位置。

以通过位置测定部80测定到的基板s的位置为基准，搭载有基板s的支撑件22向x轴方向移动，由此能够调整基板s在x轴方向的位置。另外，以通过位置测定部80测定到的基板s的位置为基准，维持有基板s的基板维持部件71通过旋转单元72进行旋转，由此调整基板s的旋转位置。

以下，参照图1至图10，说明本发明实施例所述划片设备的动作。

首先，如图1以及图3所示，通过基板供给部10，从外部，向基板支撑部20的支撑件22沿着y轴方向供给基板s。此过程中，基板s的先行端与形成在支撑件22上面的挡件25接触，由此，基板s停止的同时，决定基板s在y轴方向的位置。

此时，基板传递部70相比于基板支撑部20远离所定间隔地配置。

如图5所示，如在基板支撑部20的支撑件22上搭载有基板s，则位置测定部80测定基板s的至少一部分的位置，判断基板s是否位于正位置。

此时，通过挡件25决定基板s在y轴方向的位置的状态下，由位置测定部80测定的基板s的位置可以是基板s在x轴方向的位置以及基板s的旋转位置。

以通过位置测定部80测定的基板s的位置为基准，在需要调整基板s在x轴方向的位置之际，如图6以及图7所示，随着搭载有基板s的支撑件22向着x轴方向移动，能够调整基板s在x轴方向的位置。此时，支撑件22可以通过第一移动模块241能够精密地进行移动。

通过第一移动模块241的支撑件22的移动，可以调整基板s在x轴方向的位置，如图8所示，基板传递部70的基板维持部件71下降，维持搭载在基板支撑部20的支撑件22上的基板s后，从基板支撑部20上升。

此时，以通过位置测定部80测定的基板s的位置为基准，在需要调整基板s的旋转位置之际，通过旋转单元72使基板维持部件71旋转，由此调整基板s的旋转位置。

如图9所示，基板支撑部20可以形成能够使基板s通过的开口21，以便基板传递部70将基板s传递到加载台30。由此，通过第二移动模块242的运转，支撑件22能够与第一移动模块241一起迅速向x轴方向移动。

如图10所示，基板维持部件71一边通过开口21一边进行下降，由此，基板s可以传递到加载台30。

当基板s搭载到加载台30，则基板移送部60把持基板s的后行端后，使基板s向划线单元50移动。划线单元50在基板s上形成划线。此后，形成有划线的基板s从卸载台40卸载进入到后续的工序。

根据本发明实施例的划片设备，包括测定基板s上面的至少一部分的位置的位置测定部80，根据位置测定部80测定到的基板s的位置，来决定(矫正)基板s的位置，因此能够更加精密且准确地实施决定基板s位置的过程。

根据本发明实施例的划片设备，基板支撑部20和加载台30配置在相同的垂直线上，基板传递部70能够直接将基板s传递到加载台30，因此能够最小化移送基板s以及划片工序所需的水平空间，能够提高划片设备的空间活用度。

根据本发明实施例的划片设备，在供给基板s的过程中，基板s与挡件25接触，由此能够使基板s定位在正位置，能够缩短决定基板s位置所需的时间以及空间。

根据本发明实施例的划片设备，包括用于使移动单元24精密地移动支撑件22来精密地调整基板s在x轴方向的位置的第一移动模块241以及用于迅速地移动支撑件22来迅速地形成使基板s通过的开口21的第二移动模块242，能够均最优化地实施基板s在x轴方向的位置的精密调整和使基板s通过的开口21的迅速形成。

以上，针对本发明最佳实施例进行了例示说明，但本发明的范围并不限于这样的特定实施例，可以权利要求中记载的范围内进行适当的变更。