一种多晶硅铸锭炉加热器的制作方法

文档序号:12015481阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多晶硅铸锭炉加热器,包括顶部加热器和侧部加热器,其特征在于,所述侧部加热器由至少四块在竖直方向上呈波浪形的石墨加热器组成,各石墨加热器通过侧部加热器连接板实现首尾连接并围成矩形;在位于该矩形四角位置的侧部加热器连接板上,通过电极连接板与石墨电极相接;其中,处于对角的两个石墨电极作为一组分别通过水冷铜电极接至第一直流电源的正极,另一组处于对角的两个石墨电极分别通过水冷铜电极接至第一直流电源的负极;

所述顶部加热器由两块在水平方向上呈蛇形的石墨加热器组成,两石墨加热器对称布置且在首尾两端分别以顶部加热器连接板连接;在两石墨加热器的首尾两端各设有石墨电极,其中一个石墨电极通过水冷铜电极接至第二直流电源的正极,另一个石墨电极通过水冷铜电极接至第二直流电源的负极。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉加热器,其特征在于,所述顶部加热器位于侧部加热器围成的矩形空间的上方,顶部加热器中的石墨加热器具有与该矩形相配合的弯折形状。

3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉加热器,其特征在于,所述侧部加热器上等距间隔设置有吊臂。

4.一种多晶硅铸锭炉加热器,包括顶部加热器和侧部加热器,其特征在于,所述侧部加热器由至少两块在竖直方向上呈波浪形的石墨加热器组成,各石墨加热器通过侧部加热器连接板实现首尾连接并围成圆形;在围成圆形的石墨加热器上等距间隔设置至少4个电极连接板,每个电极连接板均接有一个石墨电极;其中,间隔不相邻的石墨电极作为一组,分别通过水冷铜电极接至第一直流电源的正极;剩余间隔不相邻的石墨电极作为另一组,分别通过水冷铜电极接至第一直流电源的负极;

所述顶部加热器由两块在水平方向上呈蛇形的石墨加热器组成,两石墨加热器对称布置且在首尾两端分别以顶部加热器连接板连接;在两石墨加热器的首尾两端各设有石墨电极,其中一个石墨电极通过水冷铜电极接至第二直流电源的正极,另一个石墨电极通过水冷铜电极接至第二直流电源的负极。

5.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉加热器,其特征在于,所述顶部加热器位于侧部加热器围成的圆形空间的上方,顶部加热器中的石墨加热器具有与该圆形相配合的弯折形状。

6.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉加热器,其特征在于,所述侧部加热器上等距间隔设置有吊臂。

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