技术总结
本实用新型涉及多晶硅铸锭炉设备，旨在提供一种新型多晶硅铸锭炉加热器。其侧部加热器由在竖直方向上呈波浪形的石墨加热器组成，首尾连接并围成矩形或圆形；侧部加热器连接板通过电极连接板与石墨电极相接；交错对角布置的石墨电极组接至第一直流电源的正负极；其顶部加热器由两块在水平方向上呈蛇形的顶部加热器连接板连接的石墨加热器组成，其首尾两端各设有石墨电极，分别接至第二直流电源的正负极。本实用新型采用直流电源进行加热，可以有效保证热场均匀性，同时避免交流电产生的磁场对定向长晶工艺的影响。能使得长晶界面水平，提高硅锭品质。顶部、侧部供电电源独立开，便于单独控制顶部、侧部加热器功率，有利于工艺调节。
技术研发人员：傅林坚;曹建伟;叶欣;胡建荣;俞安洲;张兴隆
受保护的技术使用者：浙江晶盛机电股份有限公司
文档号码：201720148334
技术研发日：2017.02.20
技术公布日：2017.10.24